銀合金靶材及其製法與應用
    23.
    发明专利
    銀合金靶材及其製法與應用 审中-公开
    银合金靶材及其制法与应用

    公开(公告)号:TW201544613A

    公开(公告)日:2015-12-01

    申请号:TW103118045

    申请日:2014-05-23

    IPC分类号: C23C14/34 C22F1/14 H01L51/50

    摘要: 本發明提供一種銀合金靶材,係實質上由銀及銦或者銀、銦、鈀及銅所構成。其平均晶粒尺寸界於33μm到126μm之間。以該銀合金靶材之總重量為基準,銦的含量大於等於0.25wt%且小於等於5wt%、鈀的含量大於等於0.25wt%且小於等於3.5wt%、銅的含量大於等於0.25wt%且小於等於3wt%。透過預定比例之銦、或者銦、鈀與銅的添加,並控制平均晶粒尺寸界於33μm與126μm之間,該銀合金靶材可經由濺鍍製得兼具有良好耐熱性、抗硫化性、附著力、高反射率及高精細度的銀合金薄膜。據此,該銀合金靶材不僅符合實用性,亦能廣泛的應用於有機發光二極體的產業與領域。

    简体摘要: 本发明提供一种银合金靶材,系实质上由银及铟或者银、铟、钯及铜所构成。其平均晶粒尺寸界于33μm到126μm之间。以该银合金靶材之总重量为基准,铟的含量大于等于0.25wt%且小于等于5wt%、钯的含量大于等于0.25wt%且小于等于3.5wt%、铜的含量大于等于0.25wt%且小于等于3wt%。透过预定比例之铟、或者铟、钯与铜的添加,并控制平均晶粒尺寸界于33μm与126μm之间,该银合金靶材可经由溅镀制得兼具有良好耐热性、抗硫化性、附着力、高反射率及高精细度的银合金薄膜。据此,该银合金靶材不仅符合实用性,亦能广泛的应用于有机发光二极管的产业与领域。

    金靶材或白金靶材及其等之製造方法
    24.
    发明专利
    金靶材或白金靶材及其等之製造方法 审中-公开
    金靶材或白金靶材及其等之制造方法

    公开(公告)号:TW201538752A

    公开(公告)日:2015-10-16

    申请号:TW104102407

    申请日:2015-01-23

    摘要: 本發明之目的在於為了進一步提高濺鍍時之成膜特性穩定化而製作一種靶材,該靶材中金或白金之平均結晶粒徑較小,且靶材面之面內方向及靶材之厚度方向之結晶粒徑均勻。本發明之金或白金靶材之製造方法具有:鑄錠製作步驟,係將熔融之金或白金進行澆鑄而獲得鑄錠;一次鍛造步驟,係於第一溫度範圍對鑄錠進行鍛造;將一次鍛造鑄錠冷卻至低於第一溫度範圍且為第二溫度範圍之步驟;二次鍛造步驟,係對冷卻之一次鍛造鑄錠決定六方向並於上述第二溫度範圍自六方向進而進行鍛造;橫軋加工步驟,係將二次鍛造鑄錠調整為第三溫度範圍並進行橫軋加工而製成靶材形狀;及熱處理步驟,係於第四溫度範圍對靶材形狀之鑄錠進行熱處理。

    简体摘要: 本发明之目的在于为了进一步提高溅镀时之成膜特性稳定化而制作一种靶材,该靶材中金或白金之平均结晶粒径较小,且靶材面之面内方向及靶材之厚度方向之结晶粒径均匀。本发明之金或白金靶材之制造方法具有:铸锭制作步骤,系将熔融之金或白金进行浇铸而获得铸锭;一次锻造步骤,系于第一温度范围对铸锭进行锻造;将一次锻造铸锭冷却至低于第一温度范围且为第二温度范围之步骤;二次锻造步骤,系对冷却之一次锻造铸锭决定六方向并于上述第二温度范围自六方向进而进行锻造;横轧加工步骤,系将二次锻造铸锭调整为第三温度范围并进行横轧加工而制成靶材形状;及热处理步骤,系于第四温度范围对靶材形状之铸锭进行热处理。

    高耐熱性、高強度銠基合金及其製造方法
    27.
    发明专利
    高耐熱性、高強度銠基合金及其製造方法 审中-公开
    高耐热性、高强度铑基合金及其制造方法

    公开(公告)号:TW201319276A

    公开(公告)日:2013-05-16

    申请号:TW101113899

    申请日:2012-04-19

    IPC分类号: C22C5/04 C22F1/14

    CPC分类号: C22F1/14 C22C5/04

    摘要: 本發明係一種耐熱材料,由銠基合金構成,該銠基合金係於Rh添加有必要添加之元素Al及W之銠基合金構成的高耐熱性、高強度銠基合金,該銠合金係由Al 0.2~15.0質量%、W15.0~45.0質量%、剩餘部分Rh構成,且係將具有Ll2結構之r’相(Rh3(Al,W)分散於基質中作為必要的強化相。本發明之銠基合金,藉由任意添加B、C、Mg、Ca、Y、La或稀土金屬合金(misch metal)、Ni、Co、Cr、Fe、Mo、Ti、Nb、Ta、V、Zr、Hf、Ir、Re、Pd、Pt、Ru當作添加元素,可進一步改善加工性、高溫氧化特性。本發明之銠基合金,為高溫特性優異且同時重量等的因素的平衡性亦良好的耐熱材料。

    简体摘要: 本发明系一种耐热材料,由铑基合金构成,该铑基合金系于Rh添加有必要添加之元素Al及W之铑基合金构成的高耐热性、高强度铑基合金,该铑合金系由Al 0.2~15.0质量%、W15.0~45.0质量%、剩余部分Rh构成,且系将具有Ll2结构之r’相(Rh3(Al,W)分散于基质中作为必要的强化相。本发明之铑基合金,借由任意添加B、C、Mg、Ca、Y、La或稀土金属合金(misch metal)、Ni、Co、Cr、Fe、Mo、Ti、Nb、Ta、V、Zr、Hf、Ir、Re、Pd、Pt、Ru当作添加元素,可进一步改善加工性、高温氧化特性。本发明之铑基合金,为高温特性优异且同时重量等的因素的平衡性亦良好的耐热材料。