公开(公告)号：US20070042892A1

公开(公告)日：2007-02-22

申请号：US11589584

申请日：2006-10-30

申请人： Steven Dawes ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Michael Wasilewski

发明人： Steven Dawes ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Michael Wasilewski

IPC分类号： C03C3/06

CPC分类号： C03B19/06 ,  C03B19/02 ,  C03B19/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/20

摘要： The present invention provides doped titania-doped silica glass articles having low thermal expansions and low variations in thermal expansion. According to one embodiment of the invention, a titania-doped silica glass article has a titania content of between about 5 wt % and about 9 wt %; a coefficient of thermal expansion of between about −30 ppb/° C. and about +30 ppb/° C. at a temperature between 15° C. and 30° C.; and a variation in coefficient of thermal expansion of less than about 5 ppb/° C. at a temperature between 15° C and 30° C.

摘要翻译： 本发明提供了具有低热膨胀和低膨胀变化的掺杂二氧化钛掺杂二氧化硅玻璃制品。 根据本发明的一个实施方案，二氧化钛掺杂的石英玻璃制品的二氧化钛含量为约5重量％至约9重量％; 在15℃和30℃之间的温度下，热膨胀系数在约-30ppb /℃和约+ 30ppb /℃之间。 和在15℃至30℃之间的温度下热膨胀系数的变化小于约5ppb /℃。

公开(公告)号：US20050241338A1

公开(公告)日：2005-11-03

申请号：US11180458

申请日：2005-07-12

申请人： Kenneth Hrdina ,  John Maxon ,  Brent Mclean

发明人： Kenneth Hrdina ,  John Maxon ,  Brent Mclean

IPC分类号： G02B1/00 ,  C03B8/04 ,  C03B19/14 ,  C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03C4/00 ,  G03F1/24 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC分类号： B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1446 ,  C03B19/1484 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/62 ,  C03B2207/66 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  G03F1/24 ,  G03F7/70958

摘要： Titania-containing silica glass bodies and extreme ultraviolet elements having low levels of striae are disclosed. Methods and apparatus for manufacturing and measuring striae in glass elements and extreme ultraviolet elements are also disclosed.

摘要翻译： 公开了含有二氧化钛的二氧化硅玻璃体和具有低水平条纹的极紫外线元件。 还公开了用于制造和测量玻璃元件和极紫外元件中的条纹的方法和装置。

公开(公告)号：US20050032622A1

公开(公告)日：2005-02-10

申请号：US10638004

申请日：2003-08-08

申请人： Steven Dawes ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Michael Wasilewski

发明人： Steven Dawes ,  Richard Fiacco ,  Kenneth Hrdina ,  Michael Wasilewski

IPC分类号： C03B19/02 ,  C03B19/06 ,  C03B19/12 ,  C03C3/06 ,  C03B8/00 ,  C03B23/04

CPC分类号： C03B19/06 ,  C03B19/02 ,  C03B19/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/20

摘要： The present invention provides doped titania-doped silica glass articles having low thermal expansions and low variations in thermal expansion. According to one embodiment of the invention, a titania-doped silica glass article has a titania content of between about 5 wt % and about 9 wt %; a coefficient of thermal expansion of between about −30 ppb/° C. and about +30 ppb/° C. at a temperature between 15° C. and 30° C.; and a variation in coefficient of thermal expansion of less than about 5 ppb/° C. at a temperature between 15° C. and 30° C.

摘要翻译： 本发明提供了具有低热膨胀和低膨胀变化的掺杂二氧化钛掺杂二氧化硅玻璃制品。 根据本发明的一个实施方案，二氧化钛掺杂的石英玻璃制品的二氧化钛含量为约5重量％至约9重量％; 在15℃和30℃之间的温度下，热膨胀系数在约-30ppb /℃和约+ 30ppb /℃之间。 和在15℃至30℃之间的温度下热膨胀系数的变化小于约5ppb /℃。