公开(公告)号：JP6581802B2

公开(公告)日：2019-09-25

申请号：JP2015096328

申请日：2015-05-11

Applicant: 東京応化工業株式会社

Inventor： 山野 仁詩 ,  松宮 祐 ,  黒澤 剛志 ,  平山 拓 ,  宮城 賢 ,  大森 克実

IPC: C08K5/101 ,  B05D7/24 ,  B05D3/02 ,  C08L53/00

公开(公告)号：JP2019155308A

公开(公告)日：2019-09-19

申请号：JP2018048196

申请日：2018-03-15

Applicant: 東京応化工業株式会社

Inventor： 太宰 尚宏 ,  宮城 賢

IPC: B05D7/24

Abstract: 【課題】相分離性能をより高められる、相分離構造を含む構造体の製造方法を提供する。 【解決手段】周期L 0 のブロックコポリマー、及びカチオン部とアニオン部とを有する化合物(IL)を含むイオン液体を含有する相分離構造形成用樹脂組成物を用いて、基板1上に、厚さdのブロックコポリマーを含む層(BCP層3)を形成する工程(i)と、化合物(IL)の少なくとも一部を気化させ、かつ、BCP層3を相分離させて、相分離構造を含む構造体3’を得る工程(ii)と、を有し、工程(i)で、ブロックコポリマーの周期L 0 (nm)とBCP層3の厚さd(nm)とが式(1)の関係を満たすように、BCP層3を形成する、相分離構造を含む構造体の製造方法。 厚さd/周期L 0 =n+a ・・・(1) nは、0以上の整数である。aは、0
【選択図】図1

公开(公告)号：JP6393546B2

公开(公告)日：2018-09-19

申请号：JP2014153199

申请日：2014-07-28

Applicant: 東京応化工業株式会社

Inventor： 松宮 祐 ,  瀬下 武広 ,  宮城 賢 ,  前橋 貴哉 ,  太宰 尚宏 ,  内海 義之

IPC: B82Y40/00 ,  B82Y30/00 ,  H01L21/027 ,  H01L21/312 ,  H01L21/3065

CPC classification number: C08L53/00 ,  B05D1/185 ,  B81C1/00031 ,  B81C2201/0149 ,  B82B3/00 ,  C09D153/00

公开(公告)号：JP6357054B2

公开(公告)日：2018-07-11

申请号：JP2014171587

申请日：2014-08-26

Applicant: 東京応化工業株式会社

Inventor： 黒澤 剛志 ,  松宮 祐 ,  矢萩 真人 ,  山野 仁詩 ,  宮城 賢 ,  塩野 大寿 ,  平山 拓 ,  大森 克実

IPC: B05D3/02 ,  B82Y40/00 ,  B82Y30/00 ,  B05D7/24

公开(公告)号：JP6263378B2

公开(公告)日：2018-01-17

申请号：JP2013260594

申请日：2013-12-17

Applicant: 東京応化工業株式会社

Inventor： 黒澤 剛志 ,  塩野 大寿 ,  宮城 賢 ,  松宮 祐 ,  宮下 健一郎 ,  大森 克実

IPC: B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C09D5/00 ,  B05D5/04 ,  B05D7/24 ,  B05D1/36 ,  C09D201/00

公开(公告)号：JP6186116B2

公开(公告)日：2017-08-23

申请号：JP2012164039

申请日：2012-07-24

Applicant: 東京応化工業株式会社

Inventor： 先崎 尊博 ,  宮城 賢

IPC: C09D5/00 ,  C09D201/00 ,  C09D201/02 ,  H01L21/027 ,  B82Y40/00 ,  C08F297/00 ,  B82B3/00

公开(公告)号：JP2016065215A

公开(公告)日：2016-04-28

申请号：JP2015163987

申请日：2015-08-21

Applicant: 東京応化工業株式会社

Inventor： 黒澤 剛志 ,  松宮 祐 ,  矢萩 真人 ,  山野 仁詩 ,  宮城 賢 ,  塩野 大寿 ,  平山 拓 ,  大森 克実

IPC: C08L33/06 ,  C08L25/02 ,  C08L53/00

Abstract: 【課題】相分離構造形成用樹脂組成物の提供。 【解決手段】ブロックコポリマーと、該ブロックコポリマー中の第1のブロックと相溶可能な第1のホモポリマーと、該ブロックコポリマー中の第2のブロックと相溶可能な第2のホモポリマーと、の3成分を含む樹脂成分を含有する相分離構造形成用樹脂組成物であって、前記樹脂成分における、前記第1のホモポリマーと、前記第2のホモポリマーの組成比が、前記ブロックコポリマー中の前記第1のブロックと、前記第2のブロックとの組成比と実質的に同じであることを特徴とする相分離構造形成用樹脂組成物。 【選択図】なし

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于形成相分离结构的树脂组合物。解决方案：用于形成相分离结构的树脂组合物含有含有嵌段共聚物三种成分的树脂组分，与第一嵌段相容的第一均聚物 和嵌段共聚物中与第二嵌段相容的第二均聚物。 树脂组分中第一均聚物和第二均聚物的组成比基本上与嵌段共聚物中第一嵌段和第二嵌段的组成比相同。选择图：无

公开(公告)号：JP5721164B2

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：JP2010205890

申请日：2010-09-14

Applicant: 東京応化工業株式会社 ,  国立研究開発法人理化学研究所

Inventor： 先崎 尊博 ,  太宰 尚宏 ,  宮城 賢 ,  藤川 茂紀 ,  早川 晴美 ,  小泉 真里

IPC: B82Y40/00 ,  H01L21/027 ,  G03F7/40 ,  G03F7/038 ,  B05D5/12 ,  B82B3/00

公开(公告)号：JP6811957B2

公开(公告)日：2021-01-13

申请号：JP2016179028

申请日：2016-09-13

Applicant: 東京応化工業株式会社 ,  国立大学法人北海道大学

Inventor： 宮城 賢 ,  瀬下 武広 ,  前橋 貴哉 ,  太宰 尚宏 ,  山野 仁詩 ,  佐藤 敏文 ,  磯野 拓也

IPC: C08F8/32 ,  B05D7/24 ,  C08L53/00

公开(公告)号：JPWO2018062157A1

公开(公告)日：2019-07-11

申请号：JP2017034702

申请日：2017-09-26

Applicant: 東京応化工業株式会社

Inventor： 太宰 尚宏 ,  山野 仁詩 ,  川上 晃也 ,  宮城 賢

IPC: C08J5/18 ,  C08L53/00 ,  C08J7/00

Abstract: ブロックコポリマー、及びカチオン部とアニオン部とを有する化合物(IL)を含むイオン液体を含有する相分離構造形成用樹脂組成物を用いて、基板1上にブロックコポリマーを含む層(BCP層)3を形成する工程と、化合物(IL)の少なくとも一部を気化させ、かつ、BCP層3を相分離させて、相分離構造を含む構造体3’を得る工程と、を有する、相分離構造を含む構造体の製造方法。