公开(公告)号：US20050252780A1

公开(公告)日：2005-11-17

申请号：US10845956

申请日：2004-05-14

申请人： Alexander Driskill-Smith ,  Hieu Lam ,  Kim Lee

发明人： Alexander Driskill-Smith ,  Hieu Lam ,  Kim Lee

IPC分类号： B05D5/12 ,  C25D3/56 ,  C25D5/02 ,  G11B5/855 ,  G11B5/858

CPC分类号： G11B5/855 ,  C25D3/562 ,  C25D5/022 ,  G11B5/858

摘要： The present invention discloses a method for the production of sub-micron structures on magnetic materials using electron beam lithography. A subtractive process is disclosed wherein a portion of a magnetic material layer is removed from the substrate using conventional lithography, and the remaining portion of the magnetic material layer is patterned by e-beam lithography. A additive process is also disclosed wherein a thin magnetic seed layer is deposited on the substrate, a portion of which is removed by conventional lithography and replaced with a non-magnetic conducting layer. The remaining portion of magnetic seed layer is patterned by e-beam lithography and the final magnetic structure produced by electroplating.

摘要翻译： 本发明公开了一种使用电子束光刻在磁性材料上生产亚微米结构的方法。 公开了一种消减方法，其中使用常规光刻将磁性材料层的一部分从衬底上除去，并且通过电子束光刻将磁性材料层的剩余部分图案化。 还公开了一种添加方法，其中将薄的磁性种子​​层沉积在基底上，其一部分通过常规的光刻法被去除并被非磁性导电层代替。 通过电子束光刻和通过电镀产生的最终磁性结构对磁性种子层的剩余部分进行构图。

公开(公告)号：US07643250B2

公开(公告)日：2010-01-05

申请号：US11340888

申请日：2006-01-27

申请人： Satoru Araki ,  Alexander Driskill-Smith ,  David Seagle ,  Xiao Wu

发明人： Satoru Araki ,  Alexander Driskill-Smith ,  David Seagle ,  Xiao Wu

IPC分类号： G11B5/60

CPC分类号： G11B5/3173 ,  G11B5/3166 ,  G11B5/3169 ,  G11B5/6005

摘要： One embodiment of the present invention provides a slider including a slider body, a magnetic reader disposed on the slider body, a magnetic writer disposed on the slider body, and an electronic lapping guide disposed on the slider body. The slider also includes a first row of contact pads disposed on the slider body and coupled to the magnetic reader and the magnetic writer and a second row of contact pads disposed on the slider body and coupled to the electronic lapping guide. The electronic lapping guide may be electrically isolated from the magnetic reader and magnetic writer.

摘要翻译： 本发明的一个实施例提供了一种滑块，其包括滑块体，设置在滑块主体上的磁读取器，设置在滑块体上的磁记录器，以及设置在滑块体上的电子研磨导轨。 滑块还包括设置在滑块主体上并耦合到磁性读取器和磁性写入器的第一排接触焊盘，以及布置在滑块主体上并耦合到电子研磨导轨的第二排接触焊盘。 电子研磨导轨可以与磁性读写器和磁性写入器电隔离。

公开(公告)号：US20070177305A1

公开(公告)日：2007-08-02

申请号：US11340888

申请日：2006-01-27

申请人： Satoru Araki ,  Alexander Driskill-Smith ,  David Seagle ,  Xiao Wu

发明人： Satoru Araki ,  Alexander Driskill-Smith ,  David Seagle ,  Xiao Wu

IPC分类号： G11B5/60

CPC分类号： G11B5/3173 ,  G11B5/3166 ,  G11B5/3169 ,  G11B5/6005

摘要： One embodiment of the present invention provides a slider including a slider body, a magnetic reader disposed on the slider body, a magnetic writer disposed on the slider body, and an electronic lapping guide disposed on the slider body. The slider also includes a first row of contact pads disposed on the slider body and coupled to the magnetic reader and the magnetic writer and a second row of contact pads disposed on the slider body and coupled to the electronic lapping guide. The electronic lapping guide may be electrically isolated from the magnetic reader and magnetic writer.

摘要翻译： 本发明的一个实施例提供了一种滑块，其包括滑块体，设置在滑块主体上的磁读取器，设置在滑块体上的磁记录器，以及设置在滑块体上的电子研磨导轨。 滑块还包括设置在滑块主体上并耦合到磁性读取器和磁性写入器的第一排接触焊盘，以及布置在滑块主体上并耦合到电子研磨导轨的第二排接触焊盘。 电子研磨导轨可以与磁性读写器和磁性写入器电隔离。