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    경금속의 진공용해장치 및 이를 이용한 진공용해방법
    2.
    发明公开
    경금속의 진공용해장치 및 이를 이용한 진공용해방법 失效
    轻金属真空熔炼装置及使用其的真空熔炼方法

    公开(公告)号：KR1020090126171A

    公开(公告)日：2009-12-08

    申请号：KR1020080105841

    申请日：2008-10-28

    申请人： (주)엔티티 ,  고동근

    发明人： 고동근

    IPC分类号： B22D17/28

    CPC分类号： B22D17/28 ,  B22D21/002 ,  B22D27/15 ,  F27B5/12 ,  F27B5/13 ,  F27B5/14 ,  F27B14/06 ,  F27B14/0806 ,  F27B14/14

    摘要： PURPOSE: A vacuum melting apparatus and method for light metal are provided to produce an ultra-pure casting product of light metal material by discharging the gas produced in melting the light metal nearly completely from the molten metal. CONSTITUTION: A vacuum melting apparatus for light metal comprises a vacuum melting chamber(100) which includes a material inlet part(20) and a molten metal guide pipe(14), a molten metal insulation furnace(10) which moves up and down inside of the vacuum melting chamber and is equipped with a molten metal outlet pipe(16) on the bottom thereof and a first heater(17) on the exterior thereof, a valve rod(12) which opens and closes the molten metal outlet pipe, and a pipe melting furnace(21) which is connected to the material inlet part on one side and located above the molten metal insulation furnace on the other and is equipped with a second heater(27) on the exterior thereof.

    摘要翻译： 目的：提供一种用于轻金属的真空熔化装置和方法，以通过将几乎完全熔融轻金属的熔融金属从熔融金属中排出而产生的轻金属材料的超纯铸造产品。 构成：用于轻金属的真空熔化装置包括：真空熔化室（100），其包括材料入口部分（20）和熔融金属导管（14）;熔融金属绝缘炉（10），其在内部上下移动 的真空熔融室，并且在其底部配备有熔融金属出口管（16）和在其外部的第一加热器（17），打开和关闭熔融金属出口管的阀杆（12），以及 管熔融炉（21），其一端连接于熔融金属绝缘炉上方的材料入口部分，并在其外部配备有第二加热器（27）。

    몰드 플럭스 용융 장치 및 방법
    3.
    发明公开
    몰드 플럭스 용융 장치 및 방법 有权
    模具熔炼设备和模具熔炼熔炼方法

    公开(公告)号：KR1020120045315A

    公开(公告)日：2012-05-09

    申请号：KR1020100106776

    申请日：2010-10-29

    申请人： 주식회사 포스코

    发明人： 박상현 ,  박진섭

    IPC分类号： F27B5/04 ,  F27B5/06 ,  B22D11/108

    CPC分类号： B22D11/108 ,  F27B5/12 ,  F27B5/13 ,  F27B5/14 ,  F27B5/16 ,  F27B5/18 ,  F27B2005/161 ,  F27D21/0014

    摘要： PURPOSE: A mold flux melting apparatus and method are provided to prevent or reduce the volatilization of F(Fluorine) in mold flux by using solid carbon in melting. CONSTITUTION: A mold flux melting apparatus comprises a melting furnace(100), a flux feeding unit(200), one or more burners(300), a carbon feeding unit(400), and an oxygen supply unit(500). The melting furnace provides a space for melting mold flux. The flux feeding unit supplies mold flux to the melting furnace. The burners pass through the melting furnace to create flam in the space. The carbon feeding unit supplies solid carbon to the burners. The oxygen supply unit supplies oxygen-containing gas to the burners.

    摘要翻译： 目的：提供一种熔剂熔化装置和方法，通过使用固体碳熔化来防止或减少模具助熔剂中F（氟）的挥发。 构成：熔模熔化装置包括熔化炉（100），焊剂供给单元（200），一个或多个燃烧器（300），碳输送单元（400）和氧气供应单元（500）。 熔化炉提供熔化熔渣的空间。 焊剂供给单元向熔化炉供给模具通量。 燃烧器通过熔炉在空间中产生火焰。 碳进料单元向燃烧器提供固体碳。 供氧单元向燃烧器供应含氧气体。

    종형 열처리 장치 및 피처리체 이동 탑재 방법
    4.
    发明公开
    종형 열처리 장치 및 피처리체 이동 탑재 방법 有权
    垂直热处理设备和传送待处理对象的方法

    公开(公告)号：KR1020060126857A

    公开(公告)日：2006-12-11

    申请号：KR1020057022867

    申请日：2005-03-25

    申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    发明人： 아사리사또시 ,  미하라가쯔히꼬 ,  기꾸찌히로시

    IPC分类号： F27B5/12 ,  B65G49/07 ,  F27B5/13 ,  F27D3/12

    CPC分类号： H01L21/67757 ,  F27B5/04 ,  F27B5/12 ,  F27B5/13 ,  F27B17/0025 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

    摘要： An improved transfer mechanism (21) is provided for vertical heat treatment equipment. The transfer mechanism transfers a treating object W between a treating object storing container (carrier) (16) and a treating object holder (boat) (9), which holds a plurality of the treating objects at intervals in the vertical direction through a ring-shaped supporting board (15). The transfer mechanism (21) is provided with a plurality of substrate supports (20) arranged at prescribed intervals, and each substrate support (20) has a holding mechanism (28) to hold the treating object W at a lower side. Each holding mechanism (28) is provided with a fixed locking part (30), which is fixed at a leading edge part of the substrate support (20) and locks a front edge part of the treating object W, and a movable locking part (31), which is movably provided at a base edge part of the substrate support (20) and removably locks a rear edge part of the treating object W. A plurality of the treating objects W are quickly and surely transferred at the same time. A thickness of the substrate support (20) is reduced by the constitution of the simple holding mechanism (28), an arrangement pitch of the ring-shaped supporting boards (15) can be reduced, and a number of the object W to be treated which can be processed at one time in a heat treatment furnace is increased. Due to these factors, throughput is improved.

    摘要翻译： 为立式热处理设备提供改进的传送机构（21）。 转印机构将处理对象物W搬送到处理对象物收容容器（承载体）16和处理对象保持体9之间， （15）。 传送机构（21）设置有以规定间隔配置的多个基板支撑（20），并且每个基板支撑（20）具有用于将处理对象W保持在下侧的保持机构（28）。 每个保持机构（28）设置有固定在基板支撑件（20）的前缘部分并锁定处理物体W的前边缘部分的固定锁定部件（30）和可移动锁定部件 31），其可移动地设置在基板支撑件（20）的基部边缘部分处，并且可拆卸地锁定处理对象W的后边缘部分。多个处理对象W同时快速且可靠地传送。 通过简单的保持机构（28）的构造来减小基板支撑件（20）的厚度，可以减小环状支撑板（15）的布置间距，并且待处理的物体W的数量 可以在热处理炉中一次加工。 由于这些因素，吞吐量提高。

    자기 어닐링 장치
    6.
    发明公开
    자기 어닐링 장치 审中-实审
    磁性退火装置

    公开(公告)号：KR1020160104601A

    公开(公告)日：2016-09-05

    申请号：KR1020160107688

    申请日：2016-08-24

    申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    发明人： 오노유지 ,  이시이도루 ,  사이토마코토 ,  오바라미츠루 ,  다케우치야스시

    IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677 ,  F27B5/06 ,  F27B5/12 ,  F27B5/13 ,  F27D3/00 ,  F27D11/12 ,  F27D19/00 ,  C21D1/04

    CPC分类号： H01L39/02 ,  C21D1/04 ,  C21D2281/00 ,  F27B5/06 ,  F27B5/12 ,  F27B5/13 ,  F27D3/0024 ,  F27D3/0084 ,  F27D11/12 ,  F27D19/00 ,  F27D2003/0003 ,  F27D2003/0018 ,  G11C11/16 ,  H01L43/12 ,  H01L21/67098 ,  H01L21/67754 ,  H01L21/67781

    摘要： 본발명은다수매의웨이퍼를연속적으로처리할수 있는자기어닐링장치를제공하는것을과제로한다. 이러한자기어닐링장치는, 한그룹의피처리체를수납한수납용기를반송하는수납용기반송영역과, 상기피처리체를반송하는피처리체반송영역이개폐도어를사이에두고형성되고, 제어부를갖는자기어닐링장치로서, 상기수납용기반송영역에는, 이자기어닐링장치에반입되는수납용기를배치하는제1 배치대와, 상기개폐도어를통해상기수납용기반송영역으로부터상기피처리체반송영역으로기밀하게상기피처리체를반송하기위해상기수납용기를배치하는복수의제2 배치대와, 복수의상기수납용기를보관하는보관부와, 상기제1 배치대, 상기제2 배치대및 상기보관부사이에서상기수납용기를반출입하는수납용기반송기구가배치되며, 상기피처리체반송영역에는, 복수의상기피처리체의위치맞춤을행하는얼라이너와, 복수그룹의상기피처리체를유지할수 있는피처리체유지구와, 상기제2 배치대에배치된수납용기, 상기얼라이너및 상기피처리체유지구의사이에서상기피처리체를반송하는피처리체반송기구와, 상기피처리체를가열하는가열수단과, 상기피처리체에자계를인가하는횡형초전도자석을갖는자계발생수단과, 상기피처리체유지구에유지된상기피처리체를상기자계발생수단내로트랜스퍼하는트랜스퍼기구가배치된것이다. 또한, 본발명은효율적으로웨이퍼를자기어닐링장치로반입할수 있는자기어닐링장치를제공하는것을과제로한다. 이러한자기어닐링장치는, 자계발생수단으로서횡형의초전도자석을이용하여, 피처리체를자기어닐링처리하는자기어닐링장치로서, 상기피처리체를유지할수 있는피처리체유지구와, 상기피처리체를수납하는수납용기와상기피처리체유지구의사이에서상기피처리체를반송하는피처리체반송기구와, 상기피처리체유지구에접속부를통해접속되고, 상기피처리체를상기피처리체반송기구로반송할때의제1 위치와, 상기피처리체를자기어닐링처리할때의제2 위치와의사이에서, 상기피처리체유지구를트랜스퍼할수 있는트랜스퍼기구를구비하고, 상기접속부는, 상기피처리체유지구의경사각을조절할수 있는각도조절부를갖는것이다.

    摘要翻译： 本发明提供了连续处理多个晶片的磁性退火装置。 磁退火装置包括：接收容器返回区域，其返回接收一组待处理材料的接收容器; 退回材料的退料区; 以及控制部，其中通过在其间留下开闭门来形成接收容器返回区域和材料返回区域。 第一配置部分，多个第二配置部分，用于存储多个接收容器的存储部分和接收容器返回装置布置在接收容器返回区域中。 对准器，材料保持器，布置在第二布置部分中的接收容器，材料返回装置，加热单元，具有水平超导磁体的磁场产生单元，以及用于将材料转移到磁体内部的转移装置 场发生单元布置在材料返回区域中。

    경금속의 진공용해장치 및 이를 이용한 진공용해방법
    9.
    发明授权
    경금속의 진공용해장치 및 이를 이용한 진공용해방법 失效
    轻金属真空熔炼装置及使用其的真空熔炼方法

    公开(公告)号：KR101013207B1

    公开(公告)日：2011-02-10

    申请号：KR1020080105841

    申请日：2008-10-28

    申请人： (주)엔티티 ,  고동근

    发明人： 고동근

    IPC分类号： B22D17/28

    CPC分类号： B22D17/28 ,  B22D21/002 ,  B22D27/15 ,  F27B5/12 ,  F27B5/13 ,  F27B5/14 ,  F27B14/06 ,  F27B14/0806 ,  F27B14/14

    摘要： 본 발명은 경금속의 진공용해장치 및 이를 이용한 진공용해방법에 관한 것으로, 더욱 구체적으로는 진공용해챔버(100) 내에 원통형의 파이프 형태로 되고 외면에 가열수단(27)이 구비되며 단부에 스토퍼(23)가 형성된 경사진 파이프용해로(21)를 장착하여, 재료주입부(20)를 통해 투입된 경금속재료(40)가 경사진 파이프용해로(21) 내에서 스토퍼(23)에 저지된 상태로 가열수단(27)에 의해 용융되게 함으로서, 경금속재료(40)가 용해되는 시점부터 완전 용해되기까지 생성되는 용탕(41)이 점적(點滴) 형태로 용탕보온로(10) 내부로 유입되게 하여 경금속 용융시 발생하는 가스가 용탕(41)에서 거의 완벽히 분리되어 순수 경금속재료의 주물을 제조할 수 있게 하는 경금속의 진공용해장치 및 이를 이용한 진공용해방법에 관한 것이다.

    종형 열처리 장치 및 피처리체 이동 탑재 방법
    10.
    发明授权
    종형 열처리 장치 및 피처리체 이동 탑재 방법 有权
    垂直热处理设备和传送待处理对象的方法

    公开(公告)号：KR100980961B1

    公开(公告)日：2010-09-07

    申请号：KR1020057022867

    申请日：2005-03-25

    申请人： 도쿄엘렉트론가부시키가이샤

    发明人： 아사리사또시 ,  미하라가쯔히꼬 ,  기꾸찌히로시

    IPC分类号： F27B5/12 ,  B65G49/07 ,  F27B5/13 ,  F27D3/12

    CPC分类号： H01L21/67757 ,  F27B5/04 ,  F27B5/12 ,  F27B5/13 ,  F27B17/0025 ,  H01L21/67781 ,  H01L21/68707

    摘要： 본 발명은 종형 열처리 장치에 있어서, 피처리체 수납 용기(캐리어)(16)와 링 형상 지지판(15)을 통하여 상하 방향에 간격을 두고 복수의 피처리체를 보유 지지하는 피처리체 보유 지지구(보트)(9) 사이에서 피처리체(W)를 이동 탑재하는 개량된 이동 탑재 기구(21)가 개시된다. 이동 탑재 기구(21)는 소정 간격을 두고 배치된 복수매의 기판 지지구(21)를 갖고, 각 기판 지지구(21)는 각각의 아래쪽에서 피처리체(W)를 잡는 손잡이 기구(28)를 갖고 있다. 각 손잡이 기구(28)는 기판 지지구(20)의 선단부에 고정 설치되어 피처리체(W)의 전방 모서리부를 계지하는 고정 계지부(30)와, 기판 지지구(20)의 기단부로 이동 가능하게 설치되어 피처리체(W)의 후방 모서리부를 착탈 가능하게 계지하는 가동 계지부(31)를 갖고 있다. 복수매의 피처리체(W)가 동시에 신속하면서 확실하게 이동 탑재된다. 간결한 손잡이 기구(28)의 구성에 의해 기판 지지구(21)의 두께가 감소하여 링 형상 지지판(15)의 배열 피치를 작게 할 수 있고, 열처리로 내에서 한번에 처리할 수 있는 피처리체(W)의 매수가 증대된다. 이들에 기인하여 처리량의 향상이 실현된다.
    링 형상 지지판, 기판 지지구, 손잡이 기구, 가동 계지부, 피처리체