公开(公告)号：KR102232789B1

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：KR1020200043942A

申请日：2020-04-10

Applicant: 주식회사 오킨스전자

Inventor： 전진국 ,  차상훈 ,  정창모

IPC: G01R1/067 ,  G01R3/00 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01R1/06722 ,  G01R1/06744 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2886

Abstract: 본 발명의 쓰리-레이어 MEMS 스프링 핀은, 하층 탑 플런저와 하층 바텀 플런저 사이에 하층 웨이브가 연결되는 하층 스프링 핀, 상층 탑 플런저와 상층 바텀 플런저 사이에 상층 웨이브가 연결되는 상층 스프링 핀, 상기 상층 탑 플런저와 상기 하층 탑 플런저 사이에 개재되는 중층 탑 팁, 및 상기 상층 바텀 플런저와 상기 하층 바텀 플런저 사이에 개재되는 중층 바텀 팁을 포함한다. 이와 같은 본 발명의 구성에 의하면, 휨을 방지하고, 다층 스프링의 의하여 스트로크가 안정화되고, 다층 플런저에 의하여 콘택 특성이 강화되는 작용효과가 기대된다.

公开(公告)号：KR20210027104A

公开(公告)日：2021-03-10

申请号：KR1020200103841A

申请日：2020-08-19

Applicant: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

Inventor： 준 후지하라

IPC: G01R1/073 ,  G01R1/04 ,  G01R31/28

CPC classification number: G01R1/07307 ,  G01R1/073 ,  G01R1/0408 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2812 ,  G01R31/2887 ,  G01R31/2891 ,  G01R31/287 ,  G01R31/2886

Abstract: 본 발명은, 덧댐 부재를 사용하지 않고 프로브를 클리닝할 수 있는 프로버 등을 제공한다. 프로버는, 복수의 검사실을 구비하고, 검사실 각각은, 프로브 카드와 프로브 카드 보유 지지 부재와 척 톱과 얼라이너와 시일 기구와 압력 센서와 전공 레귤레이터를 구비한다. 프로브 카드는, 복수의 프로브를 갖는다. 프로브 카드 보유 지지 부재는, 프로브 카드를 보유 지지한다. 척 톱은, 클리닝용 웨이퍼를 적재한다. 얼라이너는, 클리닝할 때 척 톱을 연직 방향으로 구동한다. 시일 기구는, 프로브 카드 보유 지지 부재와 척 톱의 사이에서 밀폐 공간을 형성시킨다. 압력 센서는, 얼라이너에 의해 구동되는 척 톱의 동작에 따라 변동하는 밀폐 공간 내의 압력을 검출한다. 전공 레귤레이터는, 압력 센서가 검출한 압력에 따라, 밀폐 공간에 대한 흡기 또는 배기를 행하여, 밀폐 공간 내의 압력을 제어한다.

公开(公告)号：JP2018189503A

公开(公告)日：2018-11-29

申请号：JP2017092340

申请日：2017-05-08

Applicant: 矢崎総業株式会社

Inventor： 成 誠 ,  福原 聡明

IPC: G01R15/20

CPC classification number: G01R15/207 ,  G01R1/18 ,  G01R3/00 ,  G01R15/202 ,  G01R19/0092 ,  H01F3/14

Abstract: 【課題】電流の検出精度を向上させること。 【解決手段】通電対象物である導電部材101を内方で間隔を空けて囲う筒体に対して筒軸方向に沿うスリット状のギャップ部12が形成されたコア主体11を有し、前記導電部材101に流れる電流に応じた磁束を発生させる磁気コア部材10と、前記ギャップ部12における磁束密度に応じた信号を出力する磁気センサ20と、前記コア主体11を外方側から隙間を空けて囲うシールド主体31を有し、前記シールド主体31で前記シールド主体31の内方と外方との間における磁気を遮蔽する磁気シールド部材30と、を備えること。 【選択図】図2

公开(公告)号：JP2018067483A

公开(公告)日：2018-04-26

申请号：JP2016206201

申请日：2016-10-20

Applicant: ヤマハ株式会社 ,  ヤマハファインテック株式会社

Inventor： 鈴木 克典 ,  奥宮 保郎 ,  寺岡 誠人 ,  山元 哲

IPC: H01R43/00 ,  H01B5/16 ,  H01B13/00 ,  H01B1/04 ,  G01R1/067 ,  G01R1/073 ,  H01R11/01

CPC classification number: G01R1/06733 ,  G01R1/06755 ,  G01R1/06761 ,  G01R1/0735 ,  G01R1/07378 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2805 ,  G01R31/2889 ,  H01B1/24

Abstract: 【課題】本発明は、導電性を発現する構成の平面視での配置間隔が比較的小さい異方導電性シート、電気検査ヘッド及び異方導電性シートの製造方法を提供することを課題とする。 【解決手段】本発明に係る異方導電性シートは、樹脂を主成分とする弾性層と、CNT繊維の束から形成され、前記弾性層を厚さ方向に貫通する複数のCNT柱とを備える。本発明に係る電気検査ヘッドは、測定対象物の複数の測定点間の電気的特性を測定する電気検査ヘッドであって、前記測定対象物の測定点に対向する面に複数の電極パッドを有する測定基板と、前記測定基板の測定対象物に対向する面に積層される当該異方導電性シートとを備える。本発明に係る異方導電性シートの製造方法は、成長基板の表面に触媒を配列して化学気相成長法によりCNT繊維の束から形成される複数のCNT柱を成長させる工程と、前記複数のCNT柱間に樹脂組成物を充填する工程とを備える。 【選択図】図1

公开(公告)号：JP6280913B2

公开(公告)日：2018-02-14

申请号：JP2015505895

申请日：2013-04-11

Applicant: フォームファクター, インコーポレイテッド

Inventor： パウエル,ショーン

IPC: H01L21/66 ,  H05K3/42 ,  G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07378 ,  G01R1/07342 ,  G01R3/00 ,  H01L21/486 ,  H01L23/49827 ,  H01L23/49838 ,  H01L2224/16225 ,  H05K1/0268 ,  H05K1/115 ,  H05K3/4038

公开(公告)号：JP6262547B2

公开(公告)日：2018-01-17

申请号：JP2014009725

申请日：2014-01-22

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 矢野 和哉 ,  秋山 収司

IPC: G01R1/073 ,  G01R31/26 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01R1/07342 ,  B24B19/16 ,  G01R1/073 ,  G01R1/07371 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2889

公开(公告)号：JP6259590B2

公开(公告)日：2018-01-10

申请号：JP2013123737

申请日：2013-06-12

Applicant: 株式会社日本マイクロニクス

Inventor： 新井 治 ,  齊藤 祐貴 ,  井上 龍雄 ,  清藤 英博

IPC: G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07314 ,  G01B21/08 ,  G01R1/07307 ,  G01R3/00 ,  G01R31/2863 ,  G01R31/2874

公开(公告)号：JP6223567B2

公开(公告)日：2017-11-01

申请号：JP2016528098

申请日：2013-11-07

Applicant: ヘレーウス ドイチュラント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ウント コンパニー コマンディートゲゼルシャフト ,  Heraeus Deutschland GmbH&Co.KG

Inventor： ペア ゼーレンゼン ,  ニコル シュタウト ,  ラインホルト ヴァイラント ,  インゴ プルンツェル ,  デイヴィッド フランシス ラプトン

IPC: G01R1/073 ,  G01R1/067

CPC classification number: G01R1/06755 ,  G01R1/06788 ,  G01R3/00 ,  H01R43/20

公开(公告)号：JP2017150864A

公开(公告)日：2017-08-31

申请号：JP2016031622

申请日：2016-02-23

Applicant: 日本電子材料株式会社 ,  新光電気工業株式会社

Inventor： 森 親臣 ,  清水 雄一郎 ,  藤原 洸輔

IPC: G01R31/26 ,  G01R1/06 ,  H01L21/66 ,  G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07371 ,  G01R1/07342 ,  G01R1/07357 ,  G01R31/2886 ,  G01R3/00

Abstract: 【課題】 プローブガイドの強度を向上させ、プローブガイドの耐摩耗性を向上させることを目的とする。 【解決手段】 ガイド板20は、コンタクトプローブ13を支持するガイド穴23を有するシリコン板22により構成され、ガイド穴23の内壁は、シリコン板22の貫通加工穴24の内壁面上に形成されたガイド膜25を備え、貫通加工穴24は、シリコン板22の第1面に向かって断面積が漸増し、ガイド膜25は、シリコン板22の第1面に向かって膜厚が漸増する。このような構成を採用することにより、貫通加工穴24の内壁面の傾斜に比べて、ガイド穴23の内壁面の傾斜を抑制し、ガイド板20の強度を向上させることができる。従って、プローブガイド100の耐摩耗性を向上させることができる。 【選択図】 図2

公开(公告)号：JP6189187B2

公开(公告)日：2017-08-30

申请号：JP2013238776

申请日：2013-11-19

Applicant: 新光電気工業株式会社

Inventor： 堀内 道夫 ,  深澤 亮 ,  松田 勇一 ,  徳武 安衛

IPC: G01R31/26 ,  H01L21/66 ,  G01R1/073

CPC classification number: G01R3/00 ,  G01R1/07342 ,  G01R1/07371 ,  H01L2924/19107 ,  Y10T29/49147