公开(公告)号：TWI497672B

公开(公告)日：2015-08-21

申请号：TW098130799

申请日：2009-09-11

申请人： 美光科技公司 ,  MICRON TECHNOLOGY, INC.

发明人： 基斯 布蘭特 ,  KEETH, BRENT ,  海雅特 馬克 ,  HIATT, MARK ,  李 泰瑞R ,  LEE, TERRY R. ,  杜朵 馬克 ,  TUTTLE, MARK ,  艾德芬妮 瑞赫 ,  ADVANI, RAHUL ,  史雷克 約翰F ,  SCHRECK, JOHN F.

IPC分类号： H01L23/52 ,  H01L21/00

CPC分类号： H01L25/0657 ,  H01L23/50 ,  H01L23/5385 ,  H01L23/66 ,  H01L25/0655 ,  H01L2223/6677 ,  H01L2224/0401 ,  H01L2224/06181 ,  H01L2224/14181 ,  H01L2224/16145 ,  H01L2224/16146 ,  H01L2224/16225 ,  H01L2224/16227 ,  H01L2224/16235 ,  H01L2224/17181 ,  H01L2225/06513 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/0652 ,  H01L2225/06541 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/15311 ,  Y10T29/49165