公开(公告)号：US20110296360A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：US12788789

申请日：2010-05-27

申请人： Dio WANG ,  Ken-Hsien HSIEH ,  Huang-Yu CHEN ,  Li-Chun TIEN ,  Ru-Gun LIU ,  Lee-Chung LU

发明人： Dio WANG ,  Ken-Hsien HSIEH ,  Huang-Yu CHEN ,  Li-Chun TIEN ,  Ru-Gun LIU ,  Lee-Chung LU

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G03F1/00 ,  G06F17/5077 ,  G06F2217/12 ,  G21K5/00

摘要： A method and system checks a double patterning layout and outputs a representation of G0-rule violations and critical G0-spaces. The method includes receiving layout data having patterns, determining whether each distance between adjacent pattern elements is a G0-space, find all G0-space forming a G0-rule violation, finding all G0-space that are critical G0-spaces, and outputting a representation of G0-rule violations and critical G0-spaces to an output device. By resolving G0-rule violations and critical G0-spaces, a design checker can effectively generate a double patterning technology (DPT) compliant layout.

摘要翻译： 一种方法和系统检查双重图案化布局，并输出G0规则违规和关键G0空格的表示。 该方法包括接收具有图案的布局数据，确定相邻图案元素之间的每个距离是否是G0空间，找到形成G0规则违例的所有G0空间，找到作为关键G0空间的所有G0空间，并输出 将G0规则违规和关键G0空格表示为输出设备。 通过解决G0规则违规和关键G0空间，设计检查器可以有效地生成符合双图案技术（DPT）的布局。

公开(公告)号：US08365102B2

公开(公告)日：2013-01-29

申请号：US12788789

申请日：2010-05-27

申请人： Dio Wang ,  Ken-Hsien Hsieh ,  Huang-Yu Chen ,  Li-Chun Tien ,  Ru-Gun Liu ,  Lee-Chung Lu

发明人： Dio Wang ,  Ken-Hsien Hsieh ,  Huang-Yu Chen ,  Li-Chun Tien ,  Ru-Gun Liu ,  Lee-Chung Lu

IPC分类号： G06F17/50

CPC分类号： G06F17/5081 ,  G03F1/00 ,  G06F17/5077 ,  G06F2217/12 ,  G21K5/00

摘要： A method and system checks a double patterning layout and outputs a representation of G0-rule violations and critical G0-spaces. The method includes receiving layout data having patterns, determining whether each distance between adjacent pattern elements is a G0-space, find all G0-space forming a G0-rule violation, finding all G0-space that are critical G0-spaces, and outputting a representation of G0-rule violations and critical G0-spaces to an output device. By resolving G0-rule violations and critical G0-spaces, a design checker can effectively generate a double patterning technology (DPT) compliant layout.

摘要翻译： 一种方法和系统检查双重图案化布局，并输出G0规则违规和关键G0空格的表示。 该方法包括接收具有图案的布局数据，确定相邻图案元素之间的每个距离是否是G0空间，找到形成G0规则违例的所有G0空间，找到作为关键G0空间的所有G0空间，并输出 将G0规则违规和关键G0空格表示为输出设备。 通过解决G0规则违规和关键G0空间，设计检查器可以有效地生成符合双图案技术（DPT）的布局。