블록 공중합체 박막의 용매 어닐링 방법 및 장치
    9.
    发明公开
    블록 공중합체 박막의 용매 어닐링 방법 및 장치 审中-实审
    溶剂退火工艺和嵌段共聚物薄膜的装置

    公开(公告)号:KR1020160101766A

    公开(公告)日:2016-08-26

    申请号:KR1020150024058

    申请日:2015-02-17

    IPC分类号: C08J3/09 C08F297/00

    摘要: 본발명은고분자량블록공중합체(PS-b-PMMA 등)의수직배향된자기조립패턴을대면적에걸쳐제작할수 있는용매어닐링공정및 장치에관한것이다. 본발명은 100,000 g/mol 이상의고분자량을갖는블록공중합체의경우열 처리로자기조립구조를형성하기어려운문제를해결하고, 종래의용매어닐링챔버없이도대면적스케일로블록공중합체의자기조립구조를제어할수 있는용매어닐링공정및 장치를제공한다.

    摘要翻译: 本发明涉及一种用于退火溶剂的装置和方法,其可以在大面积上制造高分子量嵌段共聚物(PS-b-PMMA等)的垂直取向的自组装图案。 在本发明中提供了用于退火溶剂的装置和方法,其可以在没有用于退火溶剂的常规室的情况下控制大面积尺度的嵌段共聚物的自组装结构。 用于退火溶剂的装置和方法可以解决难以在嵌段共聚物具有大于或等于100,000g / mol的高分子量的情况下通过热处理形成自组装结构的问题。