半導體裝置及其製造方法
    81.
    发明专利
    半導體裝置及其製造方法 审中-公开
    半导体设备及其制造方法

    公开(公告)号:TW201447991A

    公开(公告)日:2014-12-16

    申请号:TW103106539

    申请日:2014-02-26

    摘要: 本發明係一種具備將多晶矽膜用於發射電極之雙極電晶體之半導體裝置,該雙極電晶體包括:集電極區域,其形成於Si基板(1);基底層(30),其形成於集電極區域上;發射極區域(39),其形成於基底層(30)中之自集電極區域隔開之上側部位;及氧化矽膜(41),其形成於基底層(30)上,且覆蓋基底層(30)與發射極區域(39)之接合部。存在於上述之接合部中且與氧化矽膜(41)之界面之氟元素之濃度為1×1020 cm-3以上。

    简体摘要: 本发明系一种具备将多晶硅膜用于发射电极之双极晶体管之半导体设备,该双极晶体管包括:集电极区域,其形成于Si基板(1);基底层(30),其形成于集电极区域上;发射极区域(39),其形成于基底层(30)中之自集电极区域隔开之上侧部位;及氧化硅膜(41),其形成于基底层(30)上,且覆盖基底层(30)与发射极区域(39)之接合部。存在于上述之接合部中且与氧化硅膜(41)之界面之氟元素之浓度为1×1020 cm-3以上。