公开(公告)号：US6384615B2

公开(公告)日：2002-05-07

申请号：US81518201

申请日：2001-03-22

Applicant: CASCADE MICROTECH INC

Inventor： SCHWINDT RANDY

IPC: G01R1/073 ,  G01R1/067 ,  G01R19/00 ,  G01R31/28 ,  G01R35/00 ,  H01L21/66 ,  H01R11/18 ,  G01R1/06

CPC classification number: G01R1/067 ,  B82Y35/00 ,  G01R1/06705 ,  G01R1/06772 ,  G01R1/07342 ,  G01R1/18 ,  G01R19/0023 ,  G01R35/00 ,  H01R11/18

Abstract: A system for low-current testing of a test device includes a probing device for probing a probing site on the test device. The probing device includes a dielectric substrate having first and second sides, an elongate conductive path on the first side of the substrate, an elongate probing element connected to the elongate conductive path so as to extend in a cantilevered manner beyond the substrate, and a conductive area on the second side of the substrate. The probe housing is matingly detachably engageable with the probing device.

Abstract translation: 用于测试设备的低电流测试的系统包括用于探测测试设备上的探测位置的探测设备。 探测装置包括具有第一和第二侧面的电介质基底，在基底的第一侧上的细长导电路径，连接到细长导电路径的细长探测元件，以便以悬臂方式延伸超过基底，并且导电 在基板的第二面上的区域。 探头外壳可与探测装置配合地可拆卸地接合。