公开(公告)号：KR20180049201A

公开(公告)日：2018-05-10

申请号：KR20187012150

申请日：2011-08-09

IPC分类号： H01L21/67 ,  F27B5/14 ,  F27B5/18 ,  F27D11/02

CPC分类号： H01L21/67115 ,  F27B5/06 ,  F27B5/14 ,  F27B5/18 ,  F27D11/02 ,  F27D2019/0003 ,  H01L21/67011 ,  H01L21/67248

摘要： 본원발명은일반적으로기판들을처리하기위한방법들및 장치들에관한것이다. 본원발명의실시예들은광학적으로투명할수 있는반사기플레이트를포함하는기판을처리하기위한장치를포함한다. 반사기플레이트는반사코팅을포함할수 있고그리고반사기플레이트조립체의일부일수 있으며, 상기반사기플레이트조립체에서반사기플레이트가베이스플레이트에조립된다.

公开(公告)号：KR1020150003490A

公开(公告)日：2015-01-09

申请号：KR1020130076394

申请日：2013-07-01

申请人： 한국지질자원연구원

发明人： 이진영 ,  홍세선 ,  최한우 ,  김진철

IPC分类号： G01N1/44

CPC分类号： G01N1/44 ,  C01B32/20 ,  F27B5/14

摘要： 흑연화 처리장치의 탄소환원반응시에 사용되는 가열장치를 개시한다. 상기 가열장치는 일 측면에 복수 개의 홀들이 형성된 몸체; 상기 몸체 내에 삽입되며, 일 측면에 상기 몸체의 홀들과 동일한 간격을 갖는 복수 개의 삽입홈이 형성된 도가니; 및 상기 몸체 내측과 상기 도가니 사이에 구비되며, 상기 마이크로파를 전달받아 발진시켜 상기 도가니를 가열시키는 마이크로파 도파관;를 포함하고, 상기 삽입홈 내에 인입된 환원반응관을 가열하는 것을 특징으로 한다.

摘要翻译： 公开了在石墨化处理装置的碳还原反应期间使用的加热装置。 所述加热装置包括在一侧具有多个孔的主体; 坩埚插入到主体中并且具有与身体的一侧的孔隙相同的间隙的多个插入孔; 以及微波波导，其布置在主体的内侧和坩埚之间，并通过接收微波振动坩埚来加热坩埚。 加热装置加热插入到插入槽中的还原反应管。

公开(公告)号：KR1020140116199A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：KR1020147022493

申请日：2013-01-17

申请人： 에테하 취리히

发明人： 뢰플러,외르그 ,  우꼬뷧쪄,페테르 ,  베그만,크리스티안 ,  베커,민흐 ,  페이팅거,하인리히

IPC分类号： C22B9/04 ,  C22B26/22

CPC分类号： C22B9/04 ,  C22B9/006 ,  C22B26/22 ,  F27B5/04 ,  F27B5/14 ,  F27B5/18

摘要： 마그네슘-함유 금속 용해물의 형태인 출발 물질(2)은 외부 가열 요소(5)에 의해 가열되는 레토르트(1)의 상부 영역(11)의 응축 용기(3)의 상부 영역(32)과 함께 존재하며, 화살표(91)를 따라 생성된 증기가, 화살표(91)를 따라서, 오염된 마그네슘 용해물의 원치 않는 진입에 대한 보호를 제공하는 커버(4) 아래의 개구(31)를 통해 응축 용기(3)의 상부 영역(32)에 들어가며, 상기 증기는, 응축 용기(3)의 하부 영역(33)내에 고순도 마그네슘 용해물(21)을 주기 위해서, 마그네슘의 용해점 등온선에 대응하는 라인(8) 아래로, 제2 가열 요소(51)에 의해 가열되는 레토르트의 하부 영역(12)내에서 응축한다. 장벽 유닛(6)을 여는 것에 의해서, 레토르트(1)의 내부는 일시적으로 공급 챔버(13)에, 그리고 또한 라인(73) 및 밸브(72)를 통해서 진공 펌프(73), 추가적인 라인(74)을 통해서 진공 측정 장비(75)에, 그리고 제3 라인(76)을 통해, 밸브(77) 및 압력 및/또는 흐름 조절기(77)를 통해 비활성 기체원(79)에 연결될 수 있다.

摘要翻译： 含镁金属熔体形式的原料2与由外部加热元件5加热的蒸馏器1的上部区域11中的冷凝罐3的上部区域32一起存在，其中根据 根据箭头92的箭头91通过盖4下方的开口31进入冷凝罐3的上部区域32，其提供防止受污染的镁熔体的不期望的进入的保护，其中所述蒸汽在蒸馏器的下部区域12中冷凝 其由对应于镁的熔点等温线的管线8下方的第二加热元件51加热，以在冷凝罐3的下部区域33中形成高纯度的镁熔体21.通过打开阻挡单元6， 蒸馏器1的内部可以临时连接到供应室13，并且还经由管线73和阀72连接到真空泵73，经由另外的管线74到达压力测量仪器75，并且vi 第三管线76经由阀77和压力和/或流量调节器77连接到惰性气体源79。

公开(公告)号：KR101391301B1

公开(公告)日：2014-05-02

申请号：KR1020120070581

申请日：2012-06-29

申请人： 가부시키가이샤 히다치 고쿠사이 덴키

发明人： 아부라타니유키노리 ,  시마다토시야 ,  시노자키켄지 ,  아마노토미히로 ,  아시하라히로시 ,  야나이히데히로 ,  미야케마사히로 ,  히야마신

IPC分类号： H01L21/205 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L21/67115 ,  C23C16/481 ,  F27B5/14 ,  F27B17/0025 ,  F27D2009/0056 ,  H01L21/324 ,  H05B3/0047 ,  H05B3/08

摘要： 기판을가열하기위한램프의수명을길게한다.기판을처리하는수광실(受光室); 상기수광실내에설치되고, 기판을지지하는기판지지부; 램프전기배선과, 상기램프전기배선을내포하여램프내의기체를기밀하게봉지하는봉지부를포함하고, 상기기판지지부에지지된기판에광을조사하는상기램프; 상기수광실외에설치되고, 냉매가흐르는냉각유로와, 상기램프와, 상기램프와연결되고상기램프전기배선에전류를공급하는램프연결부재와, 상기봉지부보다도열전도율이높은재료로구성되고상기봉지부의주위를피복하여상기봉지부에접촉하는흡열(吸熱) 부재와, 상기흡열부재에접촉하여상기흡열부재를고정하기위한기초부재를포함하는램프수용부; 및상기램프연결부재에접속되고, 상기램프연결부재에전류를공급하는외부전기배선;을구비하고, 상기흡열부재는, 내부형상이상기램프연결부재의외부형상과동일하고, 상기램프연결부재를덮어싸도록구성되는제1 공간; 및상기제1 공간하방에형성되고, 내부형상이상기봉지부와동일하고, 상기봉지부가덮어싸도록구성되는제2 공간;을포함하는기판처리장치를구성한다.

公开(公告)号：KR1020100105616A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：KR1020107013564

申请日：2008-12-19

申请人： 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비

发明人： 칼손안데르스 ,  안데르손구닐라 ,  브외르크하옌페테르 ,  구스타프손페르 ,  스빈켈스마르코

IPC分类号： B22F3/10 ,  C22C29/02 ,  C22C29/08 ,  F27B1/26

CPC分类号： F27B17/00 ,  B22F3/003 ,  B22F3/1028 ,  B22F2005/001 ,  B22F2203/11 ,  B22F2999/00 ,  F27B5/14 ,  F27D21/0014

摘要： 본 발명은 경질 상 및 바인더 상을 포함하는 기재를 구비하는 절삭 공구의 제조 방법에 관한 것으로, 상기 방법은 분말 야금법을 이용하여 그린 파우더 콤팩트를 형성하는 단계, 하나 또는 수개의 트레이에 놓인 그린 파우더 콤팩트를 노에 충전하는 단계, 및 그린 파우더 콤팩트를 소결하는 단계를 포함하고, 노는 절연 패키지 (9) 를 포함하고, 절연 패키지 (9) 내측에는 적어도 3 개의 개별적으로 제어되는 가열 요소가 위치되고, 적어도 3 개의 개별적으로 제어되는 가열 요소는 수직 가열 요소 (5), 노의 위쪽 부분에 배열된 위쪽 수평 가열 요소 (6), 및 노의 아래쪽 부분에 배열된 아래쪽 수평 가열 요소 (7) 를 포함하며, 상기 방법은 또한 소결 온도로부터 적어도 바인더 상의 응고 온도로의 제어된 평균 냉각률이 0.1 ℃/min ~ 4.0 ℃/min 이 되도록 적어도 3 개의 가열 요소를 작동시키며, 또한 본 발명은 제어된 냉각률을 얻도록 작동가능한 소결 노에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR1020100105379A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：KR1020100019205

申请日：2010-03-03

申请人： 고요 써모 시스템 가부시끼 가이샤

发明人： 나가시마,야스시

IPC分类号： F27B5/16 ,  F27B5/14 ,  F27D3/16 ,  F27B5/06

CPC分类号： F27B5/16 ,  F27B5/06 ,  F27B5/14 ,  F27D3/16

摘要： PURPOSE: A heating treatment apparatus is provided to uniformly heat a large-size flat work and to prevent temperature deviation when stacking works in multiple stages. CONSTITUTION: A heating treatment apparatus(10) comprises a furnace(12), a plurality of circulation fans(22), a plurality of heaters(20), a heat-proof filter(14), and a hot air rectifier(16). The furnace comprises a work support. The circulation fans are arranged on a first and a second side. The hot air rectifier makes the amount of hot air supplied from the first side to a work grater or less than that from the second side to the work.

摘要翻译： 目的：提供一种加热处理装置，以均匀加热大型平面加工件，并防止多层堆垛时的温度偏差。 构成：加热处理装置（10）包括炉（12），多个循环风机（22），多个加热器（20），耐热过滤器（14）和热空气整流器（16） 。 炉子包括工作支架。 循环风扇布置在第一侧和第二侧。 热空气整流器使得从第一侧供给到工作磨碎机的热空气量少于从第二侧向工作的供热量。

公开(公告)号：KR1020100003845A

公开(公告)日：2010-01-12

申请号：KR1020080063872

申请日：2008-07-02

申请人： 삼성디스플레이 주식회사

发明人： 정원웅 ,  신현철

IPC分类号： H01L21/67 ,  G02F1/13

CPC分类号： F27B17/0016 ,  F27B5/04 ,  F27B5/14 ,  F27D5/00

摘要： PURPOSE: A substrate firing substrate is provided to prevent a scratch of a substrate by increasing a contact area between a substrate and a second support unit in the contraction and expansion of the second support unit. CONSTITUTION: A heating unit(721) heats a substrate with a preset temperature by supplying the heat to a firing unit. A first support(730) made of quartz material includes a support pin(730b) and a support frame(730a). The support frame is horizontally installed on an inner surface to load the substrate. At least one support pin is protruded from one side to the center of the support frame. A second support unit(740) made of quartz material is arranged on the support pin of the first support unit and is installed to contact with the boundary of the lower side of the substrate. The support frame is installed to face both inner surfaces vertical to the direction for drawing out the substrate. The second support unit has a planar shape.

摘要翻译： 目的：提供一种基板烧制基板，用于通过在第二支撑单元的收缩和膨胀中增加基板和第二支撑单元之间的接触面积来防止基板的划伤。 构成：加热单元（721）通过将热量供给到点火单元来加热具有预设温度的基板。 由石英材料制成的第一支撑件（730）包括支撑销（730b）和支撑框架（730a）。 支撑框架水平安装在内表面上以加载基板。 至少一个支撑销从支撑框架的一侧突出到中心。 由石英材料制成的第二支撑单元（740）布置在第一支撑单元的支撑销上，并且安装成与基板的下侧的边界接触。 安装支撑框架以面向垂直于用于拉出基板的方向的两个内表面。 第二支撑单元具有平面形状。

公开(公告)号：KR1020090126171A

公开(公告)日：2009-12-08

申请号：KR1020080105841

申请日：2008-10-28

申请人： (주)엔티티 ,  고동근

发明人： 고동근

IPC分类号： B22D17/28

CPC分类号： B22D17/28 ,  B22D21/002 ,  B22D27/15 ,  F27B5/12 ,  F27B5/13 ,  F27B5/14 ,  F27B14/06 ,  F27B14/0806 ,  F27B14/14

摘要： PURPOSE: A vacuum melting apparatus and method for light metal are provided to produce an ultra-pure casting product of light metal material by discharging the gas produced in melting the light metal nearly completely from the molten metal. CONSTITUTION: A vacuum melting apparatus for light metal comprises a vacuum melting chamber(100) which includes a material inlet part(20) and a molten metal guide pipe(14), a molten metal insulation furnace(10) which moves up and down inside of the vacuum melting chamber and is equipped with a molten metal outlet pipe(16) on the bottom thereof and a first heater(17) on the exterior thereof, a valve rod(12) which opens and closes the molten metal outlet pipe, and a pipe melting furnace(21) which is connected to the material inlet part on one side and located above the molten metal insulation furnace on the other and is equipped with a second heater(27) on the exterior thereof.

摘要翻译： 目的：提供一种用于轻金属的真空熔化装置和方法，以通过将几乎完全熔融轻金属的熔融金属从熔融金属中排出而产生的轻金属材料的超纯铸造产品。 构成：用于轻金属的真空熔化装置包括：真空熔化室（100），其包括材料入口部分（20）和熔融金属导管（14）;熔融金属绝缘炉（10），其在内部上下移动 的真空熔融室，并且在其底部配备有熔融金属出口管（16）和在其外部的第一加热器（17），打开和关闭熔融金属出口管的阀杆（12），以及 管熔融炉（21），其一端连接于熔融金属绝缘炉上方的材料入口部分，并在其外部配备有第二加热器（27）。

公开(公告)号：KR1020070118924A

公开(公告)日：2007-12-18

申请号：KR1020060053233

申请日：2006-06-13

申请人： 삼성전기주식회사

发明人： 김영모 ,  김태신 ,  이종화 ,  이정운

IPC分类号： H01G13/00 ,  F27B9/02 ,  F27D3/06

CPC分类号： B22F3/003 ,  B22F2998/00 ,  C04B35/64 ,  F27B5/04 ,  F27B5/06 ,  F27B5/14 ,  F27B19/04 ,  F27D3/06 ,  F27D3/12 ,  Y10S414/137 ,  Y10S414/14 ,  B22F3/10 ,  B22F3/1021

摘要： A complex sintering furnace and a lifting apparatus are provided to form a ceramic product with uniform quality by smoothing an atmosphere gas stream within a main body of a furnace by rotating a setter independently of a rotation pedestal. A complex sintering furnace includes a supporting frame(11), a pair of main bodies(12a,12b) of a furnace, a pair of rails(20), and a rotation pedestal(30). The main bodies of the furnace are supported on an upper end of the supporting frame. The rails are arranged in parallel on the lower part inside the supporting frame along an arrangement route of the main bodies of the furnace. The rotation pedestal is coupled with the lower part of the main bodies of the furnace closely while being transferred horizontally along the rail and moved vertically in a right lower part of the main bodies of the furnace.

摘要翻译： 提供一种复杂的烧结炉和提升装置，以通过独立于旋转底座旋转固定器来平滑炉内主体内的气氛气流而形成均匀质量的陶瓷产品。 复合烧结炉包括支撑框架（11），炉子的一对主体（12a，12b），一对轨道（20）和旋转底座（30）。 炉的主体支撑在支撑框架的上端。 轨道沿着炉子的主体的布置路线平行布置在支撑框架内的下部。 旋转底座与炉体的主体的下部紧密连接，同时沿着轨道水平地移动，并在炉主体的右下部垂直移动。

公开(公告)号：KR1020050109959A

公开(公告)日：2005-11-22

申请号：KR1020057016368

申请日：2004-03-02

申请人： 메씨어-부가띠-다우티

发明人： 창,케니

IPC分类号： F16D69/02 ,  C04B35/83 ,  C23C16/458

CPC分类号： C04B35/522 ,  C04B35/83 ,  C04B41/5059 ,  C04B41/87 ,  C04B2235/9623 ,  C23C16/045 ,  C23C16/4581 ,  C23C16/4583 ,  F16D69/023 ,  F27B5/04 ,  F27B5/14 ,  F27B5/16 ,  F27D7/00 ,  Y10T428/218 ,  Y10T428/2962 ,  Y10T442/102 ,  Y10T442/109 ,  Y10T442/3382 ,  Y10T442/339

摘要： A one-piece or otherwise unitary annular shim member made from a perforated metallic material is used to maintain a space between stacked annular preforms during a manufacturing process, such as densification. The metallic material used preferably can withstand at least the temperatures encountered during densification. The one-piece structure advantageously simplifies the arrangement of the preforms in a process chamber and causes less deformation in the preforms. In one example, the shim member is made from a metallic mesh and may utilize a crimped weave structure.

摘要翻译： 使用由穿孔的金属材料制成的单件或其它整体的环形垫片构件在制造过程（例如致密化）期间保持堆叠的环形预制件之间的空间。 所使用的金属材料优选至少能承受致密化期间遇到的温度。 一体式结构有利地简化了处理室中预型件的布置，并且在预成型件中引起较小的变形。 在一个示例中，垫片构件由金属网制成并且可以利用卷曲的编织结构。