公开(公告)号：TWI518749B

公开(公告)日：2016-01-21

申请号：TW102130581

申请日：2013-08-27

申请人： 璨圓光電股份有限公司 ,  FORMOSA EPITAXY INCORPORATION

发明人： 敦俊儒 ,  TUN, CHUN JU ,  林詣超 ,  LIN, YI CHAO ,  江振福 ,  CHIANG, CHEN FU ,  郭政煌 ,  KUO, CHENG HUANG

IPC分类号： H01L21/22 ,  H01L33/02

CPC分类号： H01L29/2003 ,  H01L21/0242 ,  H01L21/02439 ,  H01L21/02458 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02639 ,  H01L21/2258 ,  H01L21/26546 ,  H01L21/266 ,  H01L29/201 ,  H01L29/205 ,  H01L29/207 ,  H01L29/36 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/1852 ,  H01L31/1856 ,  H01L33/24 ,  Y02E10/544 ,  Y02P70/521

公开(公告)号：TW201603264A

公开(公告)日：2016-01-16

申请号：TW104116463

申请日：2015-05-22

申请人： 西拉娜集團私人有限公司 ,  THE SILANNA GROUP PTY LTD

发明人： 亞坦艾柯維克 比塔 ,  ATANACKOVIC, PETAR

IPC分类号： H01L29/15 ,  H01L31/036 ,  H01L33/04

CPC分类号： H01L33/0075 ,  H01L29/1606 ,  H01L29/167 ,  H01L31/0288 ,  H01L31/03042 ,  H01L31/03044 ,  H01L31/03048 ,  H01L31/035263 ,  H01L31/105 ,  H01L31/1848 ,  H01L31/1856 ,  H01L33/0012 ,  H01L33/0079 ,  H01L33/06 ,  H01L33/12 ,  H01L33/325 ,  H01L33/343 ,  Y02E10/50

摘要： 本發明揭示一種超晶格及形成該超晶格之方法。具體而言，本發明揭示形成超晶格的設計分層單晶結構。該超晶格提供p型或n型傳導性，且包括交替宿主層及雜質層，其中：該等宿主層基本上由半導體材料組成；且該等雜質層基本上由對應施體或受體材料組成。

简体摘要： 本发明揭示一种超晶格及形成该超晶格之方法。具体而言，本发明揭示形成超晶格的设计分层单晶结构。该超晶格提供p型或n型传导性，且包括交替宿主层及杂质层，其中：该等宿主层基本上由半导体材料组成；且该等杂质层基本上由对应施体或受体材料组成。

公开(公告)号：TW201714321A

公开(公告)日：2017-04-16

申请号：TW104133000

申请日：2015-10-07

申请人： 財團法人工業技術研究院 ,  INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE

发明人： 郭威宏 ,  KUO, WEI-HUNG ,  林素芳 ,  LIN, SUH-FANG ,  林坤鋒 ,  LIN, KUN-FONG ,  蔡佳龍 ,  TSAI, CHIA-LUNG

IPC分类号： H01L33/00 ,  H01L33/36

CPC分类号： H01L29/2003 ,  H01L29/34 ,  H01L29/41766 ,  H01L29/452 ,  H01L29/778 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/02363 ,  H01L31/1035 ,  H01L31/1856 ,  H01L33/16 ,  H01L33/30 ,  H01L33/382 ,  Y02E10/544

摘要： 一種三五族氮化物半導體元件，包括一AlGaN磊晶層與一金屬電極。所述AlGaN磊晶層為C面的n型或未摻雜層，且AlGaN磊晶層具有由半極性面（Semi-polar plane）構成的磊晶面。所述金屬電極則是直接形成在這個半極性面上。

简体摘要： 一种三五族氮化物半导体组件，包括一AlGaN磊晶层与一金属电极。所述AlGaN磊晶层为C面的n型或未掺杂层，且AlGaN磊晶层具有由半极性面（Semi-polar plane）构成的磊晶面。所述金属电极则是直接形成在这个半极性面上。

公开(公告)号：TWI568014B

公开(公告)日：2017-01-21

申请号：TW104133000

申请日：2015-10-07

申请人： 財團法人工業技術研究院 ,  INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE

发明人： 郭威宏 ,  KUO, WEI-HUNG ,  林素芳 ,  LIN, SUH-FANG ,  林坤鋒 ,  LIN, KUN-FONG ,  蔡佳龍 ,  TSAI, CHIA-LUNG

IPC分类号： H01L33/00 ,  H01L33/36

CPC分类号： H01L29/2003 ,  H01L29/34 ,  H01L29/41766 ,  H01L29/452 ,  H01L29/778 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/02363 ,  H01L31/1035 ,  H01L31/1856 ,  H01L33/16 ,  H01L33/30 ,  H01L33/382 ,  Y02E10/544

公开(公告)号：TWI532209B

公开(公告)日：2016-05-01

申请号：TW100141652

申请日：2011-11-15

申请人： S O I TEC公司 ,  S. O. I. TEC

发明人： 班魯斯 約翰馬克 ,  BETHOUX, JEAN-MARC ,  干娜得 派西可 ,  GUENARD, PASCAL

IPC分类号： H01L33/02

CPC分类号： H01L33/32 ,  H01L21/76254 ,  H01L31/1852 ,  H01L31/1856 ,  H01L31/1892 ,  H01L33/0075 ,  H01L33/0079 ,  H01L33/40 ,  H01L2924/0002 ,  H01S5/0425 ,  H01S5/32341 ,  H01S2301/173 ,  Y02E10/544 ,  Y02P70/521 ,  H01L2924/00

公开(公告)号：TW200915394A

公开(公告)日：2009-04-01

申请号：TW097122460

申请日：2008-06-16

申请人： 美國加利福尼亞大學董事會 THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA

发明人： 平井朝子 HIRAI, ASAKO ,  賈中元 JIA, ZHONGYUAN ,  齊藤真 SAITO, MAKOTO ,  山田永 YAMADA, HISASHI ,  磯憲司 ISO, KENJI ,  史蒂芬P 丹巴爾斯 DENBAARS, STEVEN P. ,  中村秀治 NAKAMURA, SHUJI ,  詹姆士S 史貝克 SPECK, JAMES S.

IPC分类号： H01L

CPC分类号： C30B29/406 ,  C30B23/025 ,  C30B23/066 ,  C30B25/18 ,  C30B25/186 ,  C30B25/20 ,  C30B29/403 ,  C30B29/60 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02389 ,  H01L21/0243 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02529 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02609 ,  H01L21/02617 ,  H01L21/02636 ,  H01L29/04 ,  H01L29/1608 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/26 ,  H01L31/03044 ,  H01L31/036 ,  H01L31/1856 ,  H01L33/0075 ,  H01L33/16 ,  H01L33/32 ,  H01S5/34333 ,  Y10T428/24612

摘要： 本發明提供一種生長在一基板的一斜切角上之非極性三族氮化物膜,以用於抑制表面波動。該膜的表面形態經改良為具有一個朝向���軸方向的斜切角,其包括朝向���軸方向之0.15�或更大的斜切角及朝向���軸方向小於30�的斜切角。

简体摘要： 本发明提供一种生长在一基板的一斜切角上之非极性三族氮化物膜,以用于抑制表面波动。该膜的表面形态经改良为具有一个朝向���轴方向的斜切角,其包括朝向���轴方向之0.15�或更大的斜切角及朝向���轴方向小于30�的斜切角。

公开(公告)号：TWI542026B

公开(公告)日：2016-07-11

申请号：TW101142712

申请日：2012-11-15

申请人： 太陽光電公司 ,  SOLAR JUNCTION CORPORATION

发明人： 鐘斯 阿爾伯特 麗蓓嘉 ,  JONES-ALBERTUS, REBECCA ,  米斯拉 伯拉諾布 ,  MISRA, PRANOB ,  謝爾登 邁克爾 J ,  SHELDON, MICHAEL J. ,  袁 霍曼 B ,  YUEN, HOMAN B. ,  劉婷 ,  LIU, TING ,  德卡克斯 丹尼爾 ,  DERKACS, DANIEL ,  薩伯尼斯 薇吉特 ,  SABNIS, VIJIT ,  威梅爾 邁克爾 W ,  WIEMER, MICHAEL W. ,  蘇亞雷斯 費蘭 ,  SUAREZ, FERRAN

IPC分类号： H01L31/042 ,  H01L31/0224

CPC分类号： H01L31/0687 ,  H01L31/028 ,  H01L31/03048 ,  H01L31/06 ,  H01L31/0693 ,  H01L31/078 ,  H01L31/1844 ,  H01L31/1852 ,  H01L31/1856 ,  H01L31/1876 ,  Y02E10/544 ,  Y02P70/521

公开(公告)号：TW201515068A

公开(公告)日：2015-04-16

申请号：TW103138109

申请日：2008-06-16

申请人： 美國加利福尼亞大學董事會 ,  THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA

发明人： 平井朝子 ,  HIRAI, ASAKO ,  賈中元 ,  JIA, ZHONGYUAN ,  齊藤真 ,  SAITO, MAKOTO ,  山田永 ,  YAMADA, HISASHI ,  磯憲司 ,  ISO, KENJI ,  丹巴爾斯 史蒂芬P ,  DENBAARS, STEVEN P. ,  中村 秀治 ,  NAKAMURA, SHUJI ,  史貝克 詹姆士S ,  SPECK, JAMES S.

IPC分类号： H01L21/205 ,  H01L29/15

CPC分类号： C30B29/406 ,  C30B23/025 ,  C30B23/066 ,  C30B25/18 ,  C30B25/186 ,  C30B25/20 ,  C30B29/403 ,  C30B29/60 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02389 ,  H01L21/0243 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02529 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02609 ,  H01L21/02617 ,  H01L21/02636 ,  H01L29/04 ,  H01L29/1608 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/26 ,  H01L31/03044 ,  H01L31/036 ,  H01L31/1856 ,  H01L33/0075 ,  H01L33/16 ,  H01L33/32 ,  H01S5/34333 ,  Y10T428/24612

摘要： 本發明提供一種生長在一基板的一斜切角上之非極性三族氮化物膜，以用於抑制表面波動。該膜的表面形態經改良為具有一個朝向a軸方向的斜切角，其包括朝向a軸方向之0.15°或更大的斜切角及朝向a軸方向小於30°的斜切角。

简体摘要： 本发明提供一种生长在一基板的一斜切角上之非极性三族氮化物膜，以用于抑制表面波动。该膜的表面形态经改良为具有一个朝向a轴方向的斜切角，其包括朝向a轴方向之0.15°或更大的斜切角及朝向a轴方向小于30°的斜切角。

公开(公告)号：TWI473289B

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：TW100134086

申请日：2011-09-22

申请人： 綠種子能源科技股份有限公司 ,  PINECONE ENERGIES, INC.

发明人： 劉恆 ,  LIU, HENG ,  郭佩芸 ,  KUO, PEI YUN

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L31/042

CPC分类号： H01L31/0735 ,  H01L31/1848 ,  H01L31/1852 ,  H01L31/1856 ,  Y02E10/544 ,  Y02P70/521

公开(公告)号：TWI469186B

公开(公告)日：2015-01-11

申请号：TW097122460

申请日：2008-06-16

申请人： 美國加利福尼亞大學董事會 ,  THE REGENTS OF THE UNIVERSITY OF CALIFORNIA

发明人： 平井朝子 ,  HIRAI, ASAKO ,  賈中元 ,  JIA, ZHONGYUAN ,  齊藤真 ,  SAITO, MAKOTO ,  山田永 ,  YAMADA, HISASHI ,  磯憲司 ,  ISO, KENJI ,  史蒂芬P 丹巴爾斯 ,  DENBAARS, STEVEN P. ,  中村秀治 ,  NAKAMURA, SHUJI ,  詹姆士S 史貝克 ,  SPECK, JAMES S.

IPC分类号： H01L21/205 ,  H01L29/15

CPC分类号： C30B29/406 ,  C30B23/025 ,  C30B23/066 ,  C30B25/18 ,  C30B25/186 ,  C30B25/20 ,  C30B29/403 ,  C30B29/60 ,  H01L21/0237 ,  H01L21/02389 ,  H01L21/0243 ,  H01L21/02433 ,  H01L21/02529 ,  H01L21/0254 ,  H01L21/02565 ,  H01L21/02609 ,  H01L21/02617 ,  H01L21/02636 ,  H01L29/04 ,  H01L29/1608 ,  H01L29/2003 ,  H01L29/26 ,  H01L31/03044 ,  H01L31/036 ,  H01L31/1856 ,  H01L33/0075 ,  H01L33/16 ,  H01L33/32 ,  H01S5/34333 ,  Y10T428/24612