公开(公告)号：US20020052544A1

公开(公告)日：2002-05-02

申请号：US09924126

申请日：2001-08-07

发明人： Robert E. Jeffries ,  Lee Birchansky

IPC分类号： A61B005/00

CPC分类号： A61B3/16 ,  A61F9/00781 ,  G01L9/002

摘要： An apparatus and method of monitoring/measuring intraocular pressure in an eye includes a miniature pressure sensor having an attachment for connecting the miniature pressure sensor to the iris of the eye or an intraocular lens. The miniature pressure sensor is preferably a Polysilicon Resonant Transducer (PRT).

摘要翻译： 监测/测量眼睛中的眼内压的装置和方法包括具有用于将微型压力传感器连接到眼睛的眼睛或眼内透镜的附件的微型压力传感器。 微型压力传感器优选为多晶硅谐振传感器（PRT）。

公开(公告)号：US06193656B1

公开(公告)日：2001-02-27

申请号：US09246379

申请日：1999-02-08

申请人： Robert E. Jeffries ,  Lee Birchansky

发明人： Robert E. Jeffries ,  Lee Birchansky

IPC分类号： A61B500

CPC分类号： A61B3/16 ,  A61F9/00781 ,  G01L9/002

摘要： An apparatus and method of monitoring/measuring intraocular pressure in an eye includes a miniature pressure sensor having an attachment for connecting the miniature pressure sensor to the iris of the eye or an intraocular lens. The miniature pressure sensor is preferably a Polysilicon Resonant Transducer (PRT).

摘要翻译： 监测/测量眼睛中的眼内压的装置和方法包括具有用于将微型压力传感器连接到眼睛的眼睛或眼内透镜的附件的微型压力传感器。 微型压力传感器优选为多晶硅谐振传感器（PRT）。

公开(公告)号：US5991027A

公开(公告)日：1999-11-23

申请号：US035242

申请日：1998-03-05

申请人： Alan James Jacobs-Cook

发明人： Alan James Jacobs-Cook

IPC分类号： G01L9/00 ,  G01B9/02

CPC分类号： G01L9/002

摘要： A measuring apparatus comprises a sensor having a vibrating beam whose resonant frequency represents a parameter, such as pressure, to be measured. A light guide supplies light from a source to the beam and returns light reflected from the beam and from the end of the guide to an interferometer. The difference in light paths is greater than the coherent length of the light. The interferometer has first and second paths which differ in length by the difference in the light paths plus an odd number of quarter wavelengths of the light.

摘要翻译： 测量装置包括具有振动束的传感器，该振动束的谐振频率表示待测量的诸如压力的参数。 光源将来自光源的光提供给光束，并将从光束反射的光和从引导件的端部返回到干涉仪。 光路的差异大于光的相干长度。 该干涉仪具有长度不同的第一和第二路径，其中光路的差加上光的四分之一波长的奇数。

公开(公告)号：US5612815A

公开(公告)日：1997-03-18

申请号：US584372

申请日：1996-01-11

申请人： Pierre Labeye ,  Eric Ollier

发明人： Pierre Labeye ,  Eric Ollier

IPC分类号： G02B26/08 ,  G01L9/00 ,  G02B6/12 ,  G02B6/35 ,  G02F1/29 ,  G02B6/26

CPC分类号： G02B6/3508 ,  G01L9/002 ,  G02B6/3546 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3596

摘要： Optomechanical device comprising in an integrated optics guiding structure, a fixed part and a mobile part, which is connected to the fixed part, said mobile part being located between i output microguides formed in the fixed part and j input microguides also formed in the fixed part, characterized in that the mobile part comprises a mass, which is only connected by fixing arms to the fixed part, so as to permit the displacement of the mass in a first direction, said mass having k microguides to permit the switching of a light beam from one of the j input microguides to one of the i output microguides.

摘要翻译： 光学机械装置包括集成光学引导结构，固定部分和可移动部分，其连接到固定部分，所述移动部分位于i形成在固定部分的微型导体之间，并且还形成在固定部分中的j个输入微导体 其特征在于，所述移动部件包括质量块，所述质量块仅通过固定臂连接到所述固定部件，以允许所述质量块在第一方向上移位，所述质量体具有k个微导体以允许切换光束 从j个输入微导向之一到i输出微导引之一。

公开(公告)号：US5426981A

公开(公告)日：1995-06-27

申请号：US853144

申请日：1992-03-18

申请人： Alan J. Cook ,  Robert A. Pinnock

发明人： Alan J. Cook ,  Robert A. Pinnock

IPC分类号： G01L1/00 ,  G01L1/10 ,  G01L1/18 ,  G01L9/00 ,  G01P15/097 ,  G01P15/10 ,  G10K15/04 ,  G01H9/00

CPC分类号： G10K15/046 ,  G01L1/186 ,  G01L9/002 ,  G01P15/097 ,  Y10S73/01

摘要： A vibrating sensor comprises an elongated element arranged to vibrate at a frequency dependent upon an external stress applied to the sensor, and an optical fiber for coupling light into an end of the element to excite it into vibration. A light-absorbing layer is provided on a longitudinal surface of the element such that the element will change its configuration, e.g. by bending, as the layer absorbs light and heats that side of the element, this alteration in configuration causing a reduction of radiation which is absorbed so that the element restores. The element may define a Fabry-Perot interferometer between its opposite ends.

摘要翻译： 振动传感器包括细长元件，该细长元件被布置为以取决于施加到传感器的外部应力的频率振动，以及用于将光耦合到元件的端部以激发其进入振动的光纤。 在元件的纵向表面上设置光吸收层，使得元件将改变其构造，例如， 通过弯曲，当该层吸收光并加热该元件的该侧时，该构型的这种改变导致吸收的辐射的减少以使元件恢复。 元件可以在其相对端之间限定法布里 - 珀罗干涉仪。

公开(公告)号：US5195374A

公开(公告)日：1993-03-23

申请号：US805150

申请日：1991-12-11

申请人： Philip Parsons ,  Jolyon P. Willson

发明人： Philip Parsons ,  Jolyon P. Willson

IPC分类号： G01D3/036 ,  G01L9/00

CPC分类号： G01D3/036 ,  G01L9/0019 ,  G01L9/002 ,  G01L9/0022 ,  G01L9/0023 ,  Y10S73/01

摘要： In pressure sensor systems based upon a micromachined silicon pressure sensor comprising a resonantly vibratable beam supported on a diaphragm, the beam is excited into resonant vibration by directing an optical excitation signal at the beam resonant frequency, via an optical fibre 26, onto a part of the sensor other than the beam, preferably the diaphragm. To detect the vibrations, the underside of the beam 16 and the adjacent upper surface of the diaphragm 18 are together arranged to define a Fabry-Perot cavity, and a continuous optical detection signal is directed at this cavity, also via the optical fibre 26. The optical detection signal is thus modulated at the vibration frequency of the beam 16 by the cavity, and the modulated signal is reflected back into the optical fibre 26.

摘要翻译： 在基于微机械加工的硅压力传感器的压力传感器系统中，该传感器包括支撑在隔膜上的共振可振动梁，通过将光束共振频率的光激发信号通过光纤26引导到一部分 传感器除光束外，优选隔膜。 为了检测振动，梁16的下侧和隔膜18的相邻上表面一起布置成限定法布里 - 珀罗腔，并且连续的光学检测信号也通过光纤26被引导到该空腔。 因此，光检测信号通过腔被调制在光束16的振动频率处，并且调制信号被反射回到光纤26中。

公开(公告)号：US4942766A

公开(公告)日：1990-07-24

申请号：US266818

申请日：1988-11-03

申请人： John C. Greenwood ,  James M. Naden

发明人： John C. Greenwood ,  James M. Naden

IPC分类号： G01D5/30 ,  G01K11/26 ,  G01L9/00

CPC分类号： G01D5/30 ,  G01K11/26 ,  G01L9/002

摘要： In a transducer, e.g. a pressure transducer, the sensing element comprises a torsional oscillator provided with magnetic means for feedback of signals to maintain oscillation. Typically the sensing element is formed by selective etching from a body of single crystal silicon.

摘要翻译： 在换能器中，例如 压力传感器，感测元件包括设置有用于反馈信号以维持振荡的磁性装置的扭转振荡器。 通常，感测元件通过从单晶硅体的选择性蚀刻形成。

公开(公告)号：US4884450A

公开(公告)日：1989-12-05

申请号：US310501

申请日：1989-02-13

申请人： John C. Greenwood ,  Peter W. Graves ,  Rosamund C. Neat

发明人： John C. Greenwood ,  Peter W. Graves ,  Rosamund C. Neat

IPC分类号： G01D5/26 ,  G01L1/10 ,  G01L1/18 ,  G01L9/00 ,  G01L11/02

CPC分类号： G01L1/103 ,  G01D5/268 ,  G01L1/186 ,  G01L11/02 ,  G01L9/0017 ,  G01L9/002 ,  G01L9/0077

摘要： A pressure sensor includes a resonator element (14) mounted on an optical fibre ferrule (11) whereby light signals for maintaining the resonator in a state of oscillation and for returning a modulated signal to a remote station are coupled to the resonator. The resonator is located in an evacuated cavity and is mounted on a flexible diaphragm whereby pressure changes may be detected as changes in the resonant frequency.

摘要翻译： 压力传感器包括安装在光纤套管（11）上的谐振器元件（14），由此用于将谐振器保持在振荡状态并用于将调制信号返回到远程站的光信号耦合到谐振器。 谐振器位于抽真空腔中并且安装在柔性隔膜上，由此可以将谐振频率的变化检测为压力变化。

公开(公告)号：US4841775A

公开(公告)日：1989-06-27

申请号：US145156

申请日：1988-01-19

申请人： Kyoichi Ikeda ,  Tetsuya Watanabe ,  Yasushi Higashino

发明人： Kyoichi Ikeda ,  Tetsuya Watanabe ,  Yasushi Higashino

IPC分类号： G01D5/243 ,  G01L1/10 ,  G01L1/16 ,  G01L1/18 ,  G01L9/00 ,  G01N9/00 ,  G01N35/00 ,  G01P15/08 ,  G01P15/097 ,  G01P15/10 ,  H01L21/60 ,  H04R17/08

CPC分类号： H01L21/76897 ,  G01D5/243 ,  G01L1/162 ,  G01L1/183 ,  G01L1/186 ,  G01L9/0019 ,  G01L9/002 ,  G01L9/0022 ,  G01L9/0023 ,  G01N9/002 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/097 ,  G01N2035/00237 ,  H01L2924/3011 ,  H04R17/08

摘要： A vibratory transducer comprising a vibratory beam composed of an n-type layer and having at least one end fixed. The vibratory beam is formed by selectively etching an n-type layer formed by adding impurities locally to a single silicon crystal. The vibratory transducer also comprises means for vibrating the vibratory beam and means for detecting vibration of the vibratory beam. The vibratory transducer measures pressure, temperature, density, etc, by detecting change in the resonant frequency of the vibratory beam. The vibratory beam can be finely etched irrespective of the density of the impurities therein by forming the vibratory beam in an alkaline aqueous solution while applying a negative DC or pulsed voltage to a p-type layer and a positive DC or pulsed voltage to an n-type layer. The vibrating and detecting means for the vibratory beam can be easily provided by making a diode and a transistor including the vibratory beam in the transducer.

摘要翻译： 一种振动换能器，包括由n型层组成并且至少一端固定的振动梁。 通过选择性地蚀刻通过将杂质局部添加到单个硅晶体而形成的n型层来形成振动束。 振动换能器还包括用于振动振动梁的装置和用于检测振动梁的振动的装置。 振动传感器通过检测振动梁的共振频率的变化来测量压力，温度，密度等。 通过在碱性水溶液中形成振动束，同时向p型层施加负的DC或脉冲电压，并向正极直流或脉冲电压施加负的DC或脉冲电压，可以精细地蚀刻振动束，而不管其中的杂质的密度如何。 类型层。 用于振动束的振动和检测装置可以通过在换能器中制造包括振动束的二极管和晶体管来容易地提供。

公开(公告)号：US4772786A

公开(公告)日：1988-09-20

申请号：US940319

申请日：1986-12-10

申请人： Roger M. Langdon

发明人： Roger M. Langdon

IPC分类号： G01L1/24 ,  G01D5/26 ,  G01H9/00 ,  G01K5/52 ,  G01L1/10 ,  G01L1/18 ,  G01L9/00 ,  G01L11/02 ,  G01P15/093 ,  G01D5/34

CPC分类号： G01L1/103 ,  G01D5/268 ,  G01H9/006 ,  G01K5/52 ,  G01L1/186 ,  G01L11/02 ,  G01L9/0014 ,  G01L9/0017 ,  G01L9/002 ,  G01L9/0079 ,  G01P15/093

摘要： A sensor comprises a beam, e.g. of silicon, which resonates at a frequency dependent on the force imposed on the beam. Light on a line induces resonance of the beam by means of the photothermal effect. The light reflected from the beam is amplitude modulated at the resonance frequency, and returns along the line. It is reflected by a semi-reflecting plane mirror onto a lens which focusses it onto a photodetector. The photodetector produces an output voltage modulated at the oscillation frequency, and is thus representative of the force imposed on beam 1.

摘要翻译： 一个传感器包括一个光束， 的硅，其以取决于施加在光束上的力的频率谐振。 线上的光线通过光热效应引起光束的共振。 从光束反射的光在谐振频率处进行幅度调制，并沿着线返回。 它被半反射平面镜反射到将其聚焦到光电检测器上的透镜上。 光电检测器产生以振荡频率调制的输出电压，因此代表施加在光束1上的力。