公开(公告)号：US20070240294A1

公开(公告)日：2007-10-18

申请号：US11253451

申请日：2005-10-19

申请人： Amy Duwel ,  David Carter ,  Mark Mescher ,  Mathew Varghese ,  Bernard Antkowiak ,  Marc Weinberg

发明人： Amy Duwel ,  David Carter ,  Mark Mescher ,  Mathew Varghese ,  Bernard Antkowiak ,  Marc Weinberg

IPC分类号： H04R17/00

CPC分类号： H03H3/02 ,  H03H9/172 ,  H03H9/564 ,  H03H9/586 ,  H03H2003/027 ,  H03H2009/241 ,  H04R17/00 ,  Y10T29/42 ,  Y10T29/435

摘要： A longitudinal mode resonator that includes a substrate and a bar that is suspended relative to the substrate. The bar is suspended such that it is free to expand and contract longitudinally in response to the application of an electric field across its thickness. The expansion and contraction of the bar achieves resonance in response to the field having a frequency substantially equal to the fundamental frequency of the bar.

摘要翻译： 一种纵模式谐振器，其包括相对于衬底悬挂的衬底和棒。 该杆被悬挂使得响应于其整个厚度上的电场的应用而使它自由地纵向膨胀和收缩。 棒的膨胀和收缩响应于具有与棒的基本频率基本相等的频率的场来实现谐振。

公开(公告)号：US20060201250A1

公开(公告)日：2006-09-14

申请号：US11076649

申请日：2005-03-10

申请人： Anthony Kourepenis ,  Marc Weinberg ,  Richard Elliott ,  Steven Daley

发明人： Anthony Kourepenis ,  Marc Weinberg ,  Richard Elliott ,  Steven Daley

IPC分类号： G01P15/08

CPC分类号： G01C19/5719 ,  G01P15/125 ,  H02N1/008

摘要： A force compensated comb drive for a microelectromechanical system includes a MEMS mechanism for providing an output signal representative of a physical quantity; a comb drive for actuating the MEMS mechanism; a comb drive circuit for providing a drive signal to the comb drive for developing a predetermined displacement applied by the comb drive to the MEMS mechanism; an automatic gain control responsive to a change in the force to provide a correction signal to the comb drive circuit to maintain the predetermined motion; and a compensation device responsive to the correction signal for adjusting the output signal of the MEMS mechanism to compensate for errors in the output signal due to a change in the predetermined force.

摘要翻译： 用于微机电系统的力补偿梳驱动器包括用于提供代表物理量的输出信号的MEMS机构; 用于致动MEMS机构的梳齿驱动器; 梳状驱动电路，用于向梳状驱动器提供驱动信号，用于将由梳状驱动器施加的预定位移显影到MEMS机构; 响应于力的变化的自动增益控制，以向梳状驱动电路提供校正信号以维持预定的运动; 以及响应于校正信号的补偿装置，用于调整MEMS机构的输出信号，以补偿由于预定力的变化导致的输出信号中的误差。

公开(公告)号：US20050067920A1

公开(公告)日：2005-03-31

申请号：US10675398

申请日：2003-09-30

申请人： Marc Weinberg ,  Brian Cunningham ,  Eric Hildebrant

发明人： Marc Weinberg ,  Brian Cunningham ,  Eric Hildebrant

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01N29/02 ,  H03H9/25

CPC分类号： G01N29/022 ,  G01L9/0025 ,  G01N2291/0423 ,  G01N2291/0427 ,  Y10T29/42

摘要： A flexural plate wave sensor including a flexural plate having a length and a width and a comb pattern over the flexural plate with drive teeth disposed across the entire length of the flexural plate to reduce the number of eigenmodes excited in the plate and thereby simplifying the operation and design of the flexure plate wave sensor.

摘要翻译： 一种挠曲板波传感器，包括在弯曲板上具有长度和宽度的弯曲板和梳状图案，驱动齿设置在弯曲板的整个长度上，以减少在板中激发的本征模的数量，从而简化了操作 和挠性板波传感器的设计。

公开(公告)号：US20130194770A1

公开(公告)日：2013-08-01

申请号：US13358744

申请日：2012-01-26

申请人： Jonathan Bernstein ,  Marc Weinberg

发明人： Jonathan Bernstein ,  Marc Weinberg

IPC分类号： H05K7/00 ,  H01L21/50

CPC分类号： B81B7/0016

摘要： A microelectromechanical vibration isolation system includes a microelectromechanical structure having a plurality of fin apertures etched therethrough, and a plurality of fins each disposed within a respective one of the plurality of fin apertures and spaced apart from the microelectromechanical structure so as to define a fluid gap therebetween. The fluid gap is configured to provide squeeze film damping of vibrations imparted upon the microelectromechanical structure in at least two dimensions. The system further includes a frame surrounding the microelectromechanical structure, and a plurality of springs each coupled to the microelectromechanical structure and to the frame. The plurality of springs is configured to support the micromechanical structure in relation to the frame.

摘要翻译： 微机电振动隔离系统包括具有蚀刻穿过其中的多个翅片孔的微机电结构，以及多个翅片，每个翅片均设置在多个翅片孔中的相应一个翅片孔内并与微机电结构间隔开，以便限定其间的流体间隙 。 流体间隙构造成在至少两个维度上提供施加在微机电结构上的振动的挤压膜阻尼。 该系统还包括围绕微电子机械结构的框架，以及多个弹簧，每个弹簧联接到微机电结构和框架。 多个弹簧构造成相对于框架支撑微机械结构。

公开(公告)号：US20070038268A1

公开(公告)日：2007-02-15

申请号：US11401106

申请日：2006-04-10

申请人： Marc Weinberg ,  Conrad Wall ,  Kathleen Sienko ,  Edward O'Neil

发明人： Marc Weinberg ,  Conrad Wall ,  Kathleen Sienko ,  Edward O'Neil

IPC分类号： A61N1/00

CPC分类号： A61H3/00

摘要： Among other things, a vestibular prosthesis includes a wearable motion sensing system, the motion sensing system generating a motion signal indicative of a motion thereof, wherein the motion includes rotation about two distinct axes; a signal processor in communication with the motion sensing system, the signal processor being configured to generate an estimate of a tilt of the motion sensing system; and an actuator responsive to the estimate of the tilt made by the signal processor.

摘要翻译： 其中，前庭假体包括可穿戴运动感测系统，所述运动感测系统产生指示其运动的运动信号，其中所述运动包括围绕两个不同轴线的旋转; 与所述运动感测系统通信的信号处理器，所述信号处理器被配置为产生所述运动感测系统的倾斜的估计; 以及响应于由信号处理器进行的倾斜估计的致动器。

公开(公告)号：US20060051883A1

公开(公告)日：2006-03-09

申请号：US11181035

申请日：2005-07-13

申请人： Mark Mescher ,  Mathew Varghese ,  Marc Weinberg ,  Thomas Marinis ,  Joseph Soucy

发明人： Mark Mescher ,  Mathew Varghese ,  Marc Weinberg ,  Thomas Marinis ,  Joseph Soucy

IPC分类号： H01L21/00

CPC分类号： B81B7/0012 ,  G04F5/14 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： A suspension of a chip-scale device is accomplished using a suspension frame and at least one first tether. The chip-scale suspension frame defines a first plane and an opening through the suspension frame. At least one first tether crosses the opening at a first angle relative to the first plane and can be used to position the chip-scale device at least partially within the opening.

摘要翻译： 使用悬挂框架和至少一个第一系绳来实现芯片级装置的悬架。 芯片级悬挂框架限定了第一平面和通过悬挂框架的开口。 至少一个第一系绳相对于第一平面以第一角度穿过开口，并且可以用于将芯片尺寸装置至少部分地定位在开口内。

公开(公告)号：US20050081631A1

公开(公告)日：2005-04-21

申请号：US10970067

申请日：2004-10-20

申请人： Marc Weinberg ,  Anthony Kourepenis ,  William Sawyer ,  Jeffrey Borenstein ,  James Connelly ,  Amy Duwel ,  Christopher Lento ,  James Cousens

发明人： Marc Weinberg ,  Anthony Kourepenis ,  William Sawyer ,  Jeffrey Borenstein ,  James Connelly ,  Amy Duwel ,  Christopher Lento ,  James Cousens

IPC分类号： B81B3/00 ,  B81C1/00 ,  G01C19/5719 ,  H01L21/683 ,  G01P15/08

CPC分类号： H01L21/6835 ,  G01C19/5719 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/3025

摘要： A method for reducing errors in a tuning fork gyroscope includes determining a first distance, gt, between an upper sense plate and a proof mass and a second distance, gb, between a lower sense plate and the proof mass. The method further includes applying a first voltage, Vt, to the upper sense plate and a second voltage, Vb, to the lower sense plate, wherein the ratio of the first voltage and the second voltage is a function of the first distance and the second distance.

摘要翻译： 一种用于减少音叉陀螺仪中的误差的方法包括确定上感测板和检测质量之间的第一距离g i，以及第二距离g b， 在下感测板和检测质量之间。 所述方法还包括向所述下感测板施加第一电压V sub至所述上感测板，并将第二电压V SUB施加到所述下感测板，其中， 第一电压和第二电压是第一距离和第二距离的函数。