半導體裝置
    58.
    发明专利
    半導體裝置 审中-公开
    半导体设备

    公开(公告)号:TW201727917A

    公开(公告)日:2017-08-01

    申请号:TW106111736

    申请日:2013-09-12

    CPC classification number: H01L27/1225 H01L27/1255 H01L29/7869

    Abstract: 本發明的一個方式的目的之一是提供孔徑比高且包括能夠增大電荷容量的電容元件的半導體裝置。另外,本發明的一個方式的目的之一是提供能夠降低耗電量的半導體裝置。本發明的半導體裝置包括:包括具有透光性的半導體膜的電晶體;在一對電極之間設置有介電膜的電容元件;設置於具有透光性的半導體膜上的絕緣膜;以及設置於絕緣膜上的第一具有透光性的導電膜。電容元件包括:用作一個電極的第一具有透光性的導電膜;用作電介質的絕緣膜;以及隔著該絕緣膜與第一具有透光性的導電膜對置的用作另一個電極的第二具有透光性的導電膜。此外,第二具有透光性的導電膜是與電晶體的具有透光性的半導體膜形成在同一表面上的含有摻雜劑的金屬氧化物膜。

    Abstract in simplified Chinese: 本发明的一个方式的目的之一是提供孔径比高且包括能够增大电荷容量的电容组件的半导体设备。另外,本发明的一个方式的目的之一是提供能够降低耗电量的半导体设备。本发明的半导体设备包括:包括具有透光性的半导体膜的晶体管;在一对电极之间设置有介电膜的电容组件;设置于具有透光性的半导体膜上的绝缘膜;以及设置于绝缘膜上的第一具有透光性的导电膜。电容组件包括:用作一个电极的第一具有透光性的导电膜;用作电介质的绝缘膜;以及隔着该绝缘膜与第一具有透光性的导电膜对置的用作另一个电极的第二具有透光性的导电膜。此外,第二具有透光性的导电膜是与晶体管的具有透光性的半导体膜形成在同一表面上的含有掺杂剂的金属氧化物膜。

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