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    走査型プローブ顕微鏡
    1.
    发明专利
    走査型プローブ顕微鏡 审中-公开

    公开(公告)号：JP2020012835A

    公开(公告)日：2020-01-23

    申请号：JP2019160224

    申请日：2019-09-03

    申请人： 株式会社島津製作所

    发明人： 小林 寛治 ,  平出 雅人

    IPC分类号： G01Q60/24 ,  G01Q20/02 ,  G01Q10/00 ,  G01Q70/00 ,  G01Q30/02

    摘要： 【課題】ビームスプリッタが移動可能な構成であっても、高い精度で観察を行うことができる走査型プローブ顕微を提供する。 【解決手段】走査型プローブ顕微鏡1における試料S及びカンチレバー4の位置を確認する場合には、ユーザは、筐体2の上面21の第1開口部21aに光学顕微鏡10を対向配置させ、筐体2の側面22に設けられた操作部を把持して回転させることで、保持部に保持されているビームスプリッタ6を筐体2内において回転移動させ、光学顕微鏡10の視野内から退避させる。そのため、ビームスプリッタ6を常に筐体2内に配置させておくことができ、ユーザがビームスプリッタ6に触れることを防止できる。その結果、ビームスプリッタ6が破損したり、ビームスプリッタ6に汚れが付着したりすることを防止できる。また、ビームスプリッタ6の移動距離を短くできる。そのため、ビームスプリッタ6の位置にずれが生じることを抑制できる。 【選択図】 図1

    Spm cantilever
    7.
    发明专利
    Spm cantilever 有权

    公开(公告)号：JP4656761B2

    公开(公告)日：2011-03-23

    申请号：JP2001163781

    申请日：2001-05-31

    申请人： オリンパス株式会社

    发明人： 正志 北沢 ,  浩一 塩谷

    IPC分类号： G01Q60/38 ,  G01Q60/16 ,  G01Q60/56 ,  G01Q70/00 ,  G01Q70/06

    CPC分类号： G01Q70/10

    摘要： A silicon nitride film is formed all over the surface of a cantilever prepared as including a support portion made by processing single-crystal silicon wafer, a lever portion extended from the support portion, formed with a controlled thickness from single-crystal silicon, and a probe portion made of single-crystal silicon disposed toward the free end of the lever portion with having its probe axis perpendicular to the lever portion, so as to have a greater film thickness on the side face of the probe portion toward the free end of the lever portion, thereby constructing SPM cantilever of configuration where the terminal end portion of the probe portion is tilted toward the free end by a certain angle theta with respect to the probe axis. The SPM cantilever thereby can be achieved as capable of measuring surface conditions always at high resolution correspondingly to measuring condition or sample shape.