公开(公告)号：US20080190204A1

公开(公告)日：2008-08-14

申请号：US11815409

申请日：2006-02-01

申请人： Jean-Sebastien Danel ,  Bernard Diem

发明人： Jean-Sebastien Danel ,  Bernard Diem

IPC分类号： G01P3/44 ,  H01G5/01

CPC分类号： G01C19/5755 ,  G01C19/5769 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  H01G5/16

摘要： A variable capacitor including at least two interdigitized combs provided with teeth, the cross section of the end of a tooth adjacent to the other comb being greater than the cross section of the end of a tooth remote from the other comb. The variable capacitor can be used in gyrometers and accelerometers.

摘要翻译： 一种可变电容器，其包括至少两个具有齿的叉指梳，与另一个梳相邻的齿的端部的横截面大于远离另一梳的齿的端部的横截面。 可变电容器可用于陀螺仪和加速度计。

公开(公告)号：US20070234782A1

公开(公告)日：2007-10-11

申请号：US11630471

申请日：2005-06-29

申请人： Francois De Crecy ,  Bernard Diem

发明人： Francois De Crecy ,  Bernard Diem

IPC分类号： G01N25/18

CPC分类号： G01M3/002 ,  G01M3/3281

摘要： A tightness testing method for a MEMS or small encapsulated component, the MEMS or small component being housed in a cavity of a carrier. The cavity being sealed and containing a gas having a different density to the density it would have if subjected to the pressure of the medium outside the cavity. The method measures the density of the gas contained in the cavity.

摘要翻译： 用于MEMS或小封装部件的密封性测试方法，MEMS或小部件被容纳在载体的空腔中。 空腔被密封并且包含具有与其在空腔外部的介质的压力相同的密度的密度的气体。 该方法测量腔体中所含气体的密度。

公开(公告)号：US20070221120A1

公开(公告)日：2007-09-27

申请号：US11578975

申请日：2005-04-20

申请人： Bernard Diem ,  Eugene Blanchet ,  Bishnu Gogoi

发明人： Bernard Diem ,  Eugene Blanchet ,  Bishnu Gogoi

IPC分类号： C30B33/00

CPC分类号： H01L23/544 ,  H01L2223/54453 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： The invention relates to inter-level realignment after a stage of epitaxy on a face (31) of a substrate (30), comprising the production of at least one initial guide mark (32) on the face of the substrate, this initial guide mark being designed so as to be transferred, during epitaxy, onto the surface of the epitaxied layer (36). The initial guide mark (32) is produced in such a way that, during epitaxy, its edges create growth defects that propagate as far as the surface of the epitaxied layer (36) to provide a transferred guide mark (37) on the surface of the epitaxied layer (36) reproducing the shape of the initial guide mark (32) and in alignment with the initial guide mark.

摘要翻译： 本发明涉及在衬底（30）的表面（31）上的外延阶段之后的级间重新对准，包括在衬底的表面上产生至少一个初始引导标记（32），该初始引导标记 被设计成在外延期间被转移到所述表面层（36）的表面上。 产生初始指引标记（32），使得在外延期间，其边缘产生生长缺陷，该生长缺陷传播到所述表面层（36）的表面，以在所述表面的表面上提供转移的引导标记（37） 所述表面层（36）再现所述初始引导标记（32）的形状并与所述初始引导标记对准。

公开(公告)号：US20070090474A1

公开(公告)日：2007-04-26

申请号：US11222547

申请日：2005-09-08

申请人： Gary Li ,  Bishnu Gogoi ,  Hemant Desai ,  Jonathan Hammond ,  Bernard Diem

发明人： Gary Li ,  Bishnu Gogoi ,  Hemant Desai ,  Jonathan Hammond ,  Bernard Diem

IPC分类号： H01L29/82

CPC分类号： B81B3/0078 ,  B81B2203/0118 ,  B81C2201/0109 ,  B81C2201/0167

摘要： A MEMS device and method of fabrication including a plurality of structural tie bars for added structural integrity. The MEMS device includes an active layer and a substrate having an insulating material formed therebetween, first and second pluralities of stationary electrodes and a plurality of moveable electrodes in the active layer. A plurality of interconnects are electrically coupled to a second surface of each of the first and second pluralities of stationary electrodes. A plurality of anchors fixedly attach a first surface of each of the first and second pluralities of stationary electrodes to the substrate. A first structural tie bar couples a second surface of each of the first plurality of stationary electrodes and a second structural tie bar couples a second surface of each of the second plurality of stationary electrodes.

摘要翻译： 一种MEMS器件和制造方法，包括多个用于增加结构完整性的结构连接条。 MEMS器件包括有源层和在其间形成有绝缘材料的衬底，第一和第二多个固定电极以及有源层中的多个可移动电极。 多个互连件电耦合到第一和第二多个固定电极中的每一个的第二表面。 多个锚固体将第一和第二多个固定电极中的每一个的第一表面固定地附接到基板。 第一结构连接杆联接第一多个固定电极中的每一个的第二表面，并且第二结构连接条连接第二多个固定电极中的每一个的第二表面。

公开(公告)号：US20060144143A1

公开(公告)日：2006-07-06

申请号：US11029951

申请日：2005-01-04

申请人： Bishnu Gogoi ,  Bernard Diem

发明人： Bishnu Gogoi ,  Bernard Diem

IPC分类号： G01P3/44

CPC分类号： B81B7/0058 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814

摘要： A microelectromechanical (MEM) device includes a substrate, a structure, a travel stop, and a protective cap. The substrate has a surface, and the structure is coupled to, and movably suspended above, the substrate surface. The structure has at least an outer surface, and the travel stop coupled to the structure outer surface and movable therewith. The travel stop includes at least an inner peripheral surface that defines a cavity. The protective cap is coupled to the substrate and includes a stop section that is disposed at least partially within the travel stop cavity and is spaced apart from the travel stop inner peripheral surface. The travel stop and the protective cap stop section together limit movement of the structure in at least three orthogonal axes.

摘要翻译： 微机电（MEM）装置包括基板，结构，行驶挡块和保护盖。 衬底具有表面，并且该结构耦合到衬底表面并且可移动地悬挂在衬底表面上方。 该结构至少具有外表面，并且行进止动件联接到结构外表面并随其移动。 移动止动件至少包括限定空腔的内周表面。 保护盖联接到基板并且包括至少部分地设置在行进止动腔内并且与行进止动件内周面间隔开的止动部。 行程挡块和保护盖止动部分一起限制了至少三个正交轴的结构运动。

公开(公告)号：US5965968A

公开(公告)日：1999-10-12

申请号：US836898

申请日：1997-07-01

申请人： Philippe Robert ,  Jean-Sebastien Danel ,  Bernard Diem

发明人： Philippe Robert ,  Jean-Sebastien Danel ,  Bernard Diem

IPC分类号： H01L21/302 ,  H01L21/306 ,  H01L21/3065 ,  H02N1/00

CPC分类号： H02N1/006

摘要： An electrostatic motor and its method of production.This electric motor, comprising a fixed part (200, 204, 206, 208) called a stator with a deformable resilient membrane (208) and a moving part (230) called a rotor arranged on the membrane (208) and driven by deformation waves from the resilient membrane, is characterised in that it includes electrostatic means (204, 205) for deforming the membrane (208).

摘要翻译： PCT No.PCT / FR95 / 01578 Sec。 371日期1997年7月1日 102（e）日期1997年7月1日PCT提交1995年11月29日PCT公布。 公开号WO96 / 17430 日期1996年6月6日静电电动机及其生产方法。 该电动机包括称为具有可变形弹性膜（208）的定子的固定部分（200,204,206,208）和称为转子的可移动部分（230），所述转子布置在膜（208）上并由变形波驱动 弹性膜的特征在于它包括用于使膜（208）变形的静电装置（204,205）。