公开(公告)号：TWI562210B

公开(公告)日：2016-12-11

申请号：TW098128192

申请日：2009-08-21

Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： 葉明熙 ,  YEH, MATT ,  林舜武 ,  LIN, SHUN WU ,  陳啟群 ,  CHEN, CHI CHUN ,  陳嘉仁 ,  CHEN, RYAN CHIA JEN ,  陳薏新 ,  CHEN, YI HSING ,  陳建豪 ,  CHEN, CHIEN HAO ,  趙元舜 ,  CHAO, DONALD Y. ,  黃國彬 ,  HUANG, KUO BIN

IPC: H01L21/28 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L21/28105 ,  H01L21/28123 ,  H01L21/28158 ,  H01L21/31111 ,  H01L21/32139 ,  H01L29/401

公开(公告)号：TWI419264B

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：TW098138594

申请日：2009-11-13

Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： 李達元 ,  LEE, DA YUAN ,  陳建豪 ,  CHEN, JIAN HAO ,  陳啟群 ,  CHEN, CHI CHUN ,  葉明熙 ,  YEH, MATT ,  李幸叡 ,  LEE, HSING JUI

IPC: H01L21/8239 ,  H01L21/28

CPC classification number: H01L21/823814 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823842 ,  H01L21/823857 ,  H01L29/7848

公开(公告)号：TWI395296B

公开(公告)日：2013-05-01

申请号：TW098132449

申请日：2009-09-25

Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： 林秉順 ,  LIM, PENG-SOON ,  侯永田 ,  HOU, YONG-TIAN ,  陳建豪 ,  CHEN, CHIEN HAO ,  陳啟群 ,  CHEN, CHI CHUN

IPC: H01L21/8238 ,  H01L21/28 ,  H01L27/092

CPC classification number: H01L29/7848 ,  H01L21/823807 ,  H01L21/823814 ,  H01L21/823842 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66545 ,  H01L29/66583 ,  H01L29/66636

公开(公告)号：TWI392030B

公开(公告)日：2013-04-01

申请号：TW098131017

申请日：2009-09-15

Applicant: 台灣積體電路製造股份有限公司 ,  TAIWAN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING CO., LTD.

Inventor： 葉明熙 ,  YEH, MATT ,  蔡方文 ,  TSAI, FANG WEN ,  陳啟群 ,  CHEN, CHI CHUN

IPC: H01L21/336 ,  H01L21/28 ,  H01L21/306

CPC classification number: H01L21/823842 ,  H01L21/32139 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66545