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    駆動装置
    2.
    发明专利
    駆動装置 审中-公开

    公开(公告)号：JPWO2015146146A1

    公开(公告)日：2017-04-13

    申请号：JP2016510031

    申请日：2015-03-24

    Applicant: 住友精密工業株式会社

    Inventor： 亮平 内納 ,  亮平 内納

    IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00

    CPC classification number: G02B26/0858 ,  B81B3/0048 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0841 ,  H01L41/053 ,  H01L41/094

    Abstract: 本発明は、移動部が傾動する際の可動櫛歯電極の変位を大きくし、移動部の変位を静電容量の変化に基づいて精度良く検出することを目的とする。本発明のミラーデバイス(300)は、ベース部(302)と、ミラー(305)と、アクチュエータ(306)と、ミラー(305)のX軸に対してアクチュエータ(306)とは反対側に設けられた延長部(304)と、固定櫛歯電極(308)と、ミラー(305)のうちX軸に対してアクチュエータ(306)とは反対側に設けられた可動櫛歯電極(307)とを備えている。可動櫛歯電極(307)は、ヒンジ(373)を介してミラー(305)に連結されたビーム部(371)と、ビーム部(371)に設けられた電極指(372)とを有する。延長部(304)は、ヒンジ(341)を介してベース部(302)に連結されている。ミラー(305)は、ヒンジ(341)を通る主軸回りに傾動する。

    光学反射素子
    3.
    发明专利
    光学反射素子 有权
    光学反射元件

    公开(公告)号：JPWO2013168385A1

    公开(公告)日：2016-01-07

    申请号：JP2014514373

    申请日：2013-04-24

    Applicant: パナソニックIpマネジメント株式会社

    Inventor： 寿彰 堀江 ,  寿彰 堀江 ,  聡一郎 平岡 ,  聡一郎 平岡 ,  晋輔 中園 ,  晋輔 中園 ,  小牧　一樹 ,  一樹 小牧

    IPC: G02B26/08 ,  B81B3/00 ,  G02B26/10

    CPC classification number: G02B26/0858 ,  B81B3/0043 ,  B81B2201/032 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0163 ,  G02B26/0833 ,  G02B26/10 ,  G02B26/101 ,  G02B26/105

    Abstract: 光学反射素子は、ミラー部と、一対の接合部と、一対の振動部と、複数の駆動部と、固定部とを有する。接合部はそれぞれ、ミラー部の対向する位置のそれぞれに接続された第1端と、この第1端の反対側の第2端とを有し、第1軸方向に伸びている。振動部はそれぞれ、接合部の一方の第2端に接続された中央部を有する。複数の駆動部はそれぞれ、一対の振動部のそれぞれに設けられ、ミラー部を回動させる。固定部には一対の振動部の各両端が連結されている。接合部の第1軸に直交する方向の長さとして定義される梁幅は、一対の振動部のそれぞれの梁幅より大きい。

    Abstract translation: 光学反射元件包括反射镜部，和一对接合部，以及一对振动部，和多个驱动部，和定影单元。 每个接头具有的第一端连接到面对反射镜部，所述第一端的相对的第二端的相应位置，并在第一轴向方向上延伸。 各振动部具有连接到所述接合部的第二端部中的一个的中心部分。 各所述多个驱动单元的，在各一对振动部的设置的旋转反射镜部。 另外，固定部被连接在一对振动部的所述相对端。 定义为沿正交于接头的第一轴方向的长度Ryohaba比一对振动部的各自的波束宽度大。

    Actuator
    9.
    发明专利
    Actuator 审中-公开
    执行机构

    公开(公告)号：JP2009194291A

    公开(公告)日：2009-08-27

    申请号：JP2008035748

    申请日：2008-02-18

    Applicant: Toshiba Corp ,  株式会社東芝

    Inventor： KAWAKUBO TAKASHI ,  NAGANO TOSHIHIKO ,  NISHIGAKI MICHIHIKO

    IPC: H01L41/09 ,  B81B3/00 ,  H01L41/18 ,  H01L41/22 ,  H01L41/39 ,  H02N1/00

    CPC classification number: B81B3/0008 ,  B81B2201/032 ,  H01G5/16 ,  H01G5/18 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator of piezoelectric actuation type, solving problems of the actuation voltage shift and stiction of electrodes, and, thereby, having a small secular change and stable actuation characteristics. SOLUTION: The actuator includes: a substrate 110; a fixed electrode 140 provided on a major surface 112 of the substrate 110; a first dielectric film 150 provided on the fixed electrode 140, and made of crystalline material; a movable beam 200 opposed to the major surface 112, and held above the substrate 110 with a gap thereto; a movable electrode 202 provided on a surface of the movable beam 200, opposed to the fixed electrode 140, and AC voltage being applied between the movable electrode 202 and the fixed electrode 140; and a second dielectric film 250 provided on a surface opposed to the fixed electrode 140, and made of crystalline material. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种压电致动型致动器，解决了电极的致动电压偏移和静电的问题，从而具有小的长期变化和稳定的致动特性。 解决方案：致动器包括：基板110; 设置在基板110的主表面112上的固定电极140; 设置在固定电极140上并由结晶材料制成的第一电介质膜150; 与主表面112相对的可移动光束200，并且与基板110保持在间隙上; 设置在与固定电极140相对的可移动光束200的表面上的可动电极202以及施加在可动电极202和固定电极140之间的AC电压; 以及设置在与固定电极140相对的表面上并由结晶材料制成的第二电介质膜250。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

    Actuator and electronic equipment using the same
    10.
    发明专利
    Actuator and electronic equipment using the same 审中-公开
    使用其的执行器和电子设备

    公开(公告)号：JP2009171737A

    公开(公告)日：2009-07-30

    申请号：JP2008007249

    申请日：2008-01-16

    Applicant: Toshiba Corp ,  株式会社東芝

    Inventor： NISHIGAKI MICHIHIKO ,  NAGANO TOSHIHIKO ,  ITAYA KAZUHIKO ,  KAWAKUBO TAKASHI

    IPC: H02N2/00 ,  B81B3/00 ,  H01H57/00 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187

    CPC classification number: H01H57/00 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/032 ,  H01G5/18 ,  H01H2057/006 ,  H01L41/094 ,  H01L41/0973

    Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an actuator of which the maximum electrostatic capacity is made large by reducing the influence of warpage of a beam, and, moreover, in which steep variation in the electrostatic capacity around the maximum electrostatic capacity is relaxed, and to provide electronic equipment using the actuator. SOLUTION: The actuator includes: a first beam extending from a first fixed end to a first connection end; a first fixed part connecting the first fixed end and a substrate, and supporting the first beam above a main surface of the substrate while keeping a gap therebetween; a second beam extending from a second connection end to a first acting end, provided in parallel with the first beam, and having a fist division part divided by a first slit extending from the first acting end toward the second connection end; a first connection part connecting the first connection end and the second connection end, and supporting the second beam above the main surface of the substrate while keeping the gap therebetween; and a first fixed electrode opposed to part of the first acting end side of the first division part, and provided on the main surface of the substrate. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

    Abstract translation: 要解决的问题：通过减小光束的翘曲的影响，提供其最大静电容量大的致动器，此外，其中最大静电容量附近的静电电容的急剧变化被放宽 并提供使用致动器的电子设备。 解决方案：致动器包括：从第一固定端延伸到第一连接端的第一梁; 连接第一固定端和基板的第一固定部分，并且在保持其间的间隙的同时将第一光束支撑在基板的主表面上方; 第二光束从第二连接端延伸到与第一光束平行的第一作用端，并且具有由从第一作用端朝向第二连接端延伸的第一狭缝分隔的第一分割部分; 连接第一连接端和第二连接端的第一连接部，并且在保持其间的间隙的同时将第二梁支撑在基板的主表面上方; 以及与第一分割部的第一作用端侧的一部分相对的第一固定电极，设置在基板的主面上。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

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