-
1.发明授权Optical device with raster elements, and illumination system with the optical device 有权具有光栅元件的光学装置，以及具有光学装置的照明系统公开(公告)号：US07605386B2
公开(公告)日：2009-10-20
申请号：US11598180
申请日：2006-11-10
CPC分类号： G02B27/0961 , G02B17/0657 , G02B27/0983 , G03F7/70075
摘要： The invention relates to an optical device that includes (a) a first optical element with at least one first raster element, where the first raster element has a first axis, (b) a second optical element with at least one second raster element, where the second raster element has a second axis. The first raster element can be changed in its position relative to the second raster element, so that a distance between the first axis and the second axis is variable.
摘要翻译： 本发明涉及一种光学装置，其包括（a）具有至少一个第一光栅元件的第一光学元件，其中第一光栅元件具有第一轴，（b）具有至少一个第二光栅元件的第二光学元件，其中 第二光栅元件具有第二轴。 可以将第一光栅元件相对于第二光栅元件的位置改变，使得第一轴与第二轴之间的距离是可变的。
-
2.发明申请Optical device with raster elements, and illumination system with the optical device 有权具有光栅元件的光学装置，以及具有光学装置的照明系统公开(公告)号：US20070146853A1
公开(公告)日：2007-06-28
申请号：US11598180
申请日：2006-11-10
IPC分类号： G02B26/08
CPC分类号： G02B27/0961 , G02B17/0657 , G02B27/0983 , G03F7/70075
摘要： The invention relates to an optical device that includes (a) a first optical element with at least one first raster element, where the first raster element has a first axis, (b) a second optical element with at least one second raster element, where the second raster element has a second axis. The first raster element can be changed in its position relative to the second raster element, so that a distance between the first axis and the second axis is variable.
摘要翻译： 本发明涉及一种光学装置，其包括（a）具有至少一个第一光栅元件的第一光学元件，其中第一光栅元件具有第一轴，（b）具有至少一个第二光栅元件的第二光学元件，其中 第二光栅元件具有第二轴。 可以将第一光栅元件相对于第二光栅元件的位置改变，使得第一轴与第二轴之间的距离是可变的。
-
3.发明申请IMAGING OPTICS AND PROJECTION EXPOSURE INSTALLATION FOR MICROLITHOGRAPHY WITH AN IMAGING OPTICS OF THIS TYPE 审中-公开使用这种类型的成像光学的成像光学和投影曝光安装公开(公告)号：US20120069314A1
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：US13235866
申请日：2011-09-19
申请人： Johannes Zellner , Aurelian Dodoc , Marco Pretorius , Christoph Menke , Wilhelm Ulrich , Hans-Juergen Mann
发明人： Johannes Zellner , Aurelian Dodoc , Marco Pretorius , Christoph Menke , Wilhelm Ulrich , Hans-Juergen Mann
CPC分类号： G02B17/0657 , G03F7/70233
摘要： An imaging optics has a plurality of mirrors which image an object field in an object plane in an image field in an image plane. A pupil plane is arranged in the imaging beam path between the object field and the image field. A stop is arranged in the pupil plane. The pupil plane is tilted at an angle (α) with respect to the object plane, where α is greater than 0.1°. The imaging optics results allows for a manageable combination of small imaging errors, manageable production and good throughput.
摘要翻译： 成像光学器件具有多个反射镜，其对图像平面中的图像场中的物体平面中的物体场进行成像。 在对象场和图像场之间的成像光束路径中布置瞳面。 在瞳孔平面上设置一个停止点。 瞳平面相对于物平面角度（α）倾斜，其中α大于0.1°。 成像光学结果允许小的成像错误，可管理的生产和良好的吞吐量的可管理的组合。
-
公开(公告)号：US20120147347A1
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：US13326516
申请日：2011-12-15
申请人： Hans-Juergen Mann , Johannes Zellner , Aurelian Dodoc , Marco Pretorius , Christoph Menke , Wilhelm Ulrich , Martin Endres
发明人： Hans-Juergen Mann , Johannes Zellner , Aurelian Dodoc , Marco Pretorius , Christoph Menke , Wilhelm Ulrich , Martin Endres
CPC分类号： G02B17/0663 , G02B27/0905 , G03F7/70233
摘要： An imaging optical system has a plurality of mirrors, which image an object field in an object plane into an image field in an image plane. A reflection face of at least one of the mirrors is configured as a free form face which cannot be described by a rotationally symmetrical function. The object field has an aspect ratio greater than 1. A ratio of a minimal and a maximal transverse dimension of the object field can be less than 0.9.
摘要翻译： 成像光学系统具有多个反射镜，其将物平面中的对象场成像到图像平面中的图像场。 至少一个反射镜的反射面构成为不能用旋转对称的功能描述的自由表面。 物体场的纵横比大于1.物体场的最小和最大横向尺寸的比可以小于0.9。
-
5.发明授权Imaging optics and projection exposure installation for microlithography with an imaging optics 有权用于具有成像光学元件的微光刻的成像光学和投影曝光安装公开(公告)号：US09057964B2
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：US13236873
申请日：2011-09-20
申请人： Hans-Juergen Mann , Johannes Zellner , Aurelian Dodoc , Claus Zahlten , Christoph Menke , Marco Pretorius , Wilhelm Ulrich , Hans-Juergen Rostalski
发明人： Hans-Juergen Mann , Johannes Zellner , Aurelian Dodoc , Claus Zahlten , Christoph Menke , Marco Pretorius , Wilhelm Ulrich , Hans-Juergen Rostalski
CPC分类号： G03F7/70233 , G02B17/0663 , G02B17/0888
摘要： Imaging optics includes a first mirror in the imaging beam path after the object field, a last mirror in the imaging beam path before the image field, and a fourth to last mirror in the imaging beam path before the image field. In an unfolded imaging beam path between the object plane and the image plane, an impingement point of the chief ray on a used region of each of the plurality of mirrors has a mirror spacing from the image plane. The mirror spacing of the first mirror is greater than the mirror spacing of the last mirror. The mirror spacing of the fourth to last mirror is greater than the mirror spacing of the first mirror. Chief rays that emanate from points of the object field that are spaced apart from another have a mutually diverging beam course, giving a negative back focus of the entrance pupil.
摘要翻译： 成像光学器件包括在物场之后的成像光束路径中的第一反射镜，在图像场之前的成像光束路径中的最后一个反射镜，以及在图像场之前的成像光束路径中的第四个至最后一个镜像。 在物平面和图像平面之间的展开成像光束路径中，多个反射镜中的每一个的使用区域上的主光线的冲击点具有与图像平面相反的反射镜间隔。 第一个镜子的镜子间距大于最后一个镜子的反射镜间距。 第四到最后一个镜子的镜子间距大于第一个镜子的镜子间距。 从与物体间隔开的物体点发出的主光线具有相互发散的光束路线，给入射光瞳的负后焦距。
-
6.发明申请IMAGING OPTICS AND PROJECTION EXPOSURE INSTALLATION FOR MICROLITHOGRAPHY WITH AN IMAGING OPTICS 有权成像光学和投影曝光安装用于成像光学的微观算法公开(公告)号：US20120069315A1
公开(公告)日：2012-03-22
申请号：US13236873
申请日：2011-09-20
申请人： Hans-Juergen Mann , Johannes Zellner , Aurelian Dodoc , Claus Zahlten , Christoph Menke , Marco Pretorius , Wilhelm Ulrich , Hans-Juergen Rostalski
发明人： Hans-Juergen Mann , Johannes Zellner , Aurelian Dodoc , Claus Zahlten , Christoph Menke , Marco Pretorius , Wilhelm Ulrich , Hans-Juergen Rostalski
CPC分类号： G03F7/70233 , G02B17/0663 , G02B17/0888
摘要： Imaging optics includes a first mirror in the imaging beam path after the object field, a last mirror in the imaging beam path before the image field, and a fourth to last mirror in the imaging beam path before the image field. In an unfolded imaging beam path between the object plane and the image plane, an impingement point of the chief ray on a used region of each of the plurality of mirrors has a mirror spacing from the image plane. The mirror spacing of the first mirror is greater than the mirror spacing of the last mirror. The mirror spacing of the fourth to last mirror is greater than the mirror spacing of the first mirror. Chief rays that emanate from points of the object field that are spaced apart from another have a mutually diverging beam course, giving a negative back focus of the entrance pupil.
摘要翻译： 成像光学器件包括在物场之后的成像光束路径中的第一反射镜，在图像场之前的成像光束路径中的最后一个反射镜，以及在图像场之前的成像光束路径中的第四个至最后一个镜像。 在物平面和图像平面之间的展开成像光束路径中，多个反射镜中的每一个的使用区域上的主光线的冲击点具有与图像平面相反的反射镜间隔。 第一个镜子的镜子间距大于最后一个镜子的反射镜间距。 第四到最后一个镜子的镜子间距大于第一个镜子的镜子间距。 从与物体间隔开的物体点发出的主光线具有相互发散的光束路线，给入射光瞳的负后焦距。
-
公开(公告)号：US09182578B2
公开(公告)日：2015-11-10
申请号：US13326516
申请日：2011-12-15
申请人： Hans-Juergen Mann , Johannes Zellner , Aurelian Dodoc , Marco Pretorius , Christoph Menke , Wilhelm Ulrich , Martin Endres
发明人： Hans-Juergen Mann , Johannes Zellner , Aurelian Dodoc , Marco Pretorius , Christoph Menke , Wilhelm Ulrich , Martin Endres
CPC分类号： G02B17/0663 , G02B27/0905 , G03F7/70233
摘要： An imaging optical system has a plurality of mirrors, which image an object field in an object plane into an image field in an image plane. A reflection face of at least one of the mirrors is configured as a free form face which cannot be described by a rotationally symmetrical function. The object field has an aspect ratio greater than 1. A ratio of a minimal and a maximal transverse dimension of the object field can be less than 0.9.
摘要翻译： 成像光学系统具有多个反射镜，其将物平面中的对象场成像到图像平面中的图像场。 至少一个反射镜的反射面构成为不能用旋转对称的功能描述的自由表面。 物体场的纵横比大于1.物体场的最小和最大横向尺寸的比可以小于0.9。
-
-
-
-
-
-
搜索结果
7 条记录 (耗时 0.022 秒)
