-
公开(公告)号：JP6387952B2
公开(公告)日：2018-09-12
申请号：JP2015248976
申请日：2015-12-21
申请人： 横河電機株式会社
IPC分类号： G01N21/89
CPC分类号： G01N21/21 , G01N21/211 , G01N21/8806 , G01N33/00 , G01N2021/4792 , G01N2021/8848 , G01N2033/0096 , G02B5/04
-
公开(公告)号：JP6377218B2
公开(公告)日：2018-08-22
申请号：JP2017136680
申请日：2017-07-13
发明人： カンデル・ダニエル , レビンスキ・ブラディミル , スヴィツァー・アレクサンダー , セリグソン・ジョエル , ヒル・アンドリュー , バカー・オハド , マナッセン・アムノン , チャン・ユン−ホ・アレックス , セラー・イラン , マーコウィッツ・モシェ , ネグリ・ダリア , ロテム・エフライム
CPC分类号： G01N21/47 , G01B11/02 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N21/211 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G01N2021/4792 , G01N2201/06113 , G01N2201/105 , G03F7/70625 , G03F7/70633
-
公开(公告)号：JP2015200661A
公开(公告)日：2015-11-12
申请号：JP2015111802
申请日：2015-06-02
发明人： カンデル・ダニエル , レビンスキ・ブラディミル , スヴィツァー・アレクサンダー , セリグソン・ジョエル , ヒル・アンドリュー , バカー・オハド , マナッセン・アムノン , チャン・ユン−ホ・アレックス , セラー・イラン , マーコウィッツ・モシェ , ネグリ・ダリア , ロテム・エフライム
IPC分类号： G01B11/02
CPC分类号： G01N21/47 , G01B11/02 , G01N21/9501 , G01N21/956 , G03F7/70625 , G03F7/70633 , G01B11/0641 , G01B2210/56 , G01N2021/4792 , G01N21/211 , G01N2201/06113 , G01N2201/105
摘要： 【課題】小さな回折格子標的サイズであっても光学限界寸法を測定可能な計測システムおよび計測方法を提供する。 【解決手段】回折限界光ビーム14を生成するように構成されている光源8と、ウェハ34平面内の照射スポット32の中心から1.5マイクロメータ離れた位置における放射照度が、スポットの中心のピーク放射照度の10-6未満となる方法で照射光学装置の入射瞳内の光ビームを形成するように構成されているアポダイザー16と、アポダイザーからの回折限界光ビームをウェハ上の回折格子標的からの散乱光を取集する光学素子と、取集された散乱光の一部を排除する視野絞り52と、視野絞りを通過する散乱光を検出し、検出された散乱光に応答して出力を生成することにより、スキャタロメトリを使用する計測システムによって回折格子標的が測定される検出器44と、出力を使用して、回折格子標的の特性を判定するコンピュータシステム74と、を備える。 【選択図】図1
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种可以测量甚至微小光栅目标尺寸的光学关键尺寸的计量系统和计量方法。解算：计量系统包括：光源8，其被配置为产生衍射受限光束 14; 一种变迹器16，其被配置为通过这样的方法在照射光学装置的入射光瞳中形成光束，使得在距晶片34的平面内的照射光斑32的中心1.5微米处的辐射照度 小于中心点辐射照度的10-6; 光学元件，被配置为将来自变迹器的衍射限制光束引导到晶片上的光栅目标上的照射点并收集来自光栅靶的散射光; 被配置为消除所收集的散射光的一部分的场停止器52; 检测器44，其被配置为检测通过场停止器的散射光以响应于所检测到的散射光产生输出，并且通过采用散射仪的测量系统检测光栅目标; 以及计算机系统74，其被配置为使用检测器的输出来确定光栅目标的特性。
-
公开(公告)号：JP4796652B2
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：JP2009549885
申请日：2008-02-18
CPC分类号： A61B5/0084 , A61B5/0075 , A61B5/444 , A61B2562/0242 , G01N21/4795 , G01N2021/4792
-
公开(公告)号：JP2009524035A
公开(公告)日：2009-06-25
申请号：JP2008550771
申请日：2007-01-19
发明人： ラズヴィゴル オシコヴスキ , マルティノ アントネロ ドゥ , ベルナール ドルヴィロン
IPC分类号： G01N21/65
CPC分类号： G01J3/44 , G01J3/02 , G01J3/0224 , G01N21/21 , G01N21/65 , G01N21/658 , G01N2021/4792
摘要： 【課題】 サンプルの完全な偏光特性の決定を可能にする偏光解析ラマンシステム及び方法を提供すること。
【解決手段】 本発明は入射光ビーム（２）を発する励起源（１）と、サンプル（４）を装着できるサンプルホルダ（３）と、入射光ビーム（２）をサンプル表面（１６）上にフォーカスしてある強度を有するラマン散乱光を発生させる手段と、ラマン散乱光を集光してラマン散乱光ビーム（５）を形成する手段と、ラマン散乱光ビーム（５）の強度を時間の関数として測定する検出系（６）とを備えるサンプル（４）を分析するラマン法及びシステムに関する。 発明によれば、それはラマン散乱光ビーム（５）の強度を検出して前記サンプル（４）の部分的又は完全なミューラー・ストークス行列を計算することを可能にするために、四つの独立な偏光状態を生成できる偏光状態生成器（ＰＳＧ）（７）、又は四つの独立な偏光状態を分析できる偏光状態分析器（ＰＳＡ）を少なくとも備え、入射光ビーム（２）はサンプル（４）により散乱される前に前記ＰＳＧ（７）を通過し、ラマン散乱光ビーム（５）はサンプル（４）により散乱された後に前記ＰＳＧ（８）を通過する。
【選択図】 図３-
公开(公告)号：JP2009025303A
公开(公告)日：2009-02-05
申请号：JP2008181750
申请日：2008-07-11
申请人： Applied Materials Inc , Applied Materials Israel Ltd , アプライド マテリアルズ イスラエル リミテッド , アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated
发明人： KORENGUT DORON , COHEN BENJAMIN , GUETTA AVISHAY
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/47 , G01N21/4788 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/1772 , G01N2021/4711 , G01N2021/4735 , G01N2021/479 , G01N2021/4792 , G01N2021/8822 , G01N2021/8845 , G01N2201/0697
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method and an apparatus capable of inspecting surfaces, at an oblique inspection angle with high resolution. SOLUTION: The apparatus for imaging an area of the surface, along a viewing angle that is oblique to the surface, includes an afocal optical relay (192) being adapted to form a tilted initial image of the area by collecting optical radiation from the area along an optical axis oriented at the viewing angle. A tilt correction unit (194) is coupled, to correct the tilt of the initial image so as to form a substantially undistorted intermediate image. A magnification module (198) is coupled for making the intermediate image focus on an image detector. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译： 要解决的问题：提供一种能够以高分辨率的倾斜检查角检查表面的方法和装置。 解决方案：用于沿着与表面倾斜的视角对成像表面区域的设备包括无焦光学中继器（192），其适于通过收集来自所述区域的光学辐射来形成所述区域的倾斜初始图像 沿着以观察角度定向的光轴的区域。 耦合倾斜校正单元（194），以校正初始图像的倾斜度，从而形成基本上无失真的中间图像。 耦合放大模块（198）以使中间图像聚焦在图像检测器上。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT
-
公开(公告)号：JP4192118B2
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：JP2004160630
申请日：2004-05-31
申请人： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/88 , H01L21/00 , H01L21/66
CPC分类号： H01L21/67253 , G01N21/95607 , G01N2021/4792 , H01L21/67028 , H01L21/67057
-
公开(公告)号：JP2006501470A
公开(公告)日：2006-01-12
申请号：JP2004541516
申请日：2003-09-08
发明人： エレス アドモニ， , オフエル カダール， , アヴィシェー ゲッタ， , ドロン コルンガット， , レヴ ハイコヴィズ， , ハイム フェルドマン，
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N21/47 , G01N21/4788 , G01N21/94 , G01N21/9501 , G01N21/95607 , G01N21/95623 , G01N2021/1772 , G01N2021/4711 , G01N2021/4735 , G01N2021/479 , G01N2021/4792 , G01N2021/8822 , G01N2021/8845 , G01N2201/0697
摘要： サンプルを検査する装置は、サンプルの表面のエリアに光学放射を向けるように適応された放射ソースと、複数の像センサとを備えている。 各像センサは、上記エリアから異なる各々の角度範囲へ散乱された放射を受け取って、上記エリアの各像を形成するように構成される。 像プロセッサは、各像の少なくとも１つを処理して表面上の欠陥を検出するように適応される。
-
公开(公告)号：JP6416908B2
公开(公告)日：2018-10-31
申请号：JP2016536421
申请日：2014-08-20
申请人： アドヴァンスド ポリマー モニタリング テクノロジーズ インコーポレイテッド , ADVANCED POLYMER MONITORING TECHNOLOGIES, INC. , ジ アドミニストレイターズ オブ ザ トゥレーン エデュケーショナル ファンド , THE ADMINISTRATORS OF THE TULANE EDUCATIONAL FUND
CPC分类号： G01N15/0211 , G01N21/51 , G01N21/53 , G01N33/6803 , G01N2021/4711 , G01N2021/4719 , G01N2021/4726 , G01N2021/4792 , G01N2201/0612 , G01N2201/08 , G01N2201/1224
-
公开(公告)号：JP2018515787A
公开(公告)日：2018-06-14
申请号：JP2017564793
申请日：2016-03-02
申请人： フラウンホーファー−ゲゼルシャフト ツル フェルデルング デル アンゲヴァンテン フォルシュング エー ファウ , Fraunhofer−Gesellschaft zur Foerderung der angewandten Forschung e.V. , ウニヴェルズィテート デス ザールラント , UNIVERSITAeT DES SAARLANDES
发明人： ツィマーマン,ハイコ , シュトラッケ,フランク , ル・アルジック,ロナン
CPC分类号： G01N33/5005 , G01N21/21 , G01N21/4788 , G01N21/49 , G01N33/15 , G01N2021/479 , G01N2021/4792 , G01P13/00
摘要： 本発明は三次元細胞及び/又は組織培養物又は細胞クラスタ又は自由浮遊微生物製の試料の形態の空間的広がりの生物試料(1)の動きをインビトロで光検出する方法及び装置に関する。方法は(a)試料用の容器、光ビーム源(6)、光学系(7,8)及び検出器(2)を供給する工程を含み、(a1)光学系は、光ビーム源から発する電磁線(11)を容器内の試料全体に照射するよう、かつ試料内の任意の点で試料との相互作用によって放射方向、偏光状態及び/又は回折パターンが変化した光ビーム源の電磁線の少なくとも一部を、検出器検出面(2a)に導くよう構成され、(a2)検出器は検出電磁線に応じて測定信号(9)を生成するよう構成され、測定信号の時間経過が検出電磁線の強度の時間経過を示し及び/又は測定信号から検出電磁線の強度の時間経過が導出できる。方法は更に(b)試料に光ビーム源からの電磁線を照射する工程、(c)測定信号の時間変化に応じ生物試料の動きを検出する工程を含む。 【選択図】図1
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
48 条记录 (耗时 0.029 秒)
