公开(公告)号：US08143594B2

公开(公告)日：2012-03-27

申请号：US12658507

申请日：2010-02-05

申请人： Heinz Wanzenboeck ,  Wolfram Buehler ,  Holger Doemer ,  Carl Kuebler ,  Daniel Fischer ,  Gottfried Hochleitner ,  Emmerich Bertagnolli

发明人： Heinz Wanzenboeck ,  Wolfram Buehler ,  Holger Doemer ,  Carl Kuebler ,  Daniel Fischer ,  Gottfried Hochleitner ,  Emmerich Bertagnolli

IPC分类号： G01N1/04 ,  G21K5/08 ,  C23C16/48

CPC分类号： G01N1/28 ,  G01N1/286 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

摘要： A process of preparing a lamella from a substrate includes manufacturing a protection strip on an edge portion of the lamella to be prepared from the substrate, and preparing the lamella, wherein the manufacturing the protection strip includes a first phase of activating a surface area portion of the substrate, and a second phase of electron beam assisted deposition of the protective strip on the activated surface area portion from the gas phase.

摘要翻译： 从衬底制备薄片的方法包括在待从衬底制备的薄片的边缘部分上制造保护条，并制备薄片，其中制造保护条包括激活第一阶段的第一阶段 衬底以及电子束辅助沉积在气相的活化表面积部分上的保护带的第二相。

公开(公告)号：US20130323937A1

公开(公告)日：2013-12-05

申请号：US13905085

申请日：2013-05-29

申请人： Carl Kuebler

发明人： Carl Kuebler

IPC分类号： H01L21/268

CPC分类号： H01L21/268 ,  B23K26/0608 ,  B23K26/0676 ,  B23K26/082 ,  B23K26/1224 ,  B23K26/36 ,  B23K26/361 ,  B23K26/362 ,  B23K26/40 ,  B23K2103/52 ,  H01J2237/30433 ,  H01J2237/31745 ,  H01L22/12

摘要： A processing system for forming a cross-section of an object. The processing system comprises a focused ion beam system for forming the cross-section from a pre-prepared surface region of the object and a laser and a light optical system for forming the pre-prepared surface region by laser ablation of a processing region of the object with a first and a second laser beam. The light optical system is configured to direct the first and the second laser beams onto common impingement locations of a common scanning line in the processing region for scanning the first laser beam and for scanning the second laser beam. For each of the impingement locations, an angle between a first incidence direction along an axis of the first laser beam and a second incidence direction along an axis of the second laser beam is greater than 10 degrees,

摘要翻译： 一种用于形成物体的横截面的处理系统。 处理系统包括聚焦离子束系统，用于从物体的预制表面区域形成横截面，激光和光学系统用于通过激光烧蚀来形成预制表面区域 物体具有第一和第二激光束。 光学系统被配置为将第一和第二激光束引导到处理区域中的公共扫描线的共同冲击位置上，用于扫描第一激光束并用于扫描第二激光束。 对于每个冲击位置，沿着第一激光束的轴线的第一入射方向和沿着第二激光束的轴线的第二入射方向之间的角度大于10度，

公开(公告)号：US20120187291A1

公开(公告)日：2012-07-26

申请号：US13428054

申请日：2012-03-23

申请人： Heinz Wanzenboeck ,  Wolfram Buehler ,  Holger Doemer ,  Carl Kuebler ,  Daniel Fischer ,  Gottfried Hochleitner ,  Emmerich Bertagnolli

发明人： Heinz Wanzenboeck ,  Wolfram Buehler ,  Holger Doemer ,  Carl Kuebler ,  Daniel Fischer ,  Gottfried Hochleitner ,  Emmerich Bertagnolli

IPC分类号： C23C16/50 ,  G21K5/00 ,  C23C16/02

CPC分类号： G01N1/28 ,  G01N1/286 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

摘要： A process of preparing a lamella from a substrate includes manufacturing a protection strip on an edge portion of the lamella to be prepared from the substrate, and preparing the lamella, wherein the manufacturing the protection strip includes a first phase of activating a surface area portion of the substrate, and a second phase of electron beam assisted deposition of the protective strip on the activated surface area portion from the gas phase.

摘要翻译： 从衬底制备薄片的方法包括在待从衬底制备的薄片的边缘部分上制造保护条，并制备薄片，其中制造保护条包括激活第一阶段的第一阶段 衬底以及电子束辅助沉积在气相的活化表面积部分上的保护带的第二相。

公开(公告)号：US20100276607A1

公开(公告)日：2010-11-04

申请号：US12658507

申请日：2010-02-05

申请人： Heinz Wanzenboeck ,  Wolfram Buehler ,  Holger Doemer ,  Carl Kuebler ,  Daniel Fischer ,  Gottfried Hochleitner ,  Emmerich Bertagnolli

发明人： Heinz Wanzenboeck ,  Wolfram Buehler ,  Holger Doemer ,  Carl Kuebler ,  Daniel Fischer ,  Gottfried Hochleitner ,  Emmerich Bertagnolli

IPC分类号： G21K5/08 ,  C23C16/06 ,  C23C16/02 ,  C23C16/48

CPC分类号： G01N1/28 ,  G01N1/286 ,  H01J37/26 ,  H01J37/261 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/31745 ,  H01J2237/31749

摘要： A process of preparing a lamella from a substrate includes manufacturing a protection strip on an edge portion of the lamella to be prepared from the substrate, and preparing the lamella, wherein the manufacturing the protection strip includes a first phase of activating a surface area portion of the substrate, and a second phase of electron beam assisted deposition of the protective strip on the activated surface area portion from the gas phase.

摘要翻译： 从衬底制备薄片的方法包括在待从衬底制备的薄片的边缘部分上制造保护条，并制备薄片，其中制造保护条包括激活第一阶段的第一阶段 衬底以及电子束辅助沉积在气相的活化表面积部分上的保护带的第二相。