公开(公告)号：US08728708B2

公开(公告)日：2014-05-20

申请号：US13779419

申请日：2013-02-27

申请人： Fujifilm Corporation

发明人： Kyouhei Sakita ,  Wataru Kikuchi ,  Masatoshi Yumoto ,  Masanori Hikita

IPC分类号： G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/029 ,  C07D495/00 ,  C07D307/92

CPC分类号： C07D307/78 ,  C07C309/00 ,  C07C2602/08 ,  C07C2603/16 ,  C07C2603/18 ,  C07D307/92 ,  C07D335/06 ,  C07D335/08 ,  G02F1/133345 ,  G02F1/136227 ,  G02F2202/02 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/40 ,  H01L27/3258 ,  H05B33/22

摘要： Disclosed is a photosensitive resin composition comprising: (Component A) an oxime sulfonate compound represented by Formula (1); (Component B) a resin comprising a constituent unit having an acid-decomposable group that is decomposed by an acid to form a carboxyl group or a phenolic hydroxy group; and (Component C) a solvent wherein in Formula (1) R1 denotes an alkyl group, an aryl group, or a heteroaryl group, each R2 independently denotes a hydrogen atom, an alkyl group, an aryl group, or a halogen atom, Ar1 denotes an o-arylene group or an o-heteroarylene group, X denotes O or S, and n denotes 1 or 2, provided that of two or more R2s present in the compound, at least one denotes an alkyl group, an aryl group, or a halogen atom.

摘要翻译： 公开了一种光敏树脂组合物，其包含：（组分A）由式（1）表示的肟磺酸盐化合物; （B成分）具有酸分解成羧酸或酚羟基的具有酸分解性基团的构成单元的树脂; 和（组分C）其中在式（1）中的R 1表示烷基，芳基或杂芳基的溶剂，每个R 2独立地表示氢原子，烷基，芳基或卤素原子，Ar 1 表示邻亚芳基或邻亚芳基，X表示O或S，n表示1或2，条件是化合物中存在两个或多个R 2，至少1表示烷基，芳基， 或卤素原子。