複合基板及び弾性波デバイス
    4.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2018093496A

    公开(公告)日:2018-06-14

    申请号:JP2017236975

    申请日:2017-12-11

    Abstract: 【課題】結晶性が高く、任意の結晶軸を持つ、均一な厚みの圧電単結晶薄膜を有する複合基板、その製法及び弾性波デバイスを提供する。 【解決手段】本発明の複合基板の製法は、(a)圧電基板と支持基板とを接合してなる直径4インチ以上の貼り合わせ基板の圧電基板側を、厚みが3μm以下になるまで鏡面研磨する工程と、(b)鏡面研磨した圧電基板の厚み分布のデータを作成する工程と、(c)厚み分布のデータに基づいてイオンビーム加工機で加工を行うことにより、圧電基板の厚みが3μm以下、その厚みの最大値と最小値の差が全平面で60nm以下、X線回折により得られるロッキングカーブの半値幅が100arcsec以下の結晶性を示す複合基板を得る工程と、を含む。 【選択図】なし

    フィルタおよびマルチプレクサ
    5.
    发明专利

    公开(公告)号:JP2017228946A

    公开(公告)日:2017-12-28

    申请号:JP2016123980

    申请日:2016-06-22

    CPC classification number: H03H9/6406 H01L41/107 H03H9/605 H03H9/6483 H03H9/725

    Abstract: 【課題】小型化でかつ2次高調波を抑制すること。 【解決手段】入力端子Tinと出力端子Toutとの間に直列に接続され、共振周波数frxが通過帯域の中心周波数の99.6%以下または102.2%以上である前記出力端子に最も近い直列共振器S5を含む1または複数の直列共振器S1−S5と、前記入力端子と前記出力端子との間に並列に接続された1または複数の並列共振器P1−P3と、前記出力端子に最も近い直列共振器に並列に接続されたインダクタLと、を具備するフィルタ。 【選択図】図9

    弾性表面波デバイス及びその製造方法
    9.
    发明专利
    弾性表面波デバイス及びその製造方法 有权
    表面声波装置及其制造方法

    公开(公告)号:JPWO2015025618A1

    公开(公告)日:2017-03-02

    申请号:JP2014560181

    申请日:2014-06-27

    Abstract: ダイシング時に給電ラインが圧電基板から剥がれることを抑制し、密閉空間の密閉性低下を抑制することができる弾性表面波デバイス及びその製造方法を提供する。圧電基板の主面11aに、弾性表面波素子パターンと、パッドと、パッドに電気的に接続され主面11aの外周縁11xまで延在する給電ライン18jとを含む導電パターンが形成されている。主面11aの外周縁11xに沿って、外周縁11xとの間に間隔を設けて枠状に形成された枠部32と、パッド上に形成されたパッド隣接部とを含む支持層を介して、圧電基板とカバーとが接合され、圧電基板、カバー及び枠部32で囲まれた密閉空間が形成される。支持層は、枠部32のうちパッド隣接部から離れている独立部分が給電ライン18jと交差する交差部分32xの近傍において、給電ライン18jと交差する補強部36を、さらに含む。

    Abstract translation: 是从压电基板上剥离防止切割过程中进料管线,它提供了一种表面声波器件及其制造方法,其能够抑制封闭空间的密封性恶化。 形成在垫的压电基板的主表面11a上,并且声表面波元件的图案,并且所述垫,所述导电图案包括电源线18J延伸到外周边缘11X电连接到所述主表面11a。 沿外边缘的主表面11a上,通过设置外周缘11X之间的空间形成为框状的框部32,经由支撑层的11倍包括形成在所述焊盘的焊盘相邻部分 一个压电基片和盖接合,由所述压电基板,在盖和32形成框架部分包围的封闭空间。 支撑层,在远离框架部32的垫相邻部分的交叉点32X独立部分附近穿过进料管线18J,相交馈线18J,还包括:加强部36。

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