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    Optical projection system
    3.
    发明授权
    Optical projection system 有权
    光学投影系统

    公开(公告)号：US09557653B2

    公开(公告)日：2017-01-31

    申请号：US14792837

    申请日：2015-07-07

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Johannes Rau ,  Armin Schoeppach ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Martin Mahlmann ,  Bernhard Geuppert ,  Thomas Petasch ,  Gerhard Fuerter

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G03B27/42 ,  G03F7/20 ,  G02B7/02 ,  G02B7/22 ,  G02B7/00 ,  G02B17/08

    CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B7/00 ,  G02B7/008 ,  G02B7/021 ,  G02B7/028 ,  G02B7/22 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0804 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70883

    摘要： An optical projection unit includes first and second optical element modules. The first optical element module includes a first housing unit and a first optical element received within the first housing unit and having an optically used first region defining a first optical axis. The second optical element module is located adjacent to the first optical element module and includes a second optical element which defines a second optical axis of the optical projection unit. The first housing unit has a central first housing axis and an outer wall extending in a circumferential direction about the first housing axis. The first optical axis is laterally offset and/or inclined with respect to the first housing axis. The first housing axis is substantially collinear with the second optical axis.

    摘要翻译： 光学投影单元包括第一和第二光学元件模块。 第一光学元件模块包括第一壳体单元和容纳在第一壳体单元内的第一光学元件，并且具有限定第一光轴的光学使用的第一区域。 第二光学元件模块位于第一光学元件模块附近并且包括限定光学投影单元的第二光轴的第二光学元件。 第一壳体单元具有中心的第一壳体轴线和围绕第一壳体轴线在圆周方向上延伸的外壁。 第一光轴相对于第一壳体轴线横向偏移和/或倾斜。 第一壳体轴线与第二光轴基本共线。

    OPTICAL PROJECTION SYSTEM
    5.
    发明申请
    OPTICAL PROJECTION SYSTEM 有权
    光学投影系统

    公开(公告)号：US20150323873A1

    公开(公告)日：2015-11-12

    申请号：US14792837

    申请日：2015-07-07

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Johannes Rau ,  Armin Schoeppach ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Martin Mahlmann ,  Bernhard Geuppert ,  Thomas Petasch ,  Gerhard Fuerter

    IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B7/22 ,  G02B17/08 ,  G02B7/02

    CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B7/00 ,  G02B7/008 ,  G02B7/021 ,  G02B7/028 ,  G02B7/22 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0804 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70883

    摘要： An optical projection unit includes first and second optical element modules. The first optical element module includes a first housing unit and a first optical element received within the first housing unit and having an optically used first region defining a first optical axis. The second optical element module is located adjacent to the first optical element module and includes a second optical element which defines a second optical axis of the optical projection unit. The first housing unit has a central first housing axis and an outer wall extending in a circumferential direction about the first housing axis. The first optical axis is laterally offset and/or inclined with respect to the first housing axis. The first housing axis is substantially collinear with the second optical axis.

    摘要翻译： 光学投影单元包括第一和第二光学元件模块。 第一光学元件模块包括第一壳体单元和容纳在第一壳体单元内的第一光学元件，并且具有限定第一光轴的光学使用的第一区域。 第二光学元件模块位于第一光学元件模块附近并且包括限定光学投影单元的第二光轴的第二光学元件。 第一壳体单元具有中心的第一壳体轴线和围绕第一壳体轴线在圆周方向上延伸的外壁。 第一光轴相对于第一壳体轴线横向偏移和/或倾斜。 第一壳体轴线与第二光轴基本共线。

    OPTICAL PROJECTION SYSTEM
    6.
    发明申请
    OPTICAL PROJECTION SYSTEM 有权
    光学投影系统

    公开(公告)号：US20130044304A1

    公开(公告)日：2013-02-21

    申请号：US13626810

    申请日：2012-09-25

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Johannes Rau ,  Armin Schoeppach ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Martin Mahlmann ,  Bernhard Geuppert ,  Thomas Petasch ,  Gerhard Fuerter

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G03B21/14

    CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B7/00 ,  G02B7/008 ,  G02B7/021 ,  G02B7/028 ,  G02B7/22 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0804 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70883

    摘要： An optical projection unit comprising a first optical element module and at least one second optical element module is provided. The first optical element module comprises a first housing unit and at least a first optical element, the first optical element being received within the first housing unit and having an optically used first region defining a first optical axis. The at least one second optical element module is located adjacent to the first optical element module and comprises at least one second optical element, the second optical element defining a second optical axis of the optical projection unit. The first housing unit has a central first housing axis and an outer wall extending in a circumferential direction about the first housing axis. The first optical axis is at least one of laterally offset and inclined with respect to the first housing axis. Furthermore, the first housing axis is substantially collinear with the second optical axis.

    摘要翻译： 提供了包括第一光学元件模块和至少一个第二光学元件模块的光学投影单元。 第一光学元件模块包括第一壳体单元和至少第一光学元件，第一光学元件被接收在第一壳体单元内并且具有限定第一光轴的光学使用的第一区域。 所述至少一个第二光学元件模块位于与所述第一光学元件模块相邻并且包括至少一个第二光学元件，所述第二光学元件限定所述光学投影单元的第二光轴。 第一壳体单元具有中心的第一壳体轴线和围绕第一壳体轴线在圆周方向上延伸的外壁。 第一光轴是相对于第一壳体轴线的横向偏移和倾斜中的至少一个。 此外，第一壳体轴线与第二光轴基本共线。

    Optical projection system
    7.
    发明授权
    Optical projection system 有权
    光学投影系统

    公开(公告)号：US09104016B2

    公开(公告)日：2015-08-11

    申请号：US13626810

    申请日：2012-09-25

    申请人： Carl Zeiss SMT GmbH

    发明人： Johannes Rau ,  Armin Schoeppach ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler ,  Martin Mahlmann ,  Bernhard Geuppert ,  Thomas Petasch ,  Gerhard Fuerter

    IPC分类号： G03B27/54 ,  G03B27/42 ,  G02B17/08 ,  G02B7/00 ,  G03F7/20

    CPC分类号： G03F7/7015 ,  G02B7/00 ,  G02B7/008 ,  G02B7/021 ,  G02B7/028 ,  G02B7/22 ,  G02B17/08 ,  G02B17/0804 ,  G02B17/0812 ,  G02B17/0892 ,  G03F7/70808 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/70883

    摘要： An optical projection system for a microlithography system includes a light path, a first lens unit receiving a first part of the light path, a second lens unit receiving a second part of the light path, and a support unit supporting the first and second lens units. The first and second lens units are elongated lens units including a plurality of lenses. The support unit includes a housing receiving a third part of the light path and enclosing a reflective element. The housing includes first and second interfaces. The first interface is a first support interface supporting the first lens unit. The second interface is a second support interface supporting the second lens unit at a location substantially opposite to the first interface.

    摘要翻译： 用于微光刻系统的光学投影系统包括光路，接收光路的第一部分的第一透镜单元，接收光路的第二部分的第二透镜单元和支撑第一和第二透镜单元的支撑单元 。 第一和第二透镜单元是包括多个透镜的细长透镜单元。 支撑单元包括容纳光路的第三部分并且包围反射元件的壳体。 外壳包括第一和第二接口。 第一接口是支持第一透镜单元的第一支撑接口。 第二接口是在与第一接口基本相对的位置处支撑第二透镜单元的第二支撑接口。