公开(公告)号：US20170001310A1

公开(公告)日：2017-01-05

申请号：US15106622

申请日：2014-09-08

申请人： ETEL S.A.

发明人： Hélène MAZEROLLE ,  Jean-Marc VAUCHER ,  Marc KUNZE ,  Laurent Heiniger

IPC分类号： B25J9/16 ,  H05K13/04 ,  H05K13/08 ,  B23Q1/01 ,  H05K3/34

CPC分类号： B25J9/1633 ,  B23Q1/012 ,  B25J9/1687 ,  G05B2219/37225 ,  G05B2219/39325 ,  G05B2219/40293 ,  G05B2219/45029 ,  G05B2219/49191 ,  G05B2219/50355 ,  H05K3/341 ,  H05K13/0465 ,  H05K13/08 ,  H05K2203/04

摘要： A positioning device is adapted for positioning a tool at a setpoint position on a flat substrate in an X-Y plane, the tool exerting a process force in its axial direction perpendicularly onto the substrate. The tool includes a multicomponent force sensor to measure unwanted process-force components in the lateral direction. The setpoint position of the tool is correctable by the positioning device such that the lateral process-force components are minimized.

摘要翻译： 定位装置适于将工具定位在X-Y平面上的平坦基板上的设定点位置处，该工具在其轴向方向上垂直地施加到基板上。 该工具包括一个多组分力传感器，用于在横向测量不需要的过程力分量。 工具的设定点位置可通过定位装置校正，使得侧向过程力分量最小化。