公开(公告)号：US06774374B1

公开(公告)日：2004-08-10

申请号：US09551323

申请日：2000-04-17

申请人： Johannes C. Driessen ,  Theodorus H. J. Bisschops ,  Jakob Vijfvinkel ,  Marinus J. J. Dona ,  Mark T. Meuwese ,  Ronald M. Schneider ,  Michel A. Mors ,  Hugo M. Visser

发明人： Johannes C. Driessen ,  Theodorus H. J. Bisschops ,  Jakob Vijfvinkel ,  Marinus J. J. Dona ,  Mark T. Meuwese ,  Ronald M. Schneider ,  Michel A. Mors ,  Hugo M. Visser

IPC分类号： G03B2754

CPC分类号： F16C29/025 ,  F16C32/0603 ,  F16C33/748 ,  F16C2300/62 ,  G03F7/70691 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70841 ,  G03F7/709

摘要： A reference frame provided in a vacuum chamber is supported by support pillars extending through and isolated from the vacuum chamber walls to isolate the reference frame from vibrations in the vacuum chamber. The gap between the support pillar and the vacuum chamber wall may be sealed by a low-stiffness seal. The low stiffness seal may be a three part seal allowing relative motion in six-degrees of freedom.

摘要翻译： 设置在真空室中的参考框架由延伸穿过真空室壁并与真空室壁隔离的支撑柱支撑，以使参考系与真空室中的振动隔离。 支撑柱和真空室壁之间的间隙可以通过低刚度密封来密封。 低刚度密封件可以是允许六自由度相对运动的三部分密封件。