公开(公告)号：US20120101290A1

公开(公告)日：2012-04-26

申请号：US13279957

申请日：2011-10-24

申请人： Ryuuichi SAITOU ,  Kang-go Chung ,  Hideki Nishimura ,  Tatsuya Sakai ,  Sanshiro Komiya ,  Naoto Noda ,  Maki Nishiguchi

发明人： Ryuuichi SAITOU ,  Kang-go Chung ,  Hideki Nishimura ,  Tatsuya Sakai ,  Sanshiro Komiya ,  Naoto Noda ,  Maki Nishiguchi

IPC分类号： C07F15/00

CPC分类号： C07F17/02 ,  C07F15/0046 ,  C07F15/0053

摘要： A method for producing ruthenium compound including the step of reacting a compound represented by General Formula (1): RuL02 (wherein L0 represents an unsaturated hydrocarbon compound having 4 to 10 carbon atoms and at least two double bonds) with trifluorophosphine or reacting the compound represented by General Formula (1) with trifluorophosphine, and hydrogen or a halogen to obtain a compound represented by General Formula (2): Ru(PF3)l(L1)m(L2)n (wherein L1 represents a hydrogen atom or halogen atom, L2 represents an unsaturated hydrocarbon compound having 4 to 10 carbon atoms and at least two double bonds, 1 is an integer from 1 to 5, m is an integer from 0 to 4, and n is an integer from 0 to 2, provided that l+m+2n=5 or 6). With this method, a trifluorophosphine-ruthenium compound can be synthesized under low-temperature and low-pressure conditions.

摘要翻译： 一种制备钌化合物的方法，包括使通式（1）表示的化合物：RuL02（其中L0表示具有4-10个碳原子和至少两个双键的不饱和烃化合物）与三氟化膦反应的步骤或使表示的化合物 通式（1）表示的化合物和氢或卤素，得到通式（2）表示的化合物：Ru（PF 3）l（L1）m（L2）n（其中，L 1表示氢原子或卤素原子， L2表示具有4至10个碳原子和至少两个双键的不饱和烃化合物，1是1至5的整数，m是0至4的整数，n是0至2的整数，条件是l + m + 2n = 5或6）。 通过该方法，可以在低温低压条件下合成三氟化膦 - 钌化合物。

公开(公告)号：US08440260B2

公开(公告)日：2013-05-14

申请号：US12933127

申请日：2008-09-04

申请人： Tatsuya Sakai ,  Sanshiro Komiya ,  Naofumi Nomura

发明人： Tatsuya Sakai ,  Sanshiro Komiya ,  Naofumi Nomura

IPC分类号： C23C16/00 ,  C07F15/00

CPC分类号： C07F15/0053 ,  C23C16/18 ,  H01L21/02304 ,  H01L21/02362 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/76843 ,  H01L28/65

摘要： A diruthenium complex such as tetra(μ-formato)diruthenium(II,II) or tetra(μ-formato)(dehydrate)diruthenium(II,II), a material for chemical vapor deposition which comprises the complex, and a method of forming a ruthenium film from the material by chemical vapor deposition.

摘要翻译： 二钌络合物如四（mu格）二钌（II，II）或四（mu格）（脱水）二钌（II，II）），一种包含该络合物的化学气相沉积材料，以及一种形成 通过化学气相沉积从该材料制成的钌膜。

公开(公告)号：US20110129602A1

公开(公告)日：2011-06-02

申请号：US12933127

申请日：2008-09-04

申请人： Tatsuya Sakai ,  Sanshiro Komiya ,  Naofumi Nomura

发明人： Tatsuya Sakai ,  Sanshiro Komiya ,  Naofumi Nomura

IPC分类号： C23C16/06 ,  C07F15/00

CPC分类号： C07F15/0053 ,  C23C16/18 ,  H01L21/02304 ,  H01L21/02362 ,  H01L21/28556 ,  H01L21/76843 ,  H01L28/65

摘要： A diruthenium complex such as tetra(μ-formato)diruthenium(II,II) or tetra(μ-formato)(dehydrate)diruthenium(II,II), a material for chemical vapor deposition which comprises the complex, and a method of forming a ruthenium film from the material by chemical vapor deposition.

摘要翻译： 四（μ-格式）二钌（II，II）或四（μ-格式）（脱水）二钌（II，II）的二钌络合物，包含该络合物的化学气相沉积材料，以及形成 通过化学气相沉积从该材料制成的钌膜。

公开(公告)号：US08278471B2

公开(公告)日：2012-10-02

申请号：US13279957

申请日：2011-10-24

申请人： Ryuuichi Saitou ,  Kang-go Chung ,  Hideki Nishimura ,  Tatsuya Sakai ,  Sanshiro Komiya ,  Naoto Noda ,  Maki Nishiguchi

发明人： Ryuuichi Saitou ,  Kang-go Chung ,  Hideki Nishimura ,  Tatsuya Sakai ,  Sanshiro Komiya ,  Naoto Noda ,  Maki Nishiguchi

IPC分类号： C07F15/00

CPC分类号： C07F17/02 ,  C07F15/0046 ,  C07F15/0053

摘要： A method for producing ruthenium compound including the step of reacting a compound represented by General Formula (1): RuL02 (wherein L0 represents an unsaturated hydrocarbon compound having 4 to 10 carbon atoms and at least two double bonds) with trifluorophosphine or reacting the compound represented by General Formula (1) with trifluorophosphine, and hydrogen or a halogen to obtain a compound represented by General Formula (2): Ru(PF3)l(L1)m(L2)n (wherein L1 represents a hydrogen atom or halogen atom, L2 represents an unsaturated hydrocarbon compound having 4 to 10 carbon atoms and at least two double bonds, l is an integer from 1 to 5, m is an integer from 0 to 4, and n is an integer from 0 to 2, provided that l+m+2n=5 or 6). With this method, a trifluorophosphine-ruthenium compound can be synthesized under low-temperature and low-pressure conditions.

摘要翻译： 一种制备钌化合物的方法，包括使通式（1）表示的化合物：RuL02（其中L0表示具有4-10个碳原子和至少两个双键的不饱和烃化合物）与三氟化膦反应的步骤或使表示的化合物 通式（1）表示的化合物和氢或卤素，得到通式（2）表示的化合物：Ru（PF 3）l（L1）m（L2）n（其中，L 1表示氢原子或卤素原子， L2表示具有4-10个碳原子和至少两个双键的不饱和烃化合物，l是1至5的整数，m是0-4的整数，n是0-2的整数，条件是l + m + 2n = 5或6）。 通过该方法，可以在低温低压条件下合成三氟化膦 - 钌化合物。