公开(公告)号：US5952153A

公开(公告)日：1999-09-14

申请号：US980903

申请日：1997-12-01

申请人： Daniel E. Lundy ,  Robert Barr

发明人： Daniel E. Lundy ,  Robert Barr

IPC分类号： C08L101/00 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  G03F7/038 ,  G03C5/00

CPC分类号： G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  Y10S430/121

摘要： A negative-acting photoimageable composition useful as a photoresist comprises an acid-functional binder, a photopolymerizable component, a photoinitiator chemical system comprising 9-phenyl acridine or a homologue thereof, and a dibenzoate plasticizer.

摘要翻译： 可用作光致抗蚀剂的负性可光成像组合物包括酸官能粘合剂，可光聚合组分，包含9-苯基吖啶或其同系物的光引发剂化学体系和二苯甲酸酯增塑剂。

公开(公告)号：US5922522A

公开(公告)日：1999-07-13

申请号：US69518

申请日：1998-04-29

申请人： Robert Barr ,  Daniel E. Lundy

发明人： Robert Barr ,  Daniel E. Lundy

IPC分类号： G03F7/32

CPC分类号： G03F7/322

摘要： An alkaline aqueous developing solution for developing photoresists or the like contains, as an anti-scum agent, an ethoxylated surfactant having the general formula:R--�O--(AO).sub.n !.sub.m --X (I)where AO are alkylene oxide units selected from ethylene oxide units (CH.sub.2 --CH.sub.2 --O) and propylene oxide units (CH(CH.sub.3)--CH.sub.2 --O) or (CH.sub.2 --CH(CH.sub.3)--O), where R is a hydrophobic group, X is H or an anionic group, m is from 1 to 3, and n is at least about 8, and the molar ratio of total ethylene oxide units to total propylene oxide units is between about 1:4 and about 4:1, preferably between about 2:3 and about 3:2.

摘要翻译： 用于显影光致抗蚀剂等的碱性水性显影液含有具有以下通式的乙氧基化表面活性剂作为抗浮渣剂：R- [O-（AO）n] mX（I），其中AO是选自 环氧乙烷单元（CH 2 -CH 2 -O）和环氧丙烷单元（CH（CH 3）-CH 2 -O）或（CH 2 -CH（CH 3）-O），其中R是疏水基团，X是H或阴离子基团 ，m为1至3，n为至少约8，并且总环氧乙烷单元与总环氧丙烷单元的摩尔比为约1:4至约4:1，优选约2:3至约 3：2。

公开(公告)号：US5411837A

公开(公告)日：1995-05-02

申请号：US241872

申请日：1994-05-12

申请人： Stephen E. Bottomley ,  Daniel E. Lundy ,  Betsy Dadah ,  Robert K. Barr

发明人： Stephen E. Bottomley ,  Daniel E. Lundy ,  Betsy Dadah ,  Robert K. Barr

IPC分类号： G03F7/004 ,  C09D4/00 ,  C09D4/02 ,  C09D4/06 ,  G03F7/027 ,  G03F7/028 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  H01L21/027 ,  H05K3/00 ,  H05K3/06 ,  H05K3/18 ,  H05K3/28 ,  G03C1/73

CPC分类号： G03F7/033 ,  H05K3/0076 ,  Y10S430/107 ,  Y10S430/111

摘要： A waterborne photoimageable composition or photoresist comprises a latex binder polymer having acid acid functionality to render it developable in alkaline aqueous solution, at least about 50 mole percent of the acid functionality being sulfonic acid moieties, a photopolymerizeable monomer fraction, and a photoinitiator chemical system.

摘要翻译： 水性可光成像组合物或光致抗蚀剂包含具有酸酸官能团以使其在碱性水溶液中显影的胶乳粘合剂聚合物，至少约50摩尔％的酸官能度为磺酸部分，光聚合单体部分和光引发剂化学体系。