薄膜電晶體及其製造方法
    3.
    发明专利
    薄膜電晶體及其製造方法 审中-公开
    薄膜晶体管及其制造方法

    公开(公告)号:TW201642477A

    公开(公告)日:2016-12-01

    申请号:TW104116716

    申请日:2015-05-25

    Abstract: 一種薄膜電晶體包括:閘極、閘極絕緣層、導電溝道層、半導體溝道層、源極及汲極;該閘極絕緣層覆蓋於該閘極上;該導電溝道層位於該閘極絕緣層上且與該閘極對應設置;該源極及該汲極分別蓋設於該導電溝道層兩相對側;該半導體溝道層設於該源極與該導電溝道層之間及該汲極與該導電溝道層之間,以使該源極與該導電溝道層及該汲極與該導電溝道層彼此隔開;至少部分該導電溝道層顯露於該源極與該汲極之間。

    Abstract in simplified Chinese: 一种薄膜晶体管包括:闸极、闸极绝缘层、导电沟道层、半导体沟道层、源极及汲极;该闸极绝缘层覆盖于该闸极上;该导电沟道层位于该闸极绝缘层上且与该闸极对应设置;该源极及该汲极分别盖设于该导电沟道层两相对侧;该半导体沟道层设于该源极与该导电沟道层之间及该汲极与该导电沟道层之间,以使该源极与该导电沟道层及该汲极与该导电沟道层彼此隔开;至少部分该导电沟道层显露于该源极与该汲极之间。

    薄膜電晶體的製造方法
    10.
    发明专利
    薄膜電晶體的製造方法 审中-公开
    薄膜晶体管的制造方法

    公开(公告)号:TW201642478A

    公开(公告)日:2016-12-01

    申请号:TW104117092

    申请日:2015-05-28

    Abstract: 一種薄膜電晶體的製造方法,包括:於基板上形成閘極及閘極絕緣層;於閘極絕緣層上覆蓋導電層;於導電層上形成第一光阻層,並以一光罩及閘極分別作為正背面曝光掩膜對第一光阻層進行正背面同時曝光以形成第一圖案化光阻層;去除未被第一圖案化光阻層覆蓋的導電層以形成導電溝道層;於導電溝道層上依次形成半導體層及第二光阻層,並以上述光罩及閘極分別作為正背面曝光掩膜對第二光阻層進行正背面同時曝光以形成第二圖案化光阻層;去除未被第二圖案化光阻層覆蓋的半導體層以形成半導體溝道層;形成源極及汲極。

    Abstract in simplified Chinese: 一种薄膜晶体管的制造方法,包括:于基板上形成闸极及闸极绝缘层;于闸极绝缘层上覆盖导电层;于导电层上形成第一光阻层,并以一光罩及闸极分别作为正背面曝光掩膜对第一光阻层进行正背面同时曝光以形成第一图案化光阻层;去除未被第一图案化光阻层覆盖的导电层以形成导电沟道层;于导电沟道层上依次形成半导体层及第二光阻层,并以上述光罩及闸极分别作为正背面曝光掩膜对第二光阻层进行正背面同时曝光以形成第二图案化光阻层;去除未被第二图案化光阻层覆盖的半导体层以形成半导体沟道层;形成源极及汲极。

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