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公开(公告)号：KR101851973B1
公开(公告)日：2018-04-25
申请号：KR1020150079473
申请日：2015-06-04
申请人： 주식회사 엘지화학
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은, 블록공중합체및 그용도가제공될수 있다. 본출원의블록공중합체는, 우수한자기조립특성내지는상분리특성을가지며, 요구되는다양한기능도자유롭게부여될수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160038871A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020150138201
申请日：2015-09-30
申请人： 주식회사 엘지화학
IPC分类号： H01L21/027 , H01L51/00 , H01L21/3065 , G03F7/42
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은, 패턴화기판의제조방법에대한것이다. 상기방법은, 예를들면, 전자디바이스및 집적회로와같은장치의제조공정또는다른용도, 예컨대집적광학시스템, 자기도메인메모리의가이던스및 검출패턴, 평판디스플레이, 액정디스플레이(LCD), 박막자기헤드또는유기광 방출다이오드등의제조에적용될수 있고, 집적회로, 비트-패턴화된매체및/또는하드드라이브와같은자기저장디바이스등의개별트랙매체(discrete track medium)의제조에사용하기위해표면위에패턴을구축하는데사용될수 있다.
摘要翻译： 本公开涉及图案化衬底的制造方法。 根据本发明，例如，该方法可以应用于诸如电子设备和集成电路的设备的制造过程或包括集成光学系统，磁畴存储器的引导和检测图案的其它目的， 平板显示器，液晶显示器（LCD），薄膜磁头，无机发光二极管等。 此外，该方法能够用于在表面上形成图案以制造离散轨道介质，例如集成电路，位图形介质，诸如硬盘驱动器的磁存储器件等等。 该方法包括：形成包含嵌段共聚物的层的步骤; 以及诱导嵌段共聚物的磁性组装结构的步骤。
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公开(公告)号：KR1020160038869A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020150138199
申请日：2015-09-30
申请人： 주식회사 엘지화학
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은블록공중합체및 그용도에관한것이다. 본출원은, 자기조립특성이우수하여다양한용도에서효과적으로사용될수 있는블록공중합체및 그용도를제공할수 있다.
摘要翻译： 本发明涉及嵌段共聚物及其用途。 本发明提供的嵌段共聚物具有优异的自组装性，可有效地用于各种目的; 及其用途。 嵌段共聚物包含第一嵌段和具有不同于第一嵌段的化学结构的第二嵌段。 在-90至-70度的方位角，在GIWAXS光谱的12nm ^ -1至16nm ^ -1的范围内的散射矢量的衍射图案和半宽度在5至 在第一块中观察到70度至90度的方位角为70度。 此外，第二块具有小于或等于10mN / m的表面能与第一块的差的绝对值。
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公开(公告)号：KR1020160038702A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020150079469
申请日：2015-06-04
申请人： 주식회사 엘지화학
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/3065 , C08F297/00 , C08F299/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은, 패턴화기판의제조방법에대한것이다. 상기방법은, 예를들면, 전자디바이스및 집적회로와같은장치의제조공정또는다른용도, 예컨대집적광학시스템, 자기도메인메모리의가이던스및 검출패턴, 평판디스플레이, 액정디스플레이(LCD), 박막자기헤드또는유기광 방출다이오드등의제조에적용될수 있고, 집적회로, 비트-패턴화된매체및/또는하드드라이브와같은자기저장디바이스등의개별트랙매체(discrete track medium)의제조에사용하기위해표면위에패턴을구축하는데사용될수 있다.
摘要翻译： 本发明涉及一种用于制造图案化衬底的方法。 图案化基板的制造方法可以应用于制造工艺，例如电子设备和集成电路等器件的制造工艺，或其他用途，例如制造集成光学系统，引导和 用于磁畴存储器，平板显示器，液晶显示器（LCD），薄膜磁头或有机发光二极管等的检测图案。 此外，制造图案化衬底的方法可以用于在用于制造磁存储装置等的离散轨道介质的表面上构造图案，诸如集成电路，位图案化介质和/或 一个硬盘。 制造图案化衬底的方法包括在经过氧等离子体处理的衬底的表面上形成包括由自组装结构诱导的嵌段共聚物的聚合物膜的步骤。
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公开(公告)号：KR101880212B1
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：KR1020150079483
申请日：2015-06-04
申请人： 주식회사 엘지화학
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은, 블록공중합체및 그용도가제공될수 있다. 본출원의블록공중합체는, 우수한자기조립특성내지는상분리특성을가지며, 요구되는다양한기능도자유롭게부여될수 있고, 특히에칭선택성이확보되어패턴형성과같은용도에효과적으로적용될수 있다.
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公开(公告)号：KR101749417B1
公开(公告)日：2017-07-03
申请号：KR1020150138199
申请日：2015-09-30
申请人： 주식회사 엘지화학
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은블록공중합체및 그용도에관한것이다. 본출원은, 자기조립특성이우수하여다양한용도에서효과적으로사용될수 있는블록공중합체및 그용도를제공할수 있다.
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公开(公告)号：KR101749416B1
公开(公告)日：2017-07-03
申请号：KR1020150138198
申请日：2015-09-30
申请人： 주식회사 엘지화학
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은블록공중합체및 그용도에관한것이다. 본출원은, 자기조립특성이우수하여다양한용도에서효과적으로사용될수 있는블록공중합체및 그용도를제공할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160038866A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020150138196
申请日：2015-09-30
申请人： 주식회사 엘지화학
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은블록공중합체및 그용도에관한것이다. 본출원은, 자기조립특성이우수하여다양한용도에서효과적으로사용될수 있는블록공중합체및 그용도를제공할수 있다.
摘要翻译： 本发明涉及嵌段共聚物及其用途。 本发明提供的嵌段共聚物具有优异的自组装性，可有效地用于各种目的; 及其用途。 嵌段共聚物包含第一嵌段和具有不同于第一嵌段的化学结构的第二嵌段。 第一块通过DSC分析显示在-80℃至200℃的范围内的熔融转变峰或各向同性转变峰。
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公开(公告)号：KR1020160038707A
公开(公告)日：2016-04-07
申请号：KR1020150079487
申请日：2015-06-04
申请人： 주식회사 엘지화학
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원에서는, 고분자조성물, 고분자막, 고분자막의제조방법및 패턴형성방법이제공될수 있다. 본출원의우수한자기조립특성내지는상분리특성을가지며, 요구되는다양한기능도자유롭게부여될수 있는블록공중합체와상기블록공중합체가자기조립구조를구현하였을때에에칭선택성을부여할수 있는중합체를적용한고분자조성물, 고분자막, 고분자막의제조방법및 패턴형성방법이제공될수 있다.
摘要翻译： 本发明提供聚合物组合物，聚合物膜，聚合物膜的制造方法和形成图案的方法。 更具体地说，本发明提供：具有优异的自组装性或相分离特性的嵌段共聚物，可以自由地提供所需的各种功能; 当嵌段共聚物实现自组装结构时，施加能够赋予蚀刻选择性的聚合物的聚合物组合物; 聚合物膜; 聚合物膜的制造方法; 以及形成图案的方法。
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公开(公告)号：KR101832031B1
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：KR1020150079489
申请日：2015-06-04
申请人： 주식회사 엘지화학
IPC分类号： C08F297/00 , C08F299/00 , C08F212/08 , C08F220/10 , C08L53/00 , C08J5/18 , G03F7/00
CPC分类号： C08L53/005 , B05D1/005 , B05D3/007 , B81C1/00428 , B81C2201/0149 , B82Y40/00 , C01P2002/70 , C07B2200/00 , C08F2/14 , C08F32/06 , C08F212/08 , C08F216/12 , C08F220/10 , C08F220/26 , C08F220/30 , C08F293/00 , C08F293/005 , C08F299/024 , C08F2220/301 , C08F2438/03 , C08G61/08 , C08G61/128 , C08G2261/1424 , C08G2261/1426 , C08G2261/332 , C08G2261/3324 , C08G2261/40 , C08G2261/418 , C08J5/18 , C08J7/123 , C08J2353/00 , C08L53/00 , C08L53/02 , C09D153/00 , G03F7/0002 , G03F7/0046 , G03F7/039 , G03F7/091 , G03F7/16 , G03F7/162 , G03F7/2004 , G03F7/30 , C08F214/182
摘要： 본출원은, 블록공중합체및 그용도가제공될수 있다. 본출원의블록공중합체는, 우수한자기조립특성내지는상분리특성을가지며, 요구되는다양한기능도자유롭게부여될수 있고, 특히에칭선택성이확보되어패턴형성과같은용도에효과적으로적용될수 있다.
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