公开(公告)号：KR102108717B1

公开(公告)日：2020-05-08

申请号：KR1020157006118

申请日：2013-07-18

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 람,윈저 ,  밀러,케이스에이. ,  존슨,칼 ,  라이커,마틴리 ,  수,예

IPC分类号： C23C14/04 ,  C23C14/54 ,  H01L21/285 ,  H01L21/768

公开(公告)号：KR1020150043389A

公开(公告)日：2015-04-22

申请号：KR1020157006118

申请日：2013-07-18

申请人： 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드

发明人： 람,윈저 ,  밀러,케이스에이. ,  존슨,칼 ,  라이커,마틴리 ,  수,예

IPC分类号： H01L21/203 ,  C23C14/04 ,  C23C14/54 ,  H01L21/67 ,  G05B15/02

CPC分类号： C23C14/046 ,  C23C14/54 ,  H01L21/2855 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76865 ,  H01L21/76873 ,  H01L21/76879 ,  H01L21/203 ,  G05B15/02 ,  H01L21/67011

摘要： 프로세스챔버에서기판을프로세싱하기위한방법들및 장치는, 제 1 챔버프로세스를수행하기위해프로세스제어기로부터하나또는그 초과의디바이스들을위한프로세스제어파라미터들을수신하는단계; 하나또는그 초과의디바이스들에프로세스제어파라미터들각각을전송하기위한시간을결정하는단계; 하나또는그 초과의디바이스들각각에대해, 하나또는그 초과의디바이스들각각과연관된특정신호프로세스지연들을사용하여, 프로세스제어파라미터들각각을전송하기위한결정된시간을조정하는단계; 및제 1 챔버프로세스를수행하기위해, 조정된시간들에서하나또는그 초과의디바이스들각각에프로세스제어파라미터들을전송하는단계를포함하며, 동기화제어기는하나또는그 초과의출력채널들을포함하고, 각각의채널은하나또는그 초과의디바이스들중 하나에직접적으로커플링된다.