태양전지용 SnS 박막 형성 방법 및 이를 이용한 태양전지의 제조방법
    4.
    发明授权
    태양전지용 SnS 박막 형성 방법 및 이를 이용한 태양전지의 제조방법 有权
    形成太阳能电池用SnS薄膜的方法及使用其的太阳能电池的制造方法

    公开(公告)号:KR101723096B1

    公开(公告)日:2017-04-05

    申请号:KR1020150159160

    申请日:2015-11-12

    Abstract: 본발명은태양전지의광흡수층에적합한칼코겐화합물박막을형성하는방법에관한것으로, Sn 전구체물질과 S 전구체물질을포함하는전구체액을제조하는단계; 상기전구체액을도포하여전구체막을형성하는단계; 및상기전구체막을열처리하는단계;를포함하여구성되며, 상기 Sn 전구체물질과상기 S 전구체물질이액체상태의물질인것을특징으로한다. 본발명은, 액체상태의전구체물질을사용하여황화열처리공정없이칼코겐화합물박막을형성하는방법을제공함으로써, 고품질의 SnS 박막을비용이낮고대량생산에적합한공정으로형성할수 있는뛰어난효과를나타낸다. 또한, 대량생산에적합한공정으로광흡수층을형성함으로써, 칼코겐화합물박막태양전지를낮은비용으로제조할수 있는효과가있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种形成适用于太阳能电池的光吸收层的硫族化合物薄膜的方法,包括以下步骤:制备含有Sn前体材料和S前体材料的前体流体; 施加前体流体以形成前体膜; 并且热处理前体膜,其中Sn前体材料和S前体材料是液体材料。 本发明中,通过使用前体材料在液体状态,以形成硫属化物薄膜,而不硫化物热处理过程中提供的方法中,显示出优异的效果,即可以形成用于大量生产高品质的SnS薄膜低成本一个合适的工艺。 此外,通过在适于批量生产的工艺中形成光吸收层,可以低成本地制造硫属化合物化合物薄膜太阳能电池。

    특정 적층 가공품을 처리하기 위한 처리 장치
    10.
    发明授权
    특정 적층 가공품을 처리하기 위한 처리 장치 有权
    用于处理特定堆积加工品的处理装置

    公开(公告)号:KR101645950B1

    公开(公告)日:2016-08-12

    申请号:KR1020117001447

    申请日:2009-06-19

    Abstract: 본발명은박층, 특히도성, 반도성또는절연성박층을제조하기위한특히편평기판형상의특히적층된가공품을처리하는처리장치에관한것이며, 특히처리챔버의적어도하나의벽, 특히모든벽과섹션으로및/또는열 작동성으로접속되는적어도하나의템퍼링장치로서, 상기챔버는소정의온도로처리챔버(14)의벽(16)의적어도일부영역, 특히처리챔버벽의실질적으로전체에설비되고적합화되고, 특히적층된가공품의처리의적어도일부동안제1 온도로동일하게유지하도록하고, 상기온도는제2 온도인실온미만이아니고처리챔버에서발생할수 있는제3 온도미만이고실온보다높은, 적어도하나의템퍼링장치와, 처리챔버에서특히강제대류인가스유동사이클을생성하기위한적어도하나의가스반송장치와, 가스를가열하기위한것이고, 가스반송장치(46, 50)에의해생성되는가스유동사이클에배치되거나배치될수 있는적어도하나의가열장치(36)와, 적어도하나의가스안내장치를포함한다.

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