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公开(公告)号:TW201447991A
公开(公告)日:2014-12-16
申请号:TW103106539
申请日:2014-02-26
发明人: 阪本敏郎 , SAKAMOTO, TOSHIRO
IPC分类号: H01L21/28 , H01L21/331 , H01L29/417 , H01L29/737
CPC分类号: H01L29/7378 , H01L21/28 , H01L29/66242
摘要: 本發明係一種具備將多晶矽膜用於發射電極之雙極電晶體之半導體裝置,該雙極電晶體包括:集電極區域,其形成於Si基板(1);基底層(30),其形成於集電極區域上;發射極區域(39),其形成於基底層(30)中之自集電極區域隔開之上側部位;及氧化矽膜(41),其形成於基底層(30)上,且覆蓋基底層(30)與發射極區域(39)之接合部。存在於上述之接合部中且與氧化矽膜(41)之界面之氟元素之濃度為1×1020 cm-3以上。
简体摘要: 本发明系一种具备将多晶硅膜用于发射电极之双极晶体管之半导体设备,该双极晶体管包括:集电极区域,其形成于Si基板(1);基底层(30),其形成于集电极区域上;发射极区域(39),其形成于基底层(30)中之自集电极区域隔开之上侧部位;及氧化硅膜(41),其形成于基底层(30)上,且覆盖基底层(30)与发射极区域(39)之接合部。存在于上述之接合部中且与氧化硅膜(41)之界面之氟元素之浓度为1×1020 cm-3以上。
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公开(公告)号:TWI440179B
公开(公告)日:2014-06-01
申请号:TW099139473
申请日:2010-11-16
发明人: 周祥明 , CHOU, HSIANG MIN , 陳新翰 , CHEN, HSIN HAN
IPC分类号: H01L29/772 , H01L29/417
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公开(公告)号:TW201405671A
公开(公告)日:2014-02-01
申请号:TW102115985
申请日:2013-05-03
发明人: 廖克恭 , LIAO, KE KUNG , 張東勝 , CHANG, TUNG SHENG , 古俊彥 , KU, CHUN YEN , 陳詩喻 , CHEN, SHIH YU
IPC分类号: H01L21/338 , H01L29/417
CPC分类号: H01L29/872 , H01L29/402 , H01L29/404 , H01L29/66143 , H01L29/812
摘要: 一種用於天線切換電路的製程方法,其步驟包括提供一砷化鎵晶圓,其包括一覆蓋層;在砷化鎵晶圓設置一隔離層,以形成一元件區域;以及設置一閘極金屬於元件區域內的覆蓋層,閘極金屬與覆蓋層的一接觸面形成一蕭特基接面,且蕭特基接面與一阻抗並聯連接。本案亦揭露一種用於天線切換電路的半導體結構。
简体摘要: 一种用于天线切换电路的制程方法,其步骤包括提供一砷化镓晶圆,其包括一覆盖层;在砷化镓晶圆设置一隔离层,以形成一组件区域;以及设置一闸极金属于组件区域内的覆盖层,闸极金属与覆盖层的一接触面形成一萧特基接面,且萧特基接面与一阻抗并联连接。本案亦揭露一种用于天线切换电路的半导体结构。
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公开(公告)号:TWI420578B
公开(公告)日:2013-12-21
申请号:TW099100984
申请日:2010-01-14
发明人: 許修文 , HSU, HSIU WEN
IPC分类号: H01L21/28 , H01L29/417
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85.藉由自對準矽至矽鍺轉換處理來引發多閘奈米尺度電晶體的單軸應變之方法以及藉由該方法形成之結構 有权
简体标题: 借由自对准硅至硅锗转换处理来引发多闸奈米尺度晶体管的单轴应变之方法以及借由该方法形成之结构公开(公告)号:TWI411048B
公开(公告)日:2013-10-01
申请号:TW097136898
申请日:2008-09-25
申请人: 英特爾股份有限公司 , INTEL CORPORATION
发明人: 金 賓毅 , JIN, BEEN-YIH , 道爾 布萊恩 , DOYLE, BRIAN , 卡瓦李耶羅 傑克 , KAVALIEROS, JACK , 戴塔 蘇門 , DATTA, SUMAN
IPC分类号: H01L21/336 , H01L29/417 , H01L29/78
CPC分类号: H01L29/7851 , H01L29/66795 , H01L29/7848
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公开(公告)号:TWI701723B
公开(公告)日:2020-08-11
申请号:TW107106646
申请日:2018-02-27
发明人: 羅德爾 馬克 S. , RODDER, MARK S. , 洪俊顧 , HONG, JOON GOO
IPC分类号: H01L21/28 , H01L21/336 , H01L29/10 , H01L29/40 , H01L29/417 , H01L29/423 , H01L29/66 , H01L29/76 , H01L29/786 , H01L29/94
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公开(公告)号:TWI695514B
公开(公告)日:2020-06-01
申请号:TW105111401
申请日:2016-04-12
发明人: 鳥海聰志 , TORIUMI, SATOSHI , 濱田崇 , HAMADA, TAKASHI , 丸山哲紀 , MARUYAMA, TETSUNORI , 井本裕己 , IMOTO, YUKI , 淺野裕治 , ASANO, YUJI , 本田龍之介 , HONDA, RYUNOSUKE , 山崎舜平 , YAMAZAKI, SHUNPEI
IPC分类号: H01L29/786 , H01L29/417 , H01L29/49 , H01L29/24 , H01L29/51 , H01L27/12 , H01L27/105
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公开(公告)号:TWI695497B
公开(公告)日:2020-06-01
申请号:TW107128409
申请日:2018-08-15
发明人: 王 勤 , WANG, QIN , 潘 比爾 , PHAN, BILL , 胡 信中 , HU, SING-CHUNG , 陳 剛 , CHEN, GANG
IPC分类号: H01L27/146 , H01L29/417 , H01L27/148 , H01L21/02 , H01L21/306 , H01L21/311 , H01L21/3215
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公开(公告)号:TWI677097B
公开(公告)日:2019-11-11
申请号:TW106131487
申请日:2017-09-13
申请人: 創王光電股份有限公司 , INT TECH CO., LTD.
发明人: 鄭士嵩 , CHENG, SHIH-SONG
IPC分类号: H01L29/417 , H01L29/78
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公开(公告)号:TWI675475B
公开(公告)日:2019-10-21
申请号:TW107113393
申请日:2018-04-19
IPC分类号: H01L29/08 , H01L29/10 , H01L29/167 , H01L29/417 , H01L29/66 , H01L29/78 , H01L21/74 , H01L21/28
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