公开(公告)号：US20130312666A1

公开(公告)日：2013-11-28

申请号：US13549929

申请日：2012-07-16

申请人： Yu-Chiu Shih ,  Hsiu-Po Liu

发明人： Yu-Chiu Shih ,  Hsiu-Po Liu

IPC分类号： C23C16/458

CPC分类号： B05C3/18 ,  B05C3/109 ,  B05C9/08 ,  B05D1/18 ,  B05D2252/00 ,  C23C18/02 ,  C23C18/06 ,  C23C18/1614 ,  C23C18/1619 ,  H01L21/67126 ,  H01L21/6719

摘要： An apparatus for depositing a thin film basically consists of a base, two lateral boards and two sealing members to form a closed chamber therein. Each lateral board is provided with a substrate on an inner side thereof. Each substrate has a side in contact with a chemical solution in the chamber to deposit a thin film on the side of the substrate through a chemical reaction.

摘要翻译： 用于沉积薄膜的装置基本上由基底，两个侧板和两个密封构件组成，以在其中形成封闭室。 每个侧板在其内侧设置有基板。 每个衬底具有与室中的化学溶液接触的一侧，以通过化学反应在衬底的侧面上沉积薄膜。

公开(公告)号：US20130312661A1

公开(公告)日：2013-11-28

申请号：US13550320

申请日：2012-07-16

申请人： YU-CHIU SHIH ,  HSIU-PO LIU

发明人： YU-CHIU SHIH ,  HSIU-PO LIU

IPC分类号： C03C17/00

CPC分类号： C03C17/001 ,  B05C3/005 ,  B05C3/109 ,  B05C9/04 ,  B05C9/08 ,  B05D1/18 ,  B05D1/34 ,  B05D2203/35 ,  B05D2252/10 ,  C03C17/002

摘要： A barrier type deposition apparatus has a barrier in a closed chamber of a base to separate the chamber into two depositing rooms. The deposition apparatus may deposits a thin film on a side of a glass substrate, which is a part of the deposition apparatus. While the barrier is another glass substrate, it may deposit two different thin films respectively on opposite sides of the glass substrate in the same time.

摘要翻译： 屏障型沉积装置在基座的封闭室中具有隔离物，以将室分离成两个存放室。 沉积设备可以在作为沉积设备的一部分的玻璃基底的一侧上沉积薄膜。 虽然屏障是另一个玻璃基板，但它可以在同一时间分别在玻璃基板的相对两侧沉积两个不同的薄膜。