公开(公告)号：US4522862A

公开(公告)日：1985-06-11

申请号：US445557

申请日：1982-11-30

申请人： Erich Bayer ,  Anton Beckerbauer ,  Georg Flatscher ,  Martin Ullrich

发明人： Erich Bayer ,  Anton Beckerbauer ,  Georg Flatscher ,  Martin Ullrich

IPC分类号： G09B29/00 ,  B42D15/00 ,  B44F1/02 ,  G02B5/28 ,  G03C1/72 ,  G03C7/00 ,  G03F1/08 ,  G03F7/095 ,  G11B7/24 ,  B32B3/00 ,  G03C5/00

CPC分类号： G03F7/095 ,  G03C7/00 ,  Y10S428/913 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/24917

摘要： A recording medium with a multicolor high resolution pattern created by layer packs. Pattern-forming layers of the layer packs are successively applied by photolithographic means in a sequence corresponding to a color of the high resolution pattern. The pattern-forming layers of the layer packs are separate from one another on the substrate of the recording medium.The process for producing the recording medium includes applying a photoresist layer to a substrate and developing the photoresist. Pattern-forming layers are successively applied over the whole surface of the substrate in a sequence corresponding to a color. The remaining photoresist and the layers overlying it are removed to leave a sequence of pattern-forming layers on the substrate separate from any adjacent pattern-forming layers.

摘要翻译： 具有由层包制成的多色高分辨率图案的记录介质。 通过光刻装置以对应于高分辨率图案的颜色的顺序连续施加层包装图案形成层。 层包装的图案形成层在记录介质的基板上彼此分离。 制造记录介质的方法包括将光致抗蚀剂层施加到基底上并显影光致抗蚀剂。 图案形成层以对应于颜色的顺序依次施加在基板的整个表面上。 去除剩余的光致抗蚀剂和覆盖在其上的层，以在衬底上分离出与任何相邻图案形成层分离的一系列图案形成层。