게이트 절연층과 산화물 반도체층 사이의 이온이동을 이용한 MOS 구조 소자 및 그 제조방법
    7.
    发明授权
    게이트 절연층과 산화물 반도체층 사이의 이온이동을 이용한 MOS 구조 소자 및 그 제조방법 有权
    MOS结构元件及其制造方法,该MOS结构元件利用在栅极绝缘层和氧化物半导体层之间的离子迁移

    公开(公告)号:KR101834507B1

    公开(公告)日:2018-04-13

    申请号:KR1020160134818

    申请日:2016-10-18

    摘要: 본발명은게이트절연층과반도체층사이의이온이동을이용하여특성을제어하는새로운형태의 MOS 구조소자에관한것으로, 산화물반도체층; 상기산화물반도체층위에형성된게이트절연층; 및상기게이트절연층위에형성된게이트전극을포함하여구성되며, 상기산화물반도체층이산소공공을도펀트로사용하는산화물반도체재질이고, 상기게이트절연층은산소공공을포함하는산화물재질로구성되어, 상기산화물반도체층과상기게이트절연층사이에서산소이온이이동함으로써상기산화물반도체층의도핑농도가변하는것을특징으로한다. 본발명은, 게이트절연층과산화물반도체층을적층하여게이트절연층과산화물반도체층사이에서산소이온이이동하도록함으로써, 산화물반도체층의도펀트농도가변하고그에따라서문턱전압과드레인전류가변하는새로운형태의 MOS 트랜지스터소자또는게이트절연층의유전율을변화시키고최종적으로전기용량이변화하는새로운형태의멤캐패시터소자로서기능을하는 MOS 구조소자를제공할수 있는효과가있다. 또한, 본발명의 MOS 구조소자의새로운트랜지스터특성또는멤캐패시턴스특성을메모리소자나논리소자또는신경소자에적용할수 있는효과가있다.

    摘要翻译: 本发明涉及一种新型的MOS结构元件,用于使用栅极绝缘层和半导体层之间的离子转移来控制特性。 形成在氧化物半导体层上的栅极绝缘层; 以及形成在所述栅极绝缘层上的栅极,其中所述氧化物半导体层为以氧空位为掺杂剂的氧化物半导体材料,所述栅极绝缘层由包括氧空位的氧化物材料构成, 氧离子在半导体层和栅绝缘层之间移动以改变氧化物半导体层的掺杂浓度。 本发明中,栅极通过堆叠半导体层的栅极通过使氧离子绝缘过氧化物层绝缘过氧化物层通过半导体层移动,氧化物改变半导体层的掺杂剂浓度和相应的新的类型的阈值电压和漏极电流的变化的MOS晶体管 具有这样的效果,即可以提供一种MOS结构元件,该MOS结构元件用作其中元件或栅极绝缘层的介电常数改变并且电容最终改变的新型MEM电容器元件。 此外,本发明的MOS结构元件的新型晶体管特性或膜电容特性可以应用于存储元件,逻辑元​​件或神经元件。

    안정한 전원을 공급할 수 있는 대용량 캐패시터를 포함하는 반도체 집적 회로 장치 및 그 제조방법
    9.
    发明授权
    안정한 전원을 공급할 수 있는 대용량 캐패시터를 포함하는 반도체 집적 회로 장치 및 그 제조방법 有权
    具有提供稳定电力的电容器的半导体集成电路及其制造方法

    公开(公告)号:KR101825127B1

    公开(公告)日:2018-02-06

    申请号:KR1020110074469

    申请日:2011-07-27

    发明人: 김종수

    摘要: 대용량캐패시터및 그제조방법에대해개시한다. 개시된대용량캐패시터는, 주변회로영역, 상기주변회로영역상에형성되며더미스토리지노드콘택부, 유전체및 더미플레이트전극을포함하는더미캐패시터그룹, 및상기주변회로영역에형성되며, 상기더미캐패시터그룹과병렬로연결되는모스캐패시터를포함하며, 상기더미스토리지노드콘택부와상기더미플레이트전극은서로상이한전압레벨을제공받도록구성되며, 상기더미캐패시터그룹의용량은상기모스캐패시터의용량보다크다.

    摘要翻译: 提供了一种电容器及其制造方法。 虚拟电容器组形成在外围电路区域中并且包括虚拟存储节点触点单元,电介质和虚拟板电极。 金属氧化物半导体(MOS)电容器形成在外围电路区域中并且并联连接到虚拟电容器组。 虚拟电容器组的电容可能大于MOS电容器的电容。