公开(公告)号：US08281911B2

公开(公告)日：2012-10-09

申请号：US11758413

申请日：2007-06-05

申请人： Peter Heiland

发明人： Peter Heiland

IPC分类号： F16F9/00

CPC分类号： G05D19/02 ,  F16F15/02

摘要： The invention relates to an active vibration isolation system in which at least one sensor is provided for detection of ground vibration, and the system has a control device which calculates compensation signals in at least two degrees of freedom, based on movements of the ground.

摘要翻译： 本发明涉及一种主动隔振系统，其中提供至少一个用于检测地面振动的传感器，并且该系统具有控制装置，其基于地面的运动以至少两个自由度计算补偿信号。

公开(公告)号：US07942379B2

公开(公告)日：2011-05-17

申请号：US11750243

申请日：2007-05-17

申请人： Peter Heiland

发明人： Peter Heiland

IPC分类号： F16F15/02 ,  G03F7/20 ,  F15B21/04

CPC分类号： F16F15/002 ,  F16F15/0275 ,  G03F7/709

摘要： The invention relates to a vibration isolation system, comprising at least one fluid bearing having a first control device in order to control the fluid pressure and having at least one actuator in order to compensate for position changes of the load to be isolated, which actuator is controlled by at least one second control device, wherein the input of one control device is connected to the output of the other control device.

摘要翻译： 本发明涉及一种防振系统，包括至少一个具有第一控制装置的流体轴承，以便控制流体压力并具有至少一个致动器，以便补偿待隔离的负载的位置变化，该致动器是 由至少一个第二控制装置控制，其中一个控制装置的输入连接到另一控制装置的输出。

公开(公告)号：US07489987B2

公开(公告)日：2009-02-10

申请号：US11462134

申请日：2006-08-03

申请人： Peter Heiland ,  Peter A. Kropp

发明人： Peter Heiland ,  Peter A. Kropp

IPC分类号： G05B13/00

CPC分类号： F16F15/002

摘要： Control of an active vibration isolation system with a digital controller, which includes an FPGA system (5) as the control unit. The FPGA system (5) is made up of freely programmable gate arrays with a sensor control matrix (51), which calculates axis signals in required degrees of freedom, with a control cascade block (53) for the axis signals containing several biquad filters (531, 532, 533, 534, 535), and with an output signal calculation block (55) for calculating digital actuator actuation signals. A digital signal processor (9) is connected in parallel with the FPGA system (5) in order to calculate controls with low phase loss requirements.

摘要翻译： 使用数字控制器控制主动隔振系统，其中包括一个FPGA系统（5）作为控制单元。 FPGA系统（5）由具有传感器控制矩阵（51）的可自由编程的门阵列组成，传感器控制矩阵（51）利用包含若干双二进制滤波器的轴信号的控制级联块（53）来计算所需自由度的轴信号 以及用于计算数字致动器致动信号的输出信号计算块（55）。 数字信号处理器（9）与FPGA系统（5）并联连接，以便计算具有低相位损耗要求的控制。

公开(公告)号：US20080193061A1

公开(公告)日：2008-08-14

申请号：US12030811

申请日：2008-02-13

申请人： Peter Heiland

发明人： Peter Heiland

IPC分类号： F16C32/06

CPC分类号： G03F7/709 ,  F16C32/0603 ,  F16C32/0688

摘要： The invention relates to an air bearing with vertical structural resonance.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有垂直结构共振的空气轴承。

公开(公告)号：US20080006759A1

公开(公告)日：2008-01-10

申请号：US11766616

申请日：2007-06-21

申请人： Peter Heiland

发明人： Peter Heiland

IPC分类号： F16F15/03

CPC分类号： F16F15/005 ,  F16F15/03

摘要： The invention relates to an active vibration isolation system in which the effective axis of a sensor essentially corresponds to the effective axis of an actuator and the sensor and the actuator are arranged close to one another.

摘要翻译： 本发明涉及一种主动隔振系统，其中传感器的有效轴基本上对应于致动器的有效轴线，并且传感器和致动器彼此靠近地布置。

公开(公告)号：US20070284794A1

公开(公告)日：2007-12-13

申请号：US11758413

申请日：2007-06-05

申请人： Peter Heiland

发明人： Peter Heiland

IPC分类号： F16F9/00

CPC分类号： G05D19/02 ,  F16F15/02

摘要： The invention relates to an active vibration isolation system in which at least one sensor is provided for detection of ground vibration, and the system has a control device which calculates compensation signals in at least two degrees of freedom, based on movements of the ground.

摘要翻译： 本发明涉及一种主动隔振系统，其中提供至少一个用于检测地面振动的传感器，并且该系统具有控制装置，其基于地面的运动以至少两个自由度计算补偿信号。

公开(公告)号：US07234913B2

公开(公告)日：2007-06-26

申请号：US10810361

申请日：2004-03-26

申请人： Peter Heiland ,  Ralf Tillmann

发明人： Peter Heiland ,  Ralf Tillmann

IPC分类号： B65H5/00

CPC分类号： H01L21/68707 ,  Y10S414/141

摘要： An apparatus for accepting and transferring at least one disk-like member is provided. The apparatus includes a pick- and place-mechanism including gripping means. In effect, the mechanism is adapted to provide pick- and/or place-cycles, which during operation provides a movement of said gripping means between an up and a down position and vice versa, whereby, in the down position, said gripping means either picks the disk-like member from a load position or places the disk-like member onto the load position.

摘要翻译： 提供一种用于接收和传送至少一个盘状构件的装置。 该装置包括拾取和放置机构，包括夹持装置。 实际上，该机构适于提供拾取和/或放置循环，其在操作期间提供所述夹持装置在上下位置之间的运动，反之亦然，由此，在向下位置，所述夹持装置 从装载位置拾取盘状构件，或将盘状构件放置在装载位置上。

公开(公告)号：US07075772B2

公开(公告)日：2006-07-11

申请号：US10613870

申请日：2003-07-05

申请人： Peter Heiland

发明人： Peter Heiland

IPC分类号： H02H1/00 ,  H01F13/00

CPC分类号： H01L21/6831 ,  Y10T29/49117 ,  Y10T29/53196 ,  Y10T279/23

摘要： An electrostatic gripper for moving wafers includes bipolar electrodes with an insulating layer of zirconium oxide, which are positioned on a circuit board. The gripper is produced by a pressing process and can be operated with a DC voltage of less than 900 V. As a result, heating of the wafer is almost completely prevented even under a vacuum.

摘要翻译： 用于移动晶片的静电夹具包括位于电路板上的具有氧化锆绝缘层的双极电极。 夹持器通过压制方法制造，并且可以以小于900V的直流电压进行操作。结果，即使在真空下也几乎可以完全防止晶片的加热。

公开(公告)号：US06226075B1

公开(公告)日：2001-05-01

申请号：US09110612

申请日：1998-07-06

申请人： Erik R. Loopstra ,  Peter Heiland

发明人： Erik R. Loopstra ,  Peter Heiland

IPC分类号： G03B2762

CPC分类号： F16C32/06 ,  F16C32/0603 ,  F16F15/022 ,  F16F15/0232 ,  G03F7/70691 ,  G03F7/70825

摘要： A supporting device (53) provided with a first part (69), a second part (71), and a gas spring (73) for supporting the second part relative to the first part parallel to a support direction (Z). The gas spring (73) comprises a pressure chamber (75) which is provided in an intermediate part (79) and is bounded by a piston (81) which is displaceable in the intermediate part (79) parallel to the support direction and is supported perpendicularly to the support direction by means of a static gas bearing (85). A stiffness of the supporting device parallel to the support direction is thus substantially entirely determined by a stiffness of the gas spring, and a low stiffness can be achieved through a suitable design of the gas spring. A transmission of vibrations directed parallel to the support direction from the first part to the second part is prevented as much as possible thereby. The invention also relates to a lithography device having a plurality of such supporting devices.

摘要翻译： 具有第一部分（69），第二部分（71）和用于相对于第一部分平行于支撑方向（Z）支撑第二部分的气体弹簧（73）的支撑装置（53）。 气弹簧（73）包括设置在中间部分（79）中且由中间部分（79）平行于支撑方向移动的活塞（81）限定的压力室（75），并被支撑 通过静态气体轴承（85）垂直于支撑方向。 因此，平行于支撑方向的支撑装置的刚度基本上完全由气弹簧的刚度决定，并且可以通过气弹簧的适当设计来实现低刚度。 尽可能地防止从第一部分到第二部分平行于支撑方向引导的振动的传递。 本发明还涉及具有多个这种支撑装置的光刻装置。

公开(公告)号：US08894052B2

公开(公告)日：2014-11-25

申请号：US11839383

申请日：2007-08-15

申请人： Peter Heiland

发明人： Peter Heiland

IPC分类号： F16F15/00 ,  F16F15/027 ,  G03F7/20

CPC分类号： F16F15/0275 ,  F16F15/002 ,  G03F7/709

摘要： Method and arrangement for oscillation isolation by means of an air bearing. The electropneumatic valves (4) for the compressed-air supply to the air bearing are subjected to a dither signal. This causes additional vibration of the mass 1 to be isolated. A compensation signal transmitter (12) ensures that additional vibration of the mass (1) is suppressed, by controlling actuators (10). Overall, hysteresis effects are avoided in the control of the compressed-air flow.

摘要翻译： 通过空气轴承进行振动隔离的方法和装置。 用于向空气轴承供应的压缩空气的电动气动阀（4）经受抖动信号。 这导致质量块1的额外振动被隔离。 补偿信号发送器（12）通过控制致动器（10）来确保质量（1）的附加振动被抑制。 总之，在压缩空气流的控制中避免了滞后效应。