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    Formation of metal-containing nano-particles for use as catalysts for carbon nanotube synthesis
    1.
    发明授权
    Formation of metal-containing nano-particles for use as catalysts for carbon nanotube synthesis 有权
    用于碳纳米管合成催化剂的含金属纳米颗粒的形成

    公开(公告)号：US08470709B2

    公开(公告)日：2013-06-25

    申请号：US11993828

    申请日：2006-06-16

    申请人： Santiago Cruz Esconjauregui ,  Caroline Whelan ,  Karen Maex

    发明人： Santiago Cruz Esconjauregui ,  Caroline Whelan ,  Karen Maex

    IPC分类号： H01L21/44

    CPC分类号： H01L21/28518 ,  B01J23/74 ,  B01J23/745 ,  B01J23/75 ,  B01J23/755 ,  B01J35/0013 ,  B01J35/006 ,  B01J37/0217 ,  B01J37/0238 ,  B01J37/0244 ,  B01J37/08 ,  B01J37/347 ,  B82Y10/00 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C01B33/06 ,  H01J9/025 ,  H01J2201/30469 ,  H01L21/76876 ,  H01L21/76879 ,  H01L51/0048 ,  H01L2221/1094

    摘要： The present invention relates to a method for forming metal-silicide catalyst nanoparticles with controllable diameter. The method according to embodiments of the invention leads to the formation of ‘active’ metal-suicide catalyst nanoparticles, with which is meant that they are suitable to be used as a catalyst in carbon nanotube growth. The nano-particles are formed on the surface of a substrate or in case the substrate is a porous substrate within the surface of the inner pores of a substrate. The metal-silicide nanoparticles can be Co-silicide, Ni-silicide or Fe-silicide particles. The present invention relates also to a method to form carbon nanotubes (CNT) on metal-silicide nanoparticles, the metal-silicide containing particles hereby acting as catalyst during the growth process, e.g. during the chemical vapor deposition (CVD) process. Starting from very defined metal-containing nanoparticles as catalysts, the diameter of grown CNT can be well controlled and a homogeneous set of CNT will be obtained.

    摘要翻译： 本发明涉及形成可控直径的金属硅化物催化剂纳米颗粒的方法。 根据本发明的实施方案的方法导致形成“活性”金属硅化物催化剂纳米颗粒，这意味着它们适合用作碳纳米管生长中的催化剂。 纳米颗粒形成在基材的表面上，或者在基材是在基材的内孔的表面内的多孔基材的情况下形成。 金属硅化物纳米颗粒可以是硅化硅，Ni-硅化物或Fe-硅化物颗粒。 本发明还涉及在金属硅化物纳米颗粒上形成碳纳米管（CNT）的方法，所述含金属硅化物的颗粒在生长过程中作为催化剂，例如， 在化学气相沉积（CVD）过程中。 从非常确定的含金属纳米粒子作为催化剂开始，可以很好地控制生长的CNT的直径，并获得均匀的CNT组。

    GROWTH OF CARBON NANOTUBES USING METAL-FREE NANOPARTICLES
    3.
    发明申请
    GROWTH OF CARBON NANOTUBES USING METAL-FREE NANOPARTICLES 审中-公开
    使用无金属纳米颗粒的碳纳米管的生长

    公开(公告)号：US20100047152A1

    公开(公告)日：2010-02-25

    申请号：US12441132

    申请日：2007-09-21

    申请人： Caroline Whelan ,  Santiago Cruz Esconjauregui

    发明人： Caroline Whelan ,  Santiago Cruz Esconjauregui

    IPC分类号： D01F9/12

    CPC分类号： B82Y40/00 ,  B01J21/08 ,  B01J23/14 ,  B01J27/224 ,  B82Y30/00 ,  C01B32/162

    摘要： The present invention provides a method for forming at least one carbon nanotube (16) by using metal-free catalyst nanoparticles (14), for example Si or Ge comprising nanoparticles. The method uses the step of decomposing a carbon source gas to form carbon fragments which then recombine at the metal-free catalyst nanoparticles (14) to grow carbon nanotubes (16). The method according to embodiments of the invention leads to carbon nanotubes (16) which do not comprise metal impurities.

    摘要翻译： 本发明提供了一种通过使用不含金属的催化剂纳米颗粒（14）形成至少一种碳纳米管（16）的方法，例如包含纳米颗粒的Si或Ge。 该方法使用分解碳源气体以形成碳碎片的步骤，然后在无金属的催化剂纳米颗粒（14）上再结合生长碳纳米管（16）。 根据本发明的实施方案的方法导致不包含金属杂质的碳纳米管（16）。