公开(公告)号：US07229694B2

公开(公告)日：2007-06-12

申请号：US10446583

申请日：2003-05-27

申请人： Lutz Mueller ,  Kersten Kehr ,  Markus Ulm

发明人： Lutz Mueller ,  Kersten Kehr ,  Markus Ulm

IPC分类号： B32B9/04

CPC分类号： B81B3/0005 ,  B05D1/62 ,  B05D5/083 ,  B81C2201/019 ,  B81C2201/112 ,  C09D4/00 ,  C09D183/08 ,  C23C28/00 ,  C23C28/42 ,  C23C28/44 ,  Y10T428/31663 ,  C08G77/24

摘要： A micromechanical component includes an anti-adhesive layer, formed from at least one fluorine-containing silane, applied to at least parts of its surface for reducing surface forces. To increase mechanical and thermal load capacity, the anti-adhesive layer is provided as a multilayer coating which is formed from at least one metal oxide layer and at least one layer composed of at least one fluorine-containing silane.

摘要翻译： 微机械部件包括由至少一种含氟硅烷形成的防粘层，其被施加到其表面的至少部分以减小表面力。 为了增加机械和热负荷能力，抗粘剂层被提供为由至少一个金属氧化物层和至少一层由至少一种含氟硅烷组成的多层涂层。

公开(公告)号：US20080093690A1

公开(公告)日：2008-04-24

申请号：US11974011

申请日：2007-10-10

申请人： Frank Reichenbach ,  Franz Laermer ,  Kersten Kehr ,  Axel Franke ,  Andreas Scheurle

发明人： Frank Reichenbach ,  Franz Laermer ,  Kersten Kehr ,  Axel Franke ,  Andreas Scheurle

IPC分类号： H01L29/84 ,  H01L21/302

CPC分类号： B81C1/00246 ,  B81B2201/0235 ,  B81C2203/0778

摘要： A micromechanical component and a method for manufacturing such a component, the component having a micromechanical structure and an integrated circuit, the micromechanical structure being monolithically integrated into the circuit, the circuit being provided in a circuit area of the substrate, and the micromechanical structure being provided in a sensor area of the substrate, the material of the substrate being provided in the area of a sacrificial layer as well as in the area of a function layer without a transition.

摘要翻译： 一种微机械部件和制造这种部件的方法，所述部件具有微机械结构和集成电路，所述微机械结构单片集成到所述电路中，所述电路设置在所述基板的电路区域中，所述微机械结构为 设置在衬底的传感器区域中，衬底的材料设置在牺牲层的区域中以及在没有转变的功能层的区域中。