公开(公告)号：US20080007844A1

公开(公告)日：2008-01-10

申请号：US11896981

申请日：2007-09-07

申请人： Haico Kok ,  Marcus Van De Kerhof ,  Borgert Kruizinga ,  Timotheus Sengers ,  Bearrach Moest ,  Marc Haast ,  Peter Weissbrodt ,  Manfred Schrenk ,  Torsten Harzendorf

发明人： Haico Kok ,  Marcus Van De Kerhof ,  Borgert Kruizinga ,  Timotheus Sengers ,  Bearrach Moest ,  Marc Haast ,  Peter Weissbrodt ,  Manfred Schrenk ,  Torsten Harzendorf

IPC分类号： G02B3/08

CPC分类号： G03F7/7085

摘要： A sensor for use at substrate level in a high numerical aperature lithographic apparatus, the sensor having a transparent plate that covers a sensing element and includes elements that improve coupling of radiation into the sensing element. The elements include Fresnel lenses, holographic optical elements, inverted Winston Cones, spherical lenses and surface roughening.

公开(公告)号：US06324897B1

公开(公告)日：2001-12-04

申请号：US09686118

申请日：2000-10-11

申请人： Manfred Schrenk ,  Peter Weissbrodt ,  Erich Hacker ,  Dirk Mademann

发明人： Manfred Schrenk ,  Peter Weissbrodt ,  Erich Hacker ,  Dirk Mademann

IPC分类号： G01N700

CPC分类号： G01N21/783 ,  G01N21/45 ,  G01N2021/7773 ,  G01N2021/7776 ,  G01N2021/7779

摘要： A partial pressure sensor is disclosed which is suitable for determining the partial pressure of a gas or vapor in a thermally uncontrolled gas atmosphere over a large measurement range and with high measuring accuracy.

摘要翻译： 公开了一种分压传感器，其适用于在大的测量范围和高测量精度下确定热不受控气体气氛中的气体或蒸气的分压。

公开(公告)号：US07453078B2

公开(公告)日：2008-11-18

申请号：US11896981

申请日：2007-09-07

申请人： Haico Victor Kok ,  Marcus Adrianus Van De Kerhof ,  Borgert Kruizinga ,  Timotheus Franciscus Sengers ,  Bearrach Moest ,  Marc Antonius Maria Haast ,  Peter Weissbrodt ,  Manfred Schrenk ,  Torsten Harzendorf

发明人： Haico Victor Kok ,  Marcus Adrianus Van De Kerhof ,  Borgert Kruizinga ,  Timotheus Franciscus Sengers ,  Bearrach Moest ,  Marc Antonius Maria Haast ,  Peter Weissbrodt ,  Manfred Schrenk ,  Torsten Harzendorf

IPC分类号： G01N21/84 ,  G03B27/42

CPC分类号： G03F7/7085

摘要： A sensor for use at substrate level in a high numerical aperature lithographic apparatus, the sensor having a transparent plate that covers a sensing element and includes elements that improve coupling of radiation into the sensing element. The elements include Fresnel lenses, holographic optical elements, inverted Winston Cones, spherical lenses and surface roughening.

摘要翻译： 一种用于高数值温度光刻设备中的衬底级别的传感器，该传感器具有覆盖感测元件的透明板，并且包括改善辐射与感测元件的耦合的元件。 元件包括菲涅尔透镜，全息光学元件，倒置的温斯顿锥体，球面透镜和表面粗糙化。

公开(公告)号：US07282701B2

公开(公告)日：2007-10-16

申请号：US11067491

申请日：2005-02-28

申请人： Haico Victor Kok ,  Marcus Adrianus Van De Kerhof ,  Borgert Kruizinga ,  Timotheus Franciscus Sengers ,  Bearrach Moest ,  Marc Antonius Maria Haast ,  Peter Weissbrodt ,  Manfred Schrenk ,  Torsten Harzendorf

发明人： Haico Victor Kok ,  Marcus Adrianus Van De Kerhof ,  Borgert Kruizinga ,  Timotheus Franciscus Sengers ,  Bearrach Moest ,  Marc Antonius Maria Haast ,  Peter Weissbrodt ,  Manfred Schrenk ,  Torsten Harzendorf

IPC分类号： H01J3/14 ,  H01J5/16 ,  H01J40/14

CPC分类号： G03F7/7085

摘要： A sensor for use at substrate level in a high numerical aperature lithographic apparatus, the sensor having a transparent plate that covers a sensing element and includes elements that improve coupling of radiation into the sensing element. The elements include Fresnel lenses, holographic optical elements, inverted Winston Cones, spherical lenses and surface roughening.

摘要翻译： 一种用于高数值温度光刻设备中的衬底级别的传感器，该传感器具有覆盖感测元件的透明板，并且包括改善辐射与感测元件的耦合的元件。 元件包括菲涅尔透镜，全息光学元件，倒置的温斯顿锥体，球面透镜和表面粗糙化。

公开(公告)号：US20070108377A1

公开(公告)日：2007-05-17

申请号：US11591674

申请日：2006-11-02

申请人： Haico Kok ,  Marcus Van De Kerkhof ,  Borgert Kruizinga ,  Timotheus Sengers ,  Bearrach Moest ,  Marc Antonius Haast ,  Peter Weissbrodt ,  Manfred Helmut Gustav Schrenk ,  Torsten Harzendorf

发明人： Haico Kok ,  Marcus Van De Kerkhof ,  Borgert Kruizinga ,  Timotheus Sengers ,  Bearrach Moest ,  Marc Antonius Haast ,  Peter Weissbrodt ,  Manfred Helmut Gustav Schrenk ,  Torsten Harzendorf

IPC分类号： H01J40/14 ,  H01J3/14 ,  H01J5/16

CPC分类号： G03F7/7085

摘要： A sensor for use at substrate level in a high numerical aperture lithographic apparatus, the sensor having a transparent plate that covers a sensing element and includes elements that improve coupling of radiation into the sensing element. The improved coupling elements include a flowing liquid medium disposed between the transparent plate and the sensing element.

摘要翻译： 一种用于高数值孔径光刻设备中的衬底级别的传感器，该传感器具有覆盖感测元件的透明板，并且包括改善辐射与感测元件的耦合的元件。 改进的耦合元件包括设置在透明板和感测元件之间的流动液体介质。

公开(公告)号：US20060192093A1

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：US11067491

申请日：2005-02-28

申请人： Haico Kok ,  Marcus Van De Kerhof ,  Borgert Kruizinga ,  Timotheus Sengers ,  Bearrach Moest ,  Marc Haast ,  Peter Weissbrodt ,  Manfred Schrenk ,  Torsten Harzendorf

发明人： Haico Kok ,  Marcus Van De Kerhof ,  Borgert Kruizinga ,  Timotheus Sengers ,  Bearrach Moest ,  Marc Haast ,  Peter Weissbrodt ,  Manfred Schrenk ,  Torsten Harzendorf

IPC分类号： H01J5/16 ,  H01J40/14

CPC分类号： G03F7/7085

摘要： A sensor for use at substrate level in a high numerical aperature lithographic apparatus, the sensor having a transparent plate that covers a sensing element and includes elements that improve coupling of radiation into the sensing element. The elements include Fresnel lenses, holographic optical elements, inverted Winston Cones, spherical lenses and surface roughening.

摘要翻译： 一种用于高数值温度光刻设备中的衬底级别的传感器，该传感器具有覆盖感测元件的透明板，并且包括改善辐射与感测元件的耦合的元件。 元件包括菲涅尔透镜，全息光学元件，倒置的温斯顿锥体，球面透镜和表面粗糙化。