記憶體元件的形成方法
    5.
    发明专利
    記憶體元件的形成方法 审中-公开
    内存组件的形成方法

    公开(公告)号:TW201539815A

    公开(公告)日:2015-10-16

    申请号:TW103112803

    申请日:2014-04-08

    IPC分类号: H01L45/00

    摘要: 本揭露書提供一種記憶體元件的形成方法,包括:於一第一電極上形成一電阻轉換層;於該電阻轉換層上形成一第二電極;對該電阻轉換層提供一形成電壓使該電阻轉換層之電阻變小;在提供該形成電壓之後,對該電阻轉換層提供一初始重置電壓使該電阻轉換層之電阻變大;在提供該初始重置電壓之後,對該電阻轉換層提供一第一設定電壓,使該電阻轉換層之電阻變小;在提供該第一設定電壓之後,對該電阻轉換層提供一第二重置電壓,使該電阻轉換層之電阻變大;以及在提供該第二重置電壓之後,對該電阻轉換層提供一第二設定電壓,使該電阻轉換層之電阻變小,其中該第二設定電壓小於該第一設定電壓。

    简体摘要: 本揭露书提供一种内存组件的形成方法,包括:于一第一电极上形成一电阻转换层;于该电阻转换层上形成一第二电极;对该电阻转换层提供一形成电压使该电阻转换层之电阻变小;在提供该形成电压之后,对该电阻转换层提供一初始重置电压使该电阻转换层之电阻变大;在提供该初始重置电压之后,对该电阻转换层提供一第一设置电压,使该电阻转换层之电阻变小;在提供该第一设置电压之后,对该电阻转换层提供一第二重置电压,使该电阻转换层之电阻变大;以及在提供该第二重置电压之后,对该电阻转换层提供一第二设置电压,使该电阻转换层之电阻变小,其中该第二设置电压小于该第一设置电压。