KR102235761B1 - Apparatus for measuring ultrasonic based on femtosecond laser in 3D printing process and 3D printing system having the same

    公开(公告)号:KR102235761B1

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:KR1020190179190A

    申请日:2019-12-31

    摘要: 3D 프린팅 공정의 펨토초 레이저 기반 초음파 계측 장치 및 이를 구비한 3D 프린팅 시스템이 제공된다. 본 발명의 실시예에 따른 3D 프린팅 공정의 펨토초 레이저 기반 초음파 계측 장치는 3D 프린팅용 레이저 소스로부터 조사된 레이저 빔에 의해 모재를 녹임으로써 형성되는 프린팅 대상물의 상태를 검사하기 위해 조사되는 레이저 빔을 생성하는 펨토초 레이저 소스, 펨토초 레이저 소스에서 생성된 레이저 빔을 펌프 레이저 빔과 프로브 레이저 빔으로 분리하는 빔 스플리터, 펌프 레이저 빔을 변조하는 전기/음향 광학변조기, 프로브 레이저 빔을 지연시키는 시간 지연부, 프린팅 대상물에 의해 반사된 프로브 레이저 빔을 검출하는 광 검출기, 및 광 검출기의 출력신호의 진폭과 위상을 검출하는 락인 증폭기를 포함한다. 여기서, 펨토초 레이저 소스는 3D 프린팅용 레이저 소스와 동축 상으로 배치되는 3D 프린팅 공정의 펨토초 레이저 기반 초음파 계측 장치가 제공된다.

    複合材の超音波探傷装置及び方法

    公开(公告)号:JP2018091803A

    公开(公告)日:2018-06-14

    申请号:JP2016237419

    申请日:2016-12-07

    IPC分类号: G01N29/48 G01N29/38 G01N29/04

    CPC分类号: G01N29/04 G01N29/38 G01N29/48

    摘要: 【課題】一度の超音波探傷で素材欠陥と界面欠陥との両方を高精度に検査可能とする。 【解決手段】物性の異なる複数の素材で構成された複合材の超音波探傷装置であって、前記複合材に照射された超音波の反射波のRF信号において、素材反射波が発生し得る第1区間と界面反射波が発生し得る第2区間とを特定する区間特定部と、前記第1区間において前記RF信号の値が正の第1閾値を上回ったか否かを判定する素材欠陥判定部と、前記第2区間において前記RF信号の値が負の第2閾値を下回ったか否かを判定する界面欠陥判定部と、を備える。 【選択図】図1

    半導体検査装置
    5.
    发明专利

    公开(公告)号:JPWO2017026483A1

    公开(公告)日:2018-06-07

    申请号:JP2017534466

    申请日:2016-08-09

    IPC分类号: G01N29/06 G01N29/32

    CPC分类号: G01N29/04

    摘要: 液体槽11内の液体12中を伝播して半導体素子13に到達する超音波を発信する超音波探触子14と、受信された超音波を基に半導体素子13の異常を検出する解析手段27とを有する半導体検査装置10において、半導体素子13に接続され、半導体素子13に通電して半導体素子13を作動させる電流印加手段17と、液体槽11内の液体12に流れを発生させる流れ発生手段16、23、24、25とを備える。

    超音波測定装置及び超音波測定方法

    公开(公告)号:JPWO2017149658A1

    公开(公告)日:2018-03-08

    申请号:JP2016545949

    申请日:2016-03-01

    发明人: 木村 友則

    IPC分类号: G01N29/04 G01N29/11 G01N29/38

    CPC分类号: G01N29/04

    摘要: 超音波測定装置(1)は、入射された超音波を複数の伝搬モードの板波(UW)として伝搬させる試験体(100)の性状を判定する。超音波測定装置(1)は、試験体(100)を伝搬する板波(UW)を検出して得られた検出信号を受信して当該検出信号の時間領域波形を示す受信信号を出力する受信部(30)と、第1の伝搬モードに対応する波形部分の信号強度を検出するとともに第2の伝搬モードに対応する波形部分の信号強度を検出する強度検出部(12)と、それら信号強度を互いに比較し、その比較結果に基づいて試験体(100)の性状を判定する判定部(13)とを備える。

    欠陥検査装置、欠陥検査方法及びプログラム

    公开(公告)号:JPWO2016139928A1

    公开(公告)日:2017-12-14

    申请号:JP2017503342

    申请日:2016-03-01

    IPC分类号: G01N29/265 G01N29/04

    CPC分类号: G01N29/04 G01N29/265

    摘要: 本発明の目的は、移動手段として飛翔体を用いた場合に、搭載重量の軽量化を図れ、安定した欠陥検査が行える欠陥検査装置を提供することである。そのために本発明は、空間を自在に移動可能な移動部11と、検査構造物の検査対象領域の壁面検査を行う検査部12と、検査部12が一端に取り付けられるアーム部16と、アーム部16を回動させて検査部12の方向を制御する指向部13とを備え、アーム部16は、移動部11の水平方向の中心よりいずれかの方向に偏倚して移動部11に搭載する。