公开(公告)号：US06536449B1

公开(公告)日：2003-03-25

申请号：US09192835

申请日：1998-11-16

申请人： Craig Ranft ,  Wolfgang Helle ,  Robert Guerra ,  Brady F. Cole

发明人： Craig Ranft ,  Wolfgang Helle ,  Robert Guerra ,  Brady F. Cole

IPC分类号： C25F500

CPC分类号： H01L21/02071 ,  G03F7/427 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32357 ,  H01J2237/335 ,  H01L21/02046 ,  H01L21/02063 ,  H01L21/31116 ,  H01L21/31138 ,  Y10S134/902 ,  Y10S438/906

摘要： Systems and methods are provided for selectively removing unwanted material from a surface of a semiconductor wafer without causing damage to or etching of underlying portions of the semiconductor. One embodiment of the invention includes the use of reactive species from a plasma source to facilitate the removal of residues remaining after metal etching on a silicon wafer, where the gases employed in creating the plasma include hydrogen, halogens such as fluorine, and little or no oxygen.

摘要翻译： 提供了系统和方法，用于从半导体晶片的表面选择性地去除不想要的材料，而不会损坏或蚀刻半导体的下面部分。 本发明的一个实施方案包括使用来自等离子体源的活性物质来促进在硅晶片上金属蚀刻后剩余的残余物的去除，其中用于产生等离子体的气体包括氢，卤素如氟，以及很少或不存在 氧。

公开(公告)号：US5280013A

公开(公告)日：1994-01-18

申请号：US968280

申请日：1992-10-29

申请人： Nathan Newman ,  Aharon Kapitulnik ,  Brady F. Cole ,  Randy W. Simon

发明人： Nathan Newman ,  Aharon Kapitulnik ,  Brady F. Cole ,  Randy W. Simon

IPC分类号： H01L39/24

CPC分类号： H01L39/2422 ,  Y10S505/701 ,  Y10S505/702 ,  Y10S505/728 ,  Y10S505/731 ,  Y10S505/732 ,  Y10S505/866

摘要： A superconducting electronic circuit device, useful when impedance matching is desired, especially suited to microwave frequencies, consisting of a thin dielectric layer with superconducting layers on both sides. A superconductor such as Yttrium Barium Copper Oxide (YBCO) is formed on a first substrate such as lanthanum aluminate. A protective layer like gold is deposited on the YBCO and a second carrier substrate is bonded to the protected YBCO. The first substrate is then thinned into a thin dielectric film and a second layer of superconductor is epitaxially grown thereon to create the desired circuits.

摘要翻译： 一种超导电子电路装置，当需要阻抗匹配时尤其适用于微波频率，当两面具有超导层的薄电介质层时，这是有用的。 在诸如铝酸镧的第一衬底上形成诸如钇钡氧化铜（YBCO）的超导体。 在YBCO上沉积如金的保护层，第二载体衬底与受保护的YBCO结合。 然后将第一衬底减薄成薄的电介质膜，并在其上外延生长第二层超导体以产生所需的电路。