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    QUALITATIVE FAULT DETECTION AND CLASSIFICATION SYSTEM FOR TOOL CONDITION MONITORING AND ASSOCIATED METHODS
    2.
    发明申请
    QUALITATIVE FAULT DETECTION AND CLASSIFICATION SYSTEM FOR TOOL CONDITION MONITORING AND ASSOCIATED METHODS 有权
    用于工具条件监测和相关方法的定性故障检测和分类系统

    公开(公告)号：US20140067324A1

    公开(公告)日：2014-03-06

    申请号：US13603079

    申请日：2012-09-04

    申请人： Chia-Tong Ho ,  Po-Feng Tsai ,  Jung-Chang Chen ,  Tze-Liang Lee ,  Jo Fei Wang ,  Jong-I Mou ,  Chin-Hsiang Lin

    发明人： Chia-Tong Ho ,  Po-Feng Tsai ,  Jung-Chang Chen ,  Tze-Liang Lee ,  Jo Fei Wang ,  Jong-I Mou ,  Chin-Hsiang Lin

    IPC分类号： G06F15/00

    CPC分类号： G05B19/4065 ,  G05B2219/37252 ,  G05B2219/45031

    摘要： The present disclosure provides various methods for tool condition monitoring, including systems for implementing such monitoring. An exemplary method includes receiving data associated with a process performed on wafers by an integrated circuit manufacturing process tool; and monitoring a condition of the integrated circuit manufacturing process tool using the data. The monitoring includes evaluating the data based on an abnormality identification criterion, an abnormality filtering criterion, and an abnormality threshold to determine whether the data meets an alarm threshold. The method may further include issuing an alarm when the data meets the alarm threshold.

    摘要翻译： 本公开提供了用于工具状态监测的各种方法，包括用于实现这种监视的系统。 一种示例性方法包括：通过集成电路制造工艺工具接收与在晶片上执行的处理相关联的数据; 以及使用该数据来监视集成电路制造工艺工具的状态。 监视包括基于异常识别标准，异常过滤标准和异常阈值来评估数据，以确定数据是否满足报警阈值。 该方法还可以包括当数据满足报警阈值时发出报警。

    METHOD AND SYSTEM FOR TOOL CONDITION MONITORING
    6.
    发明申请
    METHOD AND SYSTEM FOR TOOL CONDITION MONITORING 审中-公开
    工具条件监测方法与系统

    公开(公告)号：US20130150997A1

    公开(公告)日：2013-06-13

    申请号：US13314850

    申请日：2011-12-08

    申请人： Po-Feng Tsai ,  Chia-Tong Ho ,  Sunny Wu ,  Jo Fei Wang ,  Jong-I Mou ,  Chin-Hsiang Lin

    发明人： Po-Feng Tsai ,  Chia-Tong Ho ,  Sunny Wu ,  Jo Fei Wang ,  Jong-I Mou ,  Chin-Hsiang Lin

    IPC分类号： G06F19/00

    CPC分类号： C23C16/52 ,  H01L22/12 ,  H01L22/20 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

    摘要： A method and system for removing control action effects from inline measurement data for tool condition monitoring is disclosed. An exemplary method includes determining a control action effect that contributes to an inline measurement, wherein the inline measurement indicates a wafer characteristic of a wafer processed by a process tool; and evaluating the inline measurement without the control action effect contribution to determine a condition of the process tool.

    摘要翻译： 公开了一种用于从刀具状态监测的在线测量数据中去除控制动作效果的方法和系统。 一种示例性方法包括确定有助于在线测量的控制动作效果，其中在线测量指示由处理工具处理的晶片的晶片特性; 并且在没有控制动作效应贡献的情况下评估在线测量来确定过程工具的状况。

    Processing exception handling
    8.
    发明授权
    Processing exception handling 有权
    处理异常处理

    公开(公告)号：US08549012B2

    公开(公告)日：2013-10-01

    申请号：US12778855

    申请日：2010-05-12

    申请人： Po-Feng Tsai ,  Jin-Ning Sung ,  Yen-Di Tsen ,  Jo Fei Wang ,  Jong-I Mou

    发明人： Po-Feng Tsai ,  Jin-Ning Sung ,  Yen-Di Tsen ,  Jo Fei Wang ,  Jong-I Mou

    IPC分类号： G06F7/00 ,  G06F17/30

    CPC分类号： G06F7/00 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/31352 ,  G05B2219/33303 ,  G06F17/30

    摘要： In accordance with an embodiment, a method for exception handling comprises accessing an exception type for an exception, filtering historical data based on at least one defined criterion to provide a data train comprising data sets, assigning a weight to each data set, and providing a current control parameter. The data sets each comprise a historical condition and a historical control parameter, and the weight assigned to each data set is based on each historical condition. The current control parameter is provided using the weight and the historical control parameter for each data set.

    摘要翻译： 根据实施例，用于异常处理的方法包括访问异常的异常类型，基于至少一个定义的标准过滤历史数据，以提供包括数据集的数据队列，为每个数据集分配权重，以及提供 电流控制参数。 数据集各自包含历史条件和历史控制参数，并且分配给每个数据集的权重基于每个历史条件。 使用每个数据集的权重和历史控制参数提供当前的控制参数。

    APC Model Extension Using Existing APC Models
    9.
    发明申请
    APC Model Extension Using Existing APC Models 有权
    APC型号扩展使用现有的APC型号

    公开(公告)号：US20110301736A1

    公开(公告)日：2011-12-08

    申请号：US12793307

    申请日：2010-06-03

    申请人： Po-Feng Tsai ,  Yen-Di Tsen ,  Jo Fei Wang ,  Jong-I Mou

    发明人： Po-Feng Tsai ,  Yen-Di Tsen ,  Jo Fei Wang ,  Jong-I Mou

    IPC分类号： G06F17/50

    CPC分类号： G05B17/02 ,  H01L22/20

    摘要： A method of extending advanced process control (APC) models includes constructing an APC model table including APC model parameters of a plurality of products and a plurality of work stations. The APC model table includes empty cells and cells filled with existing APC model parameters. Average APC model parameters of the existing APC model parameters are calculated, and filled into the empty cells as initial values. An iterative calculation is performed to update the empty cells with updated values.

    摘要翻译： 扩展先进过程控制（APC）模型的方法包括构建包括多个产品的APC模型参数和多个工作站的APC模型表。 APC模型表包括空单元格和填充有现有APC模型参数的单元格。 计算现有APC模型参数的平均APC模型参数，并作为初始值填充到空单元格中。 执行迭代计算以更新值更新空单元格。