公开(公告)号：US20090026587A1

公开(公告)日：2009-01-29

申请号：US10597038

申请日：2004-01-14

申请人： Matthew Angyal ,  Habib Hichri ,  Henry A. Nye, III ,  Dale McHerron ,  Jia Lee

发明人： Matthew Angyal ,  Habib Hichri ,  Henry A. Nye, III ,  Dale McHerron ,  Jia Lee

IPC分类号： H01L23/58 ,  H01L21/31

CPC分类号： H01L21/31633 ,  C23C16/401 ,  C23C16/45523 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02164 ,  H01L21/022 ,  H01L21/02211 ,  H01L21/02216 ,  H01L21/02274

摘要： A dielectric layer for a semiconductor device having a low overall dielectric constant, good adhesion to the semiconductor substrate, and good resistance to cracking due to thermal cycling. The dielectric layer is made by a process involving continuous variation of dielectric material deposition conditions to provide a dielectric layer having a gradient of dielectric constant.

摘要翻译： 用于半导体器件的电介质层，其具有低的总体介电常数，对半导体衬底的良好的粘附性，以及由于热循环而具有良好的耐开裂性。 通过涉及介电材料沉积条件的连续变化以提供具有介电常数梯度的电介质层的工艺来制造电介质层。

公开(公告)号：US20070174796A1

公开(公告)日：2007-07-26

申请号：US11336524

申请日：2006-01-20

申请人： Matthew Angyal ,  Giovanni Fiorenza ,  Habib Hichri ,  Andrew Lu ,  Dale McHerron ,  Conal Murray

发明人： Matthew Angyal ,  Giovanni Fiorenza ,  Habib Hichri ,  Andrew Lu ,  Dale McHerron ,  Conal Murray

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/50

摘要： A system, a method and a computer program product for analyzing a circuit design provide for discretizing the circuit design into a series of pixels. A fraction of at least one constituent material is determined for each pixel. A deflection is also determined for each pixel. The deflection is predicated upon a planarizing of the pixel, and it is calculated while utilizing an algorithm that includes the fraction of the at least one constituent material. A series of deflections for the series of pixels may be mapped and evaluated.

摘要翻译： 用于分析电路设计的系统，方法和计算机程序产品提供将电路设计离散成一系列像素。 确定每个像素的至少一个构成材料的一部分。 还为每个像素确定偏转。 该偏转基于像素的平面化，并且在利用包括至少一个构成材料的分数的算法的同时进行计算。 可以映射和评估一系列像素的一系列偏转。