公开(公告)号：US06698798B2

公开(公告)日：2004-03-02

申请号：US09835299

申请日：2001-04-12

申请人： Yu-Chong Tai ,  Tze-Jung Yao

发明人： Yu-Chong Tai ,  Tze-Jung Yao

IPC分类号： F16J1502

CPC分类号： B81B1/006 ,  B01J2219/00804 ,  B01L3/5027 ,  B01L3/565 ,  B01L2200/027 ,  B01L2300/0838 ,  B81B2201/058 ,  B81B2201/13 ,  F16J15/106

摘要： A micromachined O-ring is described. The O-ring can be formed for use in micromachined microfluidic devices.

摘要翻译： 描述了微加工O形环。 O形环可以形成用于微加工微流体装置。

公开(公告)号：US06787968B2

公开(公告)日：2004-09-07

申请号：US09682593

申请日：2001-09-25

申请人： Yu-Chong Tai ,  Tze-Jung Yao ,  Xing Yang

发明人： Yu-Chong Tai ,  Tze-Jung Yao ,  Xing Yang

IPC分类号： H02N100

CPC分类号： B81B3/001 ,  B81C2201/112

摘要： An anti stiction structure for cantilever formation technique. In one embodiment, the polymer cantilever is prevented from sticking to the substrate by at amortized stick layer on the substrate during formation that is later removed as a sacrificial layer. In another embodiment, the cantilever includes downwardly extending legs.

摘要翻译： 一种用于悬臂形成技术的反沉降结构。 在一个实施方案中，防止聚合物悬臂在形成期间在基板上的分段粘贴层处粘附到基板上，随后作为牺牲层去除。 在另一个实施例中，悬臂包括向下延伸的腿。