公开(公告)号：US08498078B2

公开(公告)日：2013-07-30

申请号：US12634533

申请日：2009-12-09

申请人： Donald G. Allen ,  Liubo Hong ,  Aron Pentek ,  Thomas J. A. Roucoux ,  Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

发明人： Donald G. Allen ,  Liubo Hong ,  Aron Pentek ,  Thomas J. A. Roucoux ,  Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

IPC分类号： G11B5/147 ,  G11B5/187

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/31

摘要： Methods for fabrication of tapered magnetic poles with a non-magnetic front bump layer. A magnetic pole may have a plurality of tapered surfaces at or near an air bearing surface (ABS), wherein a thickness of the write pole increases in a direction away from the ABS. A non-magnetic front bump layer may be formed on one or more of the tapered surfaces of the magnetic pole at a distance from the ABS. The front bump layer may increase the separation distance between a shield layer and the magnetic pole near the tapered surface, thereby improving the performance of the write head.

摘要翻译： 用非磁性前凸块层制造锥形磁极的方法。 磁极可以在空气轴承表面（ABS）处或附近具有多个锥形表面，其中写入极的厚度在远离ABS的方向上增加。 可以在与ABS相距一定距离处的磁极的一个或多个锥形表面上形成非磁性前凸块层。 前凸块层可以增加在锥形表面附近的屏蔽层和磁极之间的间隔距离，从而提高写入头的性能。

公开(公告)号：US20110134569A1

公开(公告)日：2011-06-09

申请号：US12634533

申请日：2009-12-09

申请人： Donald G. Allen ,  Liubo Hong ,  Aron Pentek ,  Thomas J. A. Roucoux ,  Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

发明人： Donald G. Allen ,  Liubo Hong ,  Aron Pentek ,  Thomas J. A. Roucoux ,  Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

IPC分类号： G11B5/10

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/31

摘要： Methods for fabrication of tapered magnetic poles with a non-magnetic front bump layer. A magnetic pole may have a plurality of tapered surfaces at or near and air bearing surface (ABS), wherein a thickness of the write pole increases in a direction away from the ABS. A non-magnetic front bump layer may be formed on one or more of the tapered surfaces of the magnetic pole at a distance from the ABS. The front bump layer may increase the separation distance between a shield layer and the magnetic pole near the tapered surface, thereby improving the performance of the write head.

摘要翻译： 用非磁性前凸块层制造锥形磁极的方法。 磁极可以在空气轴承表面（ABS）处或附近具有多个锥形表面，其中写入极的厚度在远离ABS的方向上增加。 可以在与ABS相距一定距离处的磁极的一个或多个锥形表面上形成非磁性前凸块层。 前凸块层可以增加在锥形表面附近的屏蔽层和磁极之间的间隔距离，从而提高写入头的性能。

公开(公告)号：US07563381B2

公开(公告)日：2009-07-21

申请号：US10836867

申请日：2004-04-30

申请人： Amanda Baer ,  Quang Le ,  Kim Lee ,  Aron Pentek ,  Douglas J. Werner ,  Sue S. Zhang

发明人： Amanda Baer ,  Quang Le ,  Kim Lee ,  Aron Pentek ,  Douglas J. Werner ,  Sue S. Zhang

IPC分类号： G11B5/187

CPC分类号： G11B5/1871 ,  G11B5/3116 ,  G11B5/3163 ,  Y10T29/49021 ,  Y10T29/49043

摘要： A method for constructing a tapered write pole, the method including the use of a bilayer hard mask.

摘要翻译： 一种用于构造锥形写入极的方法，该方法包括使用双层硬掩模。

公开(公告)号：US08724258B2

公开(公告)日：2014-05-13

申请号：US12569957

申请日：2009-09-30

申请人： Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

发明人： Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

IPC分类号： G11B5/23

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/23 ,  G11B5/3146 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163

摘要： Embodiments provide a slanted bump magnetic shield in a perpendicular write head. The slanted bump magnetic shield provides a small throat height to maximize magnetic flux for writing to a magnetic media such as a magnetic storage disk in a hard disk drive, while avoiding saturation.

摘要翻译： 实施例在垂直写头中提供倾斜凸块磁屏蔽。 倾斜磁铁屏蔽件提供较小的喉部高度，以最大限度地提高用于写入磁性介质（例如硬盘驱动器中的磁存储盘）的磁通量，同时避免饱和。

公开(公告)号：US08233234B2

公开(公告)日：2012-07-31

申请号：US12342647

申请日：2008-12-23

申请人： Wen-Chien D. Hsiao ,  Ming Jiang ,  Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

发明人： Wen-Chien D. Hsiao ,  Ming Jiang ,  Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

IPC分类号： G11B5/127 ,  H01F10/08 ,  H01L43/12

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/1171 ,  Y10T428/1186

摘要： A stepped main pole for a perpendicular write head and methods of making the stepped main pole. The stepped main pole has a main pole tip and a base portion. The main pole tip has a surface that forms part of the ABS and a first thickness. The base portion extends from the main pole tip and has a thickness that varies from the first thickness to a second thickness to form a slanted surface with an apex angle adjacent the main pole tip. By placing the base portion away from the ABS and providing a thickness that increases in a direction away from the ABS, the stepped pole can provide the necessary magnetic flux for writing, while avoiding undesired leakage and fringing. To form embodiments of the stepped main pole of the invention, a fluorine-based reactive ion etch (RIE) may be used. By using an RIE to define the stepped main pole, the apex angle can be better controlled and tight edge control can be achieved.

摘要翻译： 用于垂直写头的梯级主极和制作阶梯式主极的方法。 阶梯式主极具有主极尖和基部。 主极尖具有形成ABS的一部分的表面和第一厚度。 基部从主极尖延伸，并且具有从第一厚度变化到第二厚度的厚度，以形成邻近主极尖的顶角的倾斜表面。 通过将基座部分远离ABS并且提供沿离开ABS的方向增加的厚度，台阶极可以提供必要的写入磁通量，同时避免不期望的泄漏和边缘。 为了形成本发明的阶梯式主极的实施例，可以使用氟基反应离子蚀刻（RIE）。 通过使用RIE来定义阶梯式主极，可以更好地控制顶角，并且可以实现紧密的边缘控制。

公开(公告)号：US20110075295A1

公开(公告)日：2011-03-31

申请号：US12569957

申请日：2009-09-30

申请人： Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

发明人： Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

IPC分类号： G11B5/115 ,  G11B5/10

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/23 ,  G11B5/3146 ,  G11B5/315 ,  G11B5/3163

摘要： Embodiments provide a slanted bump magnetic shield in a perpendicular write head and a method of making the shield. The slanted bump magnetic shield provides a small throat height to maximize magnetic flux for writing to a magnetic media such as a magnetic storage disk in a hard disk drive, while avoiding saturation. An etch process is used to form a taper in non-magnetic gap material. The magnetic shield is then deposited on the taper, forming the slanted bump of the shield. The etch process may be a multiple etch process to provide better edge and thickness control when forming the taper.

摘要翻译： 实施例在垂直写入头中提供倾斜凸起磁屏蔽以及制造屏蔽的方法。 倾斜磁铁屏蔽件提供较小的喉部高度，以最大限度地提高用于写入磁性介质（例如硬盘驱动器中的磁存储盘）的磁通量，同时避免饱和。 蚀刻工艺用于在非磁隙材料中形成锥形。 磁屏蔽然后沉积在锥形上，形成屏蔽的倾斜凸起。 蚀刻工艺可以是多次蚀刻工艺，以便在形成锥形时提供更好的边缘和厚度控制。

公开(公告)号：US20100157475A1

公开(公告)日：2010-06-24

申请号：US12342647

申请日：2008-12-23

申请人： Wen-Chien D. Hsiao ,  Ming Jiang ,  Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

发明人： Wen-Chien D. Hsiao ,  Ming Jiang ,  Sue S. Zhang ,  Yi Zheng

IPC分类号： G11B5/127 ,  G03F7/20 ,  B44C1/22 ,  B32B37/14

CPC分类号： G11B5/3116 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3163 ,  Y10T156/10 ,  Y10T428/1171 ,  Y10T428/1186

摘要： A stepped main pole for a perpendicular write head and methods of making the stepped main pole. The stepped main pole has a main pole tip and a base portion. The main pole tip has a surface that forms part of the ABS and a first thickness. The base portion extends from the main pole tip and has a thickness that varies from the first thickness to a second thickness to form a slanted surface with an apex angle adjacent the main pole tip. By placing the base portion away from the ABS and providing a thickness that increases in a direction away from the ABS, the stepped pole can provide the necessary magnetic flux for writing, while avoiding undesired leakage and fringing. To form embodiments of the stepped main pole of the invention, a fluorine-based reactive ion etch (RIE) may be used. By using an RIE to define the stepped main pole, the apex angle can be better controlled and tight edge control can be achieved.

摘要翻译： 用于垂直写头的梯级主极和制作阶梯式主极的方法。 阶梯式主极具有主极尖和基部。 主极尖具有形成ABS的一部分的表面和第一厚度。 基部从主极尖延伸，并且具有从第一厚度变化到第二厚度的厚度，以形成邻近主极尖的顶角的倾斜表面。 通过将基座部分远离ABS并且提供沿离开ABS的方向增加的厚度，台阶极可以提供必要的写入磁通量，同时避免不期望的泄漏和边缘。 为了形成本发明的阶梯式主极的实施例，可以使用氟基反应离子蚀刻（RIE）。 通过使用RIE来定义阶梯式主极，可以更好地控制顶角，并且可以实现紧密的边缘控制。

公开(公告)号：US07130153B2

公开(公告)日：2006-10-31

申请号：US10675736

申请日：2003-09-29

申请人： Yong Shen ,  Sue S. Zhang

发明人： Yong Shen ,  Sue S. Zhang

IPC分类号： G11B5/147

CPC分类号： G11B5/3116 ,  Y10T29/49032

摘要： A magnetic write head assembly has a head surface and a track width at the head surface wherein the head surface forms a first vertical plane and wherein the head assembly includes first and second pole pieces, a write gap located between the first and second pole pieces, the second pole piece having first and second components wherein the first component is located between the write gap and the second component and each of the first and second components has a height into the head which extends from and which is oriented perpendicular to said head surface, the first component having a uniform thickness throughout its height into the head with the height into the head forming a zero throat (ZTH) which lies in a second vertical plane that is parallel to said first vertical plane, the height into the head of the second component being greater than the height into the head of the first component, and each of the first and second components having said track width at the head surface.

摘要翻译： 磁头组件具有头表面和头表面处的轨道宽度，其中头表面形成第一垂直平面，并且其中头组件包括第一和第二极片，位于第一和第二极片之间的写入间隙， 所述第二极靴具有第一和第二部件，其中所述第一部件位于所述写入间隙和所述第二部件之间，并且所述第一和第二部件中的每一个具有从所述头部延伸并垂直于所述头部表面定向的头部的高度， 所述第一部件在其整个高度上具有均匀的厚度到头部中，其中头部的高度形成零喉部（ZTH），所述零喉部位于平行于所述第一垂直平面的第二垂直平面中， 分量大于进入第一部件的头部的高度，并且第一和第二部件中的每一个在头部表面具有所述轨道宽度。