公开(公告)号：US6040254A

公开(公告)日：2000-03-21

申请号：US168095

申请日：1998-10-08

申请人： Chang-su Lim ,  Hyeog-ki Kim ,  Sue-ryeon Kim ,  Il-kyoung Kim

发明人： Chang-su Lim ,  Hyeog-ki Kim ,  Sue-ryeon Kim ,  Il-kyoung Kim

IPC分类号： A41D13/00 ,  A41D31/02 ,  B32B5/02 ,  B32B5/26 ,  B32B27/12 ,  D03D1/00 ,  D03D15/00 ,  D04B21/00 ,  D06N7/00 ,  B32B3/00

CPC分类号： A41D31/02 ,  B32B27/12 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/2481 ,  Y10T428/24818 ,  Y10T428/24826 ,  Y10T442/2008 ,  Y10T442/2418 ,  Y10T442/2475 ,  Y10T442/3179 ,  Y10T442/3293 ,  Y10T442/365 ,  Y10T442/3854 ,  Y10T442/40

摘要： A dust-proof fabric is disclosed. The fabric comprises an inner knit fabric layer, an intermediate layer of a moisture absorbent polyurethane film and a high density woven polyester fabric outer layer. The outer layer contains a first set of spaced apart conductive yarns aligned with one another in the warp direction and a second set of spaced apart conductive yarns aligned in the weft direction.

摘要翻译： 公开了一种防尘织物。 织物包括内部编织织物层，吸湿性聚氨酯膜的中间层和高密度编织聚酯织物外层。 外层包含在经向上彼此对准的第一组间隔开的导电纱线和沿着纬向对准的第二组间隔开的导电纱线。

公开(公告)号：US06348116B1

公开(公告)日：2002-02-19

申请号：US09468320

申请日：1999-12-21

申请人： Chang-su Lim ,  Hyeog-ki Kim ,  Sue-ryeon Kim ,  Il-kyoung Kim

发明人： Chang-su Lim ,  Hyeog-ki Kim ,  Sue-ryeon Kim ,  Il-kyoung Kim

IPC分类号： D03D2700

CPC分类号： B32B27/12 ,  A41D31/02 ,  B32B5/024 ,  B32B5/026 ,  B32B7/14 ,  B32B27/40 ,  B32B2262/0276 ,  B32B2375/00 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/2481 ,  Y10T428/24818 ,  Y10T428/24826 ,  Y10T442/2008 ,  Y10T442/2418 ,  Y10T442/2475 ,  Y10T442/3179 ,  Y10T442/3293 ,  Y10T442/365 ,  Y10T442/3854 ,  Y10T442/40

摘要： A dustproof fabric for use in manufacturing a smock to be worn in a clean room of a semiconductor fabrication facility includes an inner layer of a knitted fabric, an intermediate layer attached to the inner layer and formed of a non-micro porous polyurethane resin film possessing a high degree of moisture absorbency, and an outer layer attached to the intermediate layer and formed of a high density polyester woven fabric containing conductive yarn in the warp and weft.

摘要翻译： 用于制造要在半导体制造设备的洁净室中穿戴的工作服的防尘织物包括针织物的内层，附着到内层的中间层，并且由具有无纺布的非微孔聚氨酯树脂膜形成的中间层 高吸湿性，以及附着于中间层的外层，由经纱和纬纱中含有导电丝的高密度聚酯织物形成。

公开(公告)号：US20070051387A1

公开(公告)日：2007-03-08

申请号：US11510757

申请日：2006-08-28

申请人： Wan-goo Hwang ,  No-hyun Huh ,  Il-kyoung Kim ,  Jeong-soo Suh ,  Ki-young Yun

发明人： Wan-goo Hwang ,  No-hyun Huh ,  Il-kyoung Kim ,  Jeong-soo Suh ,  Ki-young Yun

IPC分类号： B08B6/00 ,  C23C16/00

CPC分类号： C23C16/4405 ,  B08B7/0035

摘要： A method of cleaning a plasma generating area of a plasma applicator in situ is disclosed and comprises; supplying a by-product cleaning gas to the plasma generating area, and generating a plasma from the by-product cleaning gas in the plasma generating area.

摘要翻译： 公开了一种清洁等离子体施加器的等离子体产生区域的方法，其包括： 向等离子体产生区域供应副产物清洗气体，并且从等离子体产生区域中的副产物清洗气体产生等离子体。