公开(公告)号：US08695990B2

公开(公告)日：2014-04-15

申请号：US13078391

申请日：2011-04-01

申请人： Bojko Vodanovic ,  Jakov Kogan ,  Marc Lévesque ,  Alexandr Filenkov

发明人： Bojko Vodanovic ,  Jakov Kogan ,  Marc Lévesque ,  Alexandr Filenkov

IPC分类号： B23B31/30

CPC分类号： H01L21/6838

摘要： An apparatus and method for securing a substantially circular wafer uses a chuck having a plurality of tensioning grooves each having at least one arcuate bend having a bend radius substantially less than an outer region radius, and a vacuum source interconnected with each of the grooves. When the wafer is placed upon the surface concentric with the chuck center and the vacuum source applied to the grooves, the wafer is held securely to the surface without distortion.

摘要翻译： 用于固定大致圆形晶片的装置和方法使用具有多个张紧槽的卡盘，每个张紧槽具有至少一个具有基本上小于外部区域半径的弯曲半径的弧形弯曲部，以及与每个凹槽相互连接的真空源。 当晶片被放置在与卡盘中心同心并且施加到凹槽的真空源的表面上时，晶片被牢固地保持在表面上而没有变形。

公开(公告)号：US08144968B2

公开(公告)日：2012-03-27

申请号：US12352362

申请日：2009-01-12

申请人： Bojko Vodanovic

发明人： Bojko Vodanovic

IPC分类号： G06K9/00

CPC分类号： G01B11/2518 ,  G01B11/0608 ,  G06T7/521 ,  G06T2207/30148

摘要： A method and apparatus for scanning and acquiring 3D profile line data of an object, illustratively for use in an optical inspection system. A 3D scanning subsystem is provided in relative movement to the object being scanned. The subsystem is capable of simultaneously scanning different regions of the object with different exposure lengths.

摘要翻译： 用于扫描和获取对象的3D轮廓线数据的方法和装置，其示例性地用于光学检查系统中。 提供3D扫描子系统，以与被扫描的物体相对运动。 该子系统能够以不同的曝光长度同时扫描物体的不同区域。

公开(公告)号：US20100177951A1

公开(公告)日：2010-07-15

申请号：US12352362

申请日：2009-01-12

申请人： Bojko Vodanovic

发明人： Bojko Vodanovic

IPC分类号： G06K9/00

CPC分类号： G01B11/2518 ,  G01B11/0608 ,  G06T7/521 ,  G06T2207/30148

摘要： A method and apparatus for scanning and acquiring 3D profile line data of an object, illustratively for use in an optical inspection system. A 3D scanning subsystem is provided in relative movement to the object being scanned. The subsystem is capable of simultaneously scanning different regions of the object with different exposure lengths.

摘要翻译： 用于扫描和获取对象的3D轮廓线数据的方法和装置，其示例性地用于光学检查系统中。 提供3D扫描子系统，以与被扫描的物体相对运动。 该子系统能够以不同的曝光长度同时扫描物体的不同区域。

公开(公告)号：US06885400B1

公开(公告)日：2005-04-26

申请号：US09522819

申请日：2000-03-10

申请人： Bojko Vodanovic

发明人： Bojko Vodanovic

IPC分类号： H04N5/3728 ,  G01B11/02 ,  G01B11/24 ,  G01B11/245 ,  H04N5/353 ,  H04N3/14

CPC分类号： G01B11/024 ,  H04N5/353 ,  H04N5/3728

摘要： The present invention provides a method and apparatus for increasing the frame acquisition rate of an frame transfer CCD sensor by triggering the charge transfer signal TR, which controls the shift of the electrical charges from the light-sensitive cells into the vertical shift register, more than once per frame period, so that more than one image is acquired in the same frame, one above the other. The apparatus is used primarily for surface geometry inspection of high-speed moving objects, wherein acquired CCD images are thin, substantially horizontal profile lines.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于通过触发电荷转移信号TR来增加帧传送CCD传感器的帧获取速率的方法和装置，该电荷传输信号TR控制从感光单元到垂直移位寄存器的电荷移位， 每帧周期一次，使得在同一帧中获取多于一个图像，一个高于另一个。 该装置主要用于高速移动物体的表面几何检查，其中获取的CCD图像是薄的，基本上水平的轮廓线。

公开(公告)号：US5406372A

公开(公告)日：1995-04-11

申请号：US048878

申请日：1993-04-16

申请人： Bojko Vodanovic ,  Michel Blanchard

发明人： Bojko Vodanovic ,  Michel Blanchard

IPC分类号： G01B11/24 ,  G01B11/245 ,  H01L21/66

CPC分类号： H01L22/12 ,  H01L2924/0002

摘要： The leads of a QFP are examined by an optical system. The optical system includes a sensor head having two lasers, the outputs of the lasers being fed to a beam splitter which provides outputs at right angles to each other, and a ring-light which is disposed under the beam splitter and in actual alignment with the beam splitter. The sensor head is carried by a carriage in a single plane along two transverse directions. The carriage moves the sensor heads so as to examine one lead at a time along the peripheral edges of the QFP.

摘要翻译： 通过光学系统检查QFP的引线。 光学系统包括具有两个激光器的传感器头，激光器的输出被馈送到彼此成直角地提供输出的分束器，以及设置在分束器下方并与实际对准的环形光 分束器。 传感器头沿着两个横向方向由一个平面承载。 滑架移动传感器头，以便沿着QFP的外围边缘一次检查一个引线。

公开(公告)号：US07551272B2

公开(公告)日：2009-06-23

申请号：US11269660

申请日：2005-11-09

申请人： Bojko Vodanovic

发明人： Bojko Vodanovic

IPC分类号： G01N21/00

CPC分类号： G01B11/0608 ,  G01N21/9501

摘要： The present invention relates to optical inspection of manufactured products, such as integrated circuits wafer bumps. There are provided methods and apparatus for acquisition of optical inspection data of said object, as well as for optical inspection and manufacturing of said object. The invention comprises a 2D optical scanning system and a 3D optical scanning system that can have common image trigger control and/or operate simultaneously without interference to have the same field of view.

摘要翻译： 本发明涉及制造产品的光学检查，例如集成电路晶片凸块。 提供了用于获取所述物体的光学检查数据以及所述物体的光学检查和制造的方法和装置。 本发明包括2D光学扫描系统和3D光学扫描系统，其可以具有共同的图像触发控制和/或同时操作而不受干扰以具有相同的视野。

公开(公告)号：US07535560B2

公开(公告)日：2009-05-19

申请号：US11678736

申请日：2007-02-26

申请人： Bojko Vodanovic

发明人： Bojko Vodanovic

IPC分类号： G01N21/00

CPC分类号： G01N21/95684 ,  G01B11/0608 ,  G01B11/24

摘要： The invention relates to optical inspection of integrated circuit devices, such as QFP and TSOP devices. There are provided methods of inspecting objects, such as integrated circuit devices, using a single laser triangulation system oriented in a fixed direction, where the given inspection system rotates the inspection tray for scanning the objects placed therein in different directions.

摘要翻译： 本发明涉及诸如QFP和TSOP器件的集成电路器件的光学检测。 提供了使用以固定方向取向的单个激光三角测量系统来检查诸如集成电路装置的物体的方法，其中给定的检查系统旋转检查盘以扫描在不同方向上放置的物体。

公开(公告)号：US20070103675A1

公开(公告)日：2007-05-10

申请号：US11269660

申请日：2005-11-09

申请人： Bojko Vodanovic

发明人： Bojko Vodanovic

IPC分类号： G01B11/30 ,  G01N21/00

CPC分类号： G01B11/0608 ,  G01N21/9501

摘要： The present invention relates to optical inspection of manufactured products, such as integrated circuits wafer bumps. There are provided methods and apparatus for acquisition of optical inspection data of said object, as well as for optical inspection and manufacturing of said object. The invention comprises a 2D optical scanning system and a 3D optical scanning system that can have common image trigger control and/or operate simultaneously without interference to have the same field of view.

摘要翻译： 本发明涉及制造产品的光学检查，例如集成电路晶片凸块。 提供了用于获取所述物体的光学检查数据以及所述物体的光学检查和制造的方法和装置。 本发明包括2D光学扫描系统和3D光学扫描系统，其可以具有共同的图像触发控制和/或同时操作而不受干扰以具有相同的视野。

公开(公告)号：US07012631B2

公开(公告)日：2006-03-14

申请号：US10244608

申请日：2002-09-17

申请人： Bojko Vodanovic

发明人： Bojko Vodanovic

IPC分类号： H04N7/18

CPC分类号： G01B11/024

摘要： For computing the absolute height, in a field of view of a CCD-based acquisition system, of the profile of an object moving on an assembly line, two CCD-based image acquisition devices are used. The consecutive acquired images of the two CCD-based image acquisition devices are shifted by a predefined number of lines. Using two relative heights, the absolute height of a feature located in the acquired images is computed.

摘要翻译： 为了计算绝对高度，在基于CCD的采集系统的视野中，使用在装配线上移动的物体的轮廓，使用两个基于CCD的图像采集装置。 两个基于CCD的图像采集装置的连续拍摄图像被移动预定数量的行。 使用两个相对高度，计算位于所获取的图像中的特征的绝对高度。

公开(公告)号：US06335757B1

公开(公告)日：2002-01-01

申请号：US08922026

申请日：1997-09-02

申请人： Bojko Vodanovic

发明人： Bojko Vodanovic

IPC分类号： H04N314

CPC分类号： G01B11/024 ,  H04N5/353 ,  H04N5/3728

摘要： The present invention provides a method and apparatus for increasing the frame acquisition rate of an interline transfer CCD sensor by triggering the charge transfer signal TR, which controls the shift of the electrical charges from the light-sensitive cells into the vertical shift register, more than once per frame period, so that more than one image is acquired in the same frame, one above the other. The apparatus is used primarily for surface geometry inspection of high-speed moving objects, wherein acquired CCD images are thin, substantially horizontal profile lines.

摘要翻译： 本发明提供了一种用于通过触发电荷传输信号TR来增加行间传送CCD传感器的帧获取速率的方法和装置，该电荷传输信号TR控制从感光单元到垂直移位寄存器的电荷移位， 每帧周期一次，使得在同一帧中获取多于一个图像，一个高于另一个。 该装置主要用于高速移动物体的表面几何检查，其中获取的CCD图像是薄的，基本上水平的轮廓线。